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公开(公告)号：CN111936664A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201980020460.1
申请日：2019-03-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 尤里·梅尔尼克 , 苏克蒂·查特吉 , 考沙尔·冈加什卡尔 , 乔纳森·弗兰克尔 , 兰斯·A·斯卡德尔 , 普拉文·K·纳万克尔 , 大卫·布里兹 , 托马斯·奈斯利 , 马克·沙丽 , 戴维·汤普森
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/34 , C23C16/42
Abstract: 本公开内容的实施方式一般地涉及航空航天部件上的保护涂层和沉积保护涂层的方法。在一或多个实施方式中，一种在航空航天部件上沉积涂层的方法，包含：将航空航天部件暴露于第一前驱物和第一反应物以通过化学气相沉积(CVD)工艺或第一原子层沉积(ALD)工艺在航空航天部件的表面上形成第一沉积层；并且将航空航天部件暴露于第二前驱物和第二反应物以通过第二ALD工艺在第一沉积层上形成第二沉积层，其中第一沉积层和第二沉积层具有彼此不同的成分。
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公开(公告)号：CN116892011A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310717002.1
申请日：2019-03-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 尤里·梅尔尼克 , 苏克蒂·查特吉 , 考沙尔·冈加什卡尔 , 乔纳森·弗兰克尔 , 兰斯·A·斯卡德尔 , 普拉文·K·纳万克尔 , 大卫·布里兹 , 托马斯·奈斯利 , 马克·沙丽 , 戴维·汤普森
Abstract: 本公开内容的实施方式一般地涉及航空航天部件上的保护涂层和用于沉积保护涂层的方法。在一或多个实施方式中，一种在航空航天部件上沉积保护涂层的方法包括：顺序地将航空航天部件暴露于铬前驱物和反应物以通过原子层沉积工艺在航空航天部件的表面上形成含铬层。含铬层包含金属铬、氧化铬、氮化铬、碳化铬、硅化铬或上述各项的任何组合。
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公开(公告)号：CN111868299A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201980019149.5
申请日：2019-03-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 尤里·梅尔尼克 , 苏克蒂·查特吉 , 考沙尔·冈加什卡尔 , 乔纳森·弗兰克尔 , 兰斯·A·斯卡德尔 , 普拉文·K·纳万克尔 , 大卫·亚历山大·布里兹 , 戴维·马萨尤基·石川
IPC: C23C16/455 , C23C16/44 , C23C16/04 , C23C16/458
Abstract: 一种用于在多个部件的内部上施加涂层的气体分配组件包括支撑件，在所述支撑件内形成有多个部件空腔。每个部件空腔对应于相应部件以与所述相应部件的内部流体耦接。第一气源流动管线与所述部件空腔中的每个部件空腔流体耦接以将来自第一气源的第一气体提供到所述部件空腔中的每个部件空腔，并且第二气源流动管线与所述部件空腔中的每个部件空腔流体耦接以将来自第二气源的第二气体提供到所述部件空腔中的每个部件空腔。
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公开(公告)号：CN106716649A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580050435.X
申请日：2015-09-01
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L31/18 , H01L21/677 , H01L21/67 , C23C16/54 , C23C16/48 , C23C16/458 , C23C16/455
CPC classification number: H01L31/1876 , C23C16/4408 , C23C16/45519 , C23C16/45523 , C23C16/4585 , C23C16/4586 , C23C16/4587 , C23C16/481 , C23C16/54 , H01L21/67115 , H01L21/67173 , H01L21/67326 , H01L21/6773 , H01L31/18 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 在一些实施方式中，一种串联基板处理工具可以包括：具有多个槽的基板载体，这些槽被构造为当彼此平行的多个基板设置在槽中时保持这些基板；设置成直线布置的第一基板处理模块和第二基板处理模块，其中每个基板处理模块包括外壳和轨道，所述轨道支撑基板载体并且为基板载体提供路径，所述路径用于使所述基板载体直线移动穿过第一基板处理模块和第二基板处理模块；以及设置在第一基板处理模块与第二基板处理模块之间的第一气顶，其中第一气顶包括：第一处理气体导管，用于向第一基板处理模块提供第一处理气体；以及第二处理气体导管，用于向第二基板处理模块提供第二处理气体。
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公开(公告)号：CN115734826A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202180046633.4
申请日：2021-06-04
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 阿布舍克·曼达尔 , 尼廷·迪帕克 , 尼哈·古普塔 , 普雷纳·桑塔利亚·戈拉迪亚 , 安库尔·凯达姆 , 大野贤一 , 大卫·亚历山大·布里兹 , 兰斯·A·斯卡德尔
IPC: B08B3/08
Abstract: 本公开内容的实施方式总体涉及通过去除腐蚀部和沉积保护涂层来翻新航空部件的方法。在一个或多个实施方式中，一种航空部件的翻新方法包括将包含腐蚀部的航空部件暴露于水性清洁溶液。所述航空部件包括镍超合金、设置在所述镍超合金上的铝化物层和设置在所述铝化物层上的氧化铝层。所述方法包括使用所述水性清洁溶液从氧化铝层的一部分去除腐蚀部以露出氧化铝层，然后将所述氧化铝层暴露于后冲洗液，以及在所述氧化铝层上形成保护涂层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114008236A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202080042908.2
