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公开(公告)号：CN112864304A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201911101682.4
申请日：2019-11-12
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 阿比吉特·拉克斯曼·桑格尔 , 维杰·班·夏尔马 , 薛元 , 乌代·派 , 巴拉特瓦·罗摩克里希南 , 安库·卡达姆
IPC: H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/277
Abstract: 一种压电装置，包括：基板；位于所述基板上的热氧化物层；位于所述热氧化物层上的金属或金属氧化物粘附层；位于所述金属氧化物粘附层上的下部电极；位于所述下部电极上的种晶层；位于所述种晶层上的铌镁酸铅‑钛酸铅(PMNPT)压电层；和位于所述PMNPT压电层上的上部电极。
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