公开(公告)号：CN114008236A

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN202080042908.2

申请日：2020-04-08

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 苏克蒂·查特吉 ,  大野贤一 ,  兰斯·A·斯卡德尔 ,  尤里·梅尔尼克 ,  大卫·A·布里兹 ,  普拉文·K·纳万克尔 ,  托马斯·奈斯利 ,  马克·沙丽 ,  杰弗里·安西斯

IPC: C23C10/60 ,  C23C10/30 ,  C23C28/04

Abstract: 本公开内容的实施方式大体涉及在航空部件上的保护涂层和用于沉积所述保护涂层的方法。在一个或多个实施方式中，一种用于在航空部件上产生保护涂层的方法包括：在含有镍和铝(例如，镍‑铝超合金)的所述航空部件上沉积金属氧化物模板层；和在热工艺和/或氧化工艺期间加热含有所述金属氧化物模板层的所述航空部件。所述热工艺和/或氧化工艺包括：将所述航空部件内含有的铝向含有所述金属氧化物模板层的所述航空部件的表面扩散；氧化所扩散的铝以产生设置在所述航空部件与所述金属氧化物模板层之间的氧化铝层；和去除所述金属氧化物模板层的至少一部分，同时留下所述氧化铝层。

公开(公告)号：CN116670320A

公开(公告)日：2023-08-29

申请号：CN202180086388.X

申请日：2021-11-18

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 劳伦·巴格比 ,  斯蒂芬·维克斯 ,  艾伦·丹格菲尔德 ,  拉克马尔·卡鲁塔格 ,  杰弗里·安西斯 ,  马克·沙丽 ,  瑞加娜·弗雷德 ,  韦恩·弗兰奇 ,  凯尔文·陈

IPC: C23C14/12

Abstract: 实施方式包括将金属氧基光刻胶形成于基板上的方法。在实施方式中，所述方法包含以下步骤：在真空腔室中提供靶材，其中靶材包含金属。所述方法可继续以下步骤：将烃类气体和惰性气体流入真空腔室，和在真空腔室中触发等离子体。在实施方式中，所述方法可进一步继续以下步骤：将金属氧基光刻胶沉积于基板上，其中金属氧基光刻胶包含金属‑碳键结和金属‑氧键结。