公开(公告)号：CN116802338A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202180088967.8

申请日：2021-01-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 乌代·派 ,  薛原 ,  阿比吉特·拉克斯曼·桑格尔 ,  维杰·班·夏尔马 ,  苏雷什·钱德·赛斯 ,  巴拉特瓦·罗摩克里希南 ,  桑德拉贾·吉姆布林甘姆 ,  纳文·查纳拉亚帕特娜·普坦纳 ,  安库尔·凯达姆 ,  杨毅

IPC: C23C14/34

Abstract: 于此提供了用于使用改进的屏蔽件配置处理基板的方法及设备。例如，一种用于在物理气相沉积腔室中使用的处理配件包括：屏蔽件，包含具有最内径的内壁，内壁被配置成当设置在物理气相沉积腔室中时围绕靶材，其中屏蔽件的表面面积与内径的平面面积的比率为约3至约10。

公开(公告)号：CN116195383A

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202080105019.6

申请日：2020-08-24

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿比吉特·拉克斯曼·桑格尔 ,  维杰·班·夏尔马 ,  薛元 ,  安库尔•凯达姆 ,  巴拉特瓦·罗摩克里希南 ,  乌代·派 ,  尼利斯·帕蒂尔

IPC: H10N30/05

Abstract: 揭示了用于在基板(201)上沉积用于压电应用的均匀层的方法及设备。从其中心到边缘具有均匀厚度的超薄种晶层(308)沉积在基板(201)上。与随后形成的压电材料层(312)的晶体结构紧密匹配的模板层(310)沉积在基板(201)上。种晶层(308)及模板层(310)的均匀厚度及取向继而促使生长具有改良的结晶度及压电特性的压电材料。

公开(公告)号：CN112864304A

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN201911101682.4

申请日：2019-11-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿比吉特·拉克斯曼·桑格尔 ,  维杰·班·夏尔马 ,  薛元 ,  乌代·派 ,  巴拉特瓦·罗摩克里希南 ,  安库·卡达姆

IPC: H01L41/187 ,  H01L41/316 ,  H01L41/277

Abstract: 一种压电装置，包括：基板；位于所述基板上的热氧化物层；位于所述热氧化物层上的金属或金属氧化物粘附层；位于所述金属氧化物粘附层上的下部电极；位于所述下部电极上的种晶层；位于所述种晶层上的铌镁酸铅‑钛酸铅(PMNPT)压电层；和位于所述PMNPT压电层上的上部电极。