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公开(公告)号：CN116670320A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202180086388.X
申请日：2021-11-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 劳伦·巴格比 , 斯蒂芬·维克斯 , 艾伦·丹格菲尔德 , 拉克马尔·卡鲁塔格 , 杰弗里·安西斯 , 马克·沙丽 , 瑞加娜·弗雷德 , 韦恩·弗兰奇 , 凯尔文·陈
IPC: C23C14/12
Abstract: 实施方式包括将金属氧基光刻胶形成于基板上的方法。在实施方式中，所述方法包含以下步骤：在真空腔室中提供靶材，其中靶材包含金属。所述方法可继续以下步骤：将烃类气体和惰性气体流入真空腔室，和在真空腔室中触发等离子体。在实施方式中，所述方法可进一步继续以下步骤：将金属氧基光刻胶沉积于基板上，其中金属氧基光刻胶包含金属‑碳键结和金属‑氧键结。