申请日：2020-04-08
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本公开内容的实施方式大体涉及在航空部件上的保护涂层和用于沉积所述保护涂层的方法。在一个或多个实施方式中，一种用于在航空部件上产生保护涂层的方法包括：在含有镍和铝(例如，镍‑铝超合金)的所述航空部件上沉积金属氧化物模板层；和在热工艺和/或氧化工艺期间加热含有所述金属氧化物模板层的所述航空部件。所述热工艺和/或氧化工艺包括：将所述航空部件内含有的铝向含有所述金属氧化物模板层的所述航空部件的表面扩散；氧化所扩散的铝以产生设置在所述航空部件与所述金属氧化物模板层之间的氧化铝层；和去除所述金属氧化物模板层的至少一部分，同时留下所述氧化铝层。
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公开(公告)号：CN111133127A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201880062108.X
申请日：2018-09-21
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 兰加·拉奥·阿内帕利 , 科林·科斯塔诺·内科克 , 尤里·梅尔尼克 , 苏雷什·钱德·赛斯 , 普拉文·K·纳万克尔 , 苏克蒂·查特吉 , 兰斯·A·斯卡德尔
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/56 , C23C16/01 , C12Q1/6869
Abstract: 公开了在用于生物学应用的MEMS器件上移除原生氧化物层和沉积具有受控数量的活性位点的介电层的方法。在一个方面中，一种方法包括通过以下步骤从基板的表面移除原生氧化物层：将基板暴露于呈气相的一种或多种配体以使原生氧化物层具有挥发性，及随后热解吸或以其他方式蚀刻具有挥发性的原生氧化物层。在另一方面中，一种方法包括在基板的表面上沉积介电层，所述介电层被选择为提供受控数量的活性位点。在又一方面中，一种方法包括从基板的表面移除原生氧化物层和在基板的表面上沉积介电层两者，其中通过将基板暴露于一种或多种配体来移除原生氧化物层，所述介电层被选择为提供受控数量的活性位点。
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公开(公告)号：CN111902566B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN201980020567.6
申请日：2019-03-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 尤里·梅尔尼克 , 苏克蒂·查特吉 , 考沙尔·冈加什卡尔 , 乔纳森·弗兰克尔 , 兰斯·A·斯卡德尔 , 普拉文·K·纳万克尔 , 大卫·布里兹 , 托马斯·奈斯利 , 马克·沙丽 , 戴维·汤普森
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/32 , C23C16/42 , C23C16/56
Abstract: 本公开内容的实施方式一般地涉及航空航天部件上的保护涂层和用于沉积保护涂层的方法。在一或多个实施方式中，一种在航空航天部件上沉积保护涂层的方法包括：顺序地将航空航天部件暴露于铬前驱物和反应物以通过原子层沉积工艺在航空航天部件的表面上形成含铬层。含铬层包含金属铬、氧化铬、氮化铬、碳化铬、硅化铬或上述各项的任何组合。
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公开(公告)号：CN114341397A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080061931.6
申请日：2020-07-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 大野贤一 , 埃里克·H·刘 , 苏克蒂·查特吉 , 尤里·梅尔尼克 , 托马斯·奈斯利 , 大卫·亚历山大·布里兹 , 兰斯·A·斯卡德尔 , 普拉文·K·纳万克尔
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/56 , F01D5/28
Abstract: 本公开内容的实施方式大体上关于基板上的保护涂层及沉积保护涂层的方法。在一或多个实施方式中，在基板上形成保护涂层的方法包括：在第一气相沉积处理期间在基板的表面上沉积含有非晶氧化铬的氧化铬层；及在第一退火处理期间加热含有包含非晶氧化铬的氧化铬层的基板，以将非晶氧化铬的至少一部分转换成结晶氧化铬。所述方法还包括：在第二气相沉积处理期间在氧化铬层上沉积含有非晶氧化铝的氧化铝层；及在第二退火处理期间加热含有设置在氧化铬层上的氧化铝层的基板，以将非晶氧化铝的至少一部分转换成结晶氧化铝。
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公开(公告)号：CN111902566A
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201980020567.6
申请日：2019-03-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 尤里·梅尔尼克 , 苏克蒂·查特吉 , 考沙尔·冈加什卡尔 , 乔纳森·弗兰克尔 , 兰斯·A·斯卡德尔 , 普拉文·K·纳万克尔 , 大卫·布里兹 , 托马斯·奈斯利 , 马克·沙丽 , 戴维·汤普森
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/32 , C23C16/42 , C23C16/56
Abstract: 本公开内容的实施方式一般地涉及航空航天部件上的保护涂层和用于沉积保护涂层的方法。在一或多个实施方式中，一种在航空航天部件上沉积保护涂层的方法包括：顺序地将航空航天部件暴露于铬前驱物和反应物以通过原子层沉积工艺在航空航天部件的表面上形成含铬层。含铬层包含金属铬、氧化铬、氮化铬、碳化铬、硅化铬或上述各项的任何组合。
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