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公开(公告)号：CN119767820A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411817242.X
申请日：2019-02-21
Applicant: 应用材料公司
IPC: H10F39/12 , G03F7/00 , H10H20/855 , H01S5/0225
Abstract: 此处系统及方法相关于使用硅晶圆、玻璃、或如基板的装置来形成光学装置，所述光学装置包含堆叠的光学元件层。可在暂时或永久基板上制造此处所讨论的光学元件。在一些范例中，制造光学装置以包含透明基板或装置，所述装置包含电荷耦合装置(CCD)、或互补式金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器、发光二极管(LED)、微LED(μLED)显示器、有机发光二极管(OLED)或垂直腔表面发光激光器(VCSEL)。光学元件可在光学元件层之间形成夹层，夹层的厚度范围可为1nm至3mm。
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公开(公告)号：CN112513688B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN201980047037.0
申请日：2019-07-01
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 摩根·埃文斯 , 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森
IPC: G02B5/18
Abstract: 公开一种具有光栅结构的设备和用于形成所述设备的方法。所述光栅结构包括在光栅层中形成凹部。在所述光栅层中形成多个通道，以在所述光栅层中限定斜向光栅结构。所述凹部和斜向光栅结构是使用选择性蚀刻工艺形成的。
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公开(公告)号：CN114008524A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202080041380.7
申请日：2020-05-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 赛捷·托克·加勒特·多莎 , 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 , 卢多维克·戈代 , 陈建安 , 平克什·罗希特·沙阿
Abstract: 本文描述的多个实施方式涉及用于制造光学装置的方法。本文描述的方法使得能够在基板上制造一个或多个光学装置，该基板具有围绕每个光学装置的孔，光学装置具有多个结构。本文描述的方法的一个实施方式包括：在基板的表面上设置孔材料层，在孔和基板的表面之上设置结构材料层，在孔和结构材料层之上设置硬模，在硬模之上设置图案化的光刻胶，图案化的光刻胶界定暴露的硬模部分，去除暴露的硬模部分以暴露结构材料层的结构部分，并且去除结构部分以在基板的表面的区域之上的孔之间形成多个结构。
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公开(公告)号：CN113196453A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201980082070.7
申请日：2019-12-06
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 约瑟夫·C·奥尔森 , 卢多维克·戈代 , 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 , 摩根·埃文斯 , 傅晋欣
IPC: H01L21/265 , H01L21/67 , H01L23/538
Abstract: 本公开内容的多个实施方式涉及一种用于在基板上形成装置的系统和方法。例如，一种用于在基板上形成装置的方法可以包括从一个或多个离子束腔室投射一个或多个离子束，以在基板的第一表面上形成一个或多个装置，以及从一个或多个离子束腔室投射一个或多个离子束，以在基板的第二表面上形成一个或多个装置。在这些实施方式中，第一表面和第二表面在基板的相对侧上。因此，离子束可以在基板的两侧上形成装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113168020A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980081016.0
申请日：2019-12-16
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 约瑟夫·C·奥尔森 , 卢多维克·戈代 , 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 , 摩根·埃文斯 , 傅晋欣
Abstract: 本公开内容的实施方式大致涉及形成光栅的方法。该方法包括在设置于基板上的光栅材料上沉积抗蚀材料，将该抗蚀材料图案化为抗蚀层，投射第一离子束至第一元件区域以形成第一组多个光栅，及投射第二离子束至第二元件区域以形成第二组多个光栅。利用图案化抗蚀层允许在大区域上投射离子束，此举往往比将离子束聚焦在特定区域中更容易。
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公开(公告)号：CN112997058A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201980073431.1
申请日：2019-10-28
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 傅晋欣 , 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 , 卢多维克·戈代
Abstract: 本文描述的实施方式涉及用于测量和表征利用玻璃基板的增强现实和虚拟现实波导结构的性能的设备。波导性能测量系统通常包括：光源，被配置为将光导向波导上的输入耦合光栅区域；以及一个或多个光探测器，被配置为从波导的第二侧上的输出耦合光栅区域收集光。光源和一个或多个光探测器设置在围绕波导定位的一个或多个可调节工作台上。在某些实施方式中，一个或多个可调节工作台被配置为以线性方式移动或以轨道运动围绕波导绕转和/或旋转。
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公开(公告)号：CN112041710A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201980028904.6
申请日：2019-02-26
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 塔帕什里·罗伊 , 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 , 罗伯特·简·维瑟
Abstract: 本文描述的实施方式涉及具有亚波长尺寸的纳米结构的透反射滤光器。在一个实施方式中，所述透反射滤光器包括膜堆叠，所述膜堆叠透射一波长范围内的过滤光，并反射不在第一波长范围内的光。所述膜堆叠包括：第一金属膜，设置在基板上，具有第一厚度；第一介电膜，设置在所述第一金属膜上，具有第二厚度；第二金属膜，设置在所述第一介电膜上，具有第三厚度；和第二介电膜，设置在所述第二金属膜上，具有第四厚度。
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公开(公告)号：CN111630420A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN201880087455.8
申请日：2018-10-23
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 , 韦恩·麦克米兰
IPC: G02B6/02
Abstract: 于此描述的实施方式关于增强波导区域。增强波导区域通常包括具有工作周期和折射率的多个光栅。在某些实施方式中，工作周期不同，折射率不同，或工作周期和折射率都不同。于此还描述了用于形成增强波导区域的方法。
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