公开(公告)号：CN114341397A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202080061931.6

申请日：2020-07-09

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 大野贤一 ,  埃里克·H·刘 ,  苏克蒂·查特吉 ,  尤里·梅尔尼克 ,  托马斯·奈斯利 ,  大卫·亚历山大·布里兹 ,  兰斯·A·斯卡德尔 ,  普拉文·K·纳万克尔

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/56 ,  F01D5/28

Abstract: 本公开内容的实施方式大体上关于基板上的保护涂层及沉积保护涂层的方法。在一或多个实施方式中，在基板上形成保护涂层的方法包括：在第一气相沉积处理期间在基板的表面上沉积含有非晶氧化铬的氧化铬层；及在第一退火处理期间加热含有包含非晶氧化铬的氧化铬层的基板，以将非晶氧化铬的至少一部分转换成结晶氧化铬。所述方法还包括：在第二气相沉积处理期间在氧化铬层上沉积含有非晶氧化铝的氧化铝层；及在第二退火处理期间加热含有设置在氧化铬层上的氧化铝层的基板，以将非晶氧化铝的至少一部分转换成结晶氧化铝。

公开(公告)号：CN116829991A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202180093415.6

申请日：2021-11-11

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 卡尔·J·阿姆斯特朗 ,  大野贤一 ,  阿列克谢·阿迪琳·波蒂洛·里维拉 ,  安德鲁•塞巴洛斯 ,  拉米•胡拉尼 ,  布莱恩·亚历山大·科恩

IPC: G02B5/08

Abstract: 本发明的实施方式总体涉及经封装光学装置及用于制造经封装光学装置的方法。在一或多个实施方式中，用于封装光学装置的方法包括在基板上沉积金属银层、在金属银层上沉积阻挡层，其中阻挡层含有氮化硅、金属元素、金属氮化物、或前述物的任何组合、及在阻挡层上沉积含有氧化硅的封装层。

公开(公告)号：CN116075766A

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202180047524.4

申请日：2021-06-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 赛捷·托克·加勒特·多莎 ,  大野贤一 ,  罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 ,  卢瑟·振毅·泰欧 ,  郭津睿

IPC: G02B27/01

Abstract: 本文描述的实施方式涉及封装的光学装置及形成具有可控气隙封装的光学装置的方法。在一个实施方式中，围绕多个光学装置结构在支撑层中形成有多个开口，以在光学装置结构、支撑层、及开口之间产生高折射率对比。在另一实施方式中，牺牲材料设置在光学装置结构之间并且随后封装层设置在光学装置结构上。牺牲材料被移除，从而形成由封装层、基板、及每个光学装置结构限定的空间。在又一实施方式中，封装层设置在光学装置结构上方，从而形成由封装层、基板、及每个光学装置结构限定的空间。

公开(公告)号：CN118613604A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202380017563.9

申请日：2023-01-18

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 大野贤一 ,  仓富敬 ,  卢多维克·戈代

IPC: C23C14/34 ,  H01J37/34

Abstract: 本揭露案的实施方式大体涉及复合PVD靶材。该靶材具有直径；连接面；相对于连接面的基板面；厚度，介于连接面及基板面之间；及材料分布。该材料分布包括布置在图案中的含硅材料，及布置在图案中的含钛材料。该材料分布在沿着厚度的任何点处为均匀的。

公开(公告)号：CN116569105A

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202180082465.4

申请日：2021-11-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿弥陀•乔希 ,  安德鲁•塞巴洛斯 ,  大野贤一 ,  拉米•胡拉尼 ,  卢多维克·戈代

IPC: G03F7/004

Abstract: 本公开内容的实施方式一般涉及压印组成物和材料和用于纳米压印平版印刷术(NIL)的相关处理。在一个或多个实施方式中，提供了一种压印组成物，并且该压印组成物包含多个钝化纳米颗粒、一种或多种溶剂、表面配位体、添加剂和丙烯酸酯。每一个钝化纳米颗粒含有核心和一个或多个壳层，其中该核心包含一种或多种金属氧化物并且该壳层包含一种或多种钝化材料。该壳层的钝化材料包含一种或多种原子层沉积(ALD)材料、一种或多种嵌段共聚物，或一种或多种含硅化合物。

公开(公告)号：CN115734826A

公开(公告)日：2023-03-03

申请号：CN202180046633.4

申请日：2021-06-04

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿布舍克·曼达尔 ,  尼廷·迪帕克 ,  尼哈·古普塔 ,  普雷纳·桑塔利亚·戈拉迪亚 ,  安库尔·凯达姆 ,  大野贤一 ,  大卫·亚历山大·布里兹 ,  兰斯·A·斯卡德尔

IPC: B08B3/08

Abstract: 本公开内容的实施方式总体涉及通过去除腐蚀部和沉积保护涂层来翻新航空部件的方法。在一个或多个实施方式中，一种航空部件的翻新方法包括将包含腐蚀部的航空部件暴露于水性清洁溶液。所述航空部件包括镍超合金、设置在所述镍超合金上的铝化物层和设置在所述铝化物层上的氧化铝层。所述方法包括使用所述水性清洁溶液从氧化铝层的一部分去除腐蚀部以露出氧化铝层，然后将所述氧化铝层暴露于后冲洗液，以及在所述氧化铝层上形成保护涂层。

公开(公告)号：CN114008236A

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN202080042908.2

申请日：2020-04-08

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 苏克蒂·查特吉 ,  大野贤一 ,  兰斯·A·斯卡德尔 ,  尤里·梅尔尼克 ,  大卫·A·布里兹 ,  普拉文·K·纳万克尔 ,  托马斯·奈斯利 ,  马克·沙丽 ,  杰弗里·安西斯

IPC: C23C10/60 ,  C23C10/30 ,  C23C28/04

Abstract: 本公开内容的实施方式大体涉及在航空部件上的保护涂层和用于沉积所述保护涂层的方法。在一个或多个实施方式中，一种用于在航空部件上产生保护涂层的方法包括：在含有镍和铝(例如，镍‑铝超合金)的所述航空部件上沉积金属氧化物模板层；和在热工艺和/或氧化工艺期间加热含有所述金属氧化物模板层的所述航空部件。所述热工艺和/或氧化工艺包括：将所述航空部件内含有的铝向含有所述金属氧化物模板层的所述航空部件的表面扩散；氧化所扩散的铝以产生设置在所述航空部件与所述金属氧化物模板层之间的氧化铝层；和去除所述金属氧化物模板层的至少一部分，同时留下所述氧化铝层。