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公开(公告)号：CN100373209C
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200410028717.3
申请日：2004-03-15
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 微型振荡元件包括振荡部分和框架。振荡部分设有镜面并通过梯形的第一和第二弹簧与框架相连。振荡部分位于第一弹簧和第二弹簧之间。第一弹簧和第二弹簧的每一个都可随振荡部分的振荡发生形变。
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公开(公告)号：CN1677055A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510058943.0
申请日：2005-03-25
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842
Abstract: 一种惯性传感器，该惯性传感器包括具有配重的传感部分，所述配重由从框架处延伸的梁悬挂并且是可运动部分。所述梁包括部分地布置于其中的变形部分，并且所述变形部分布置成避开施加在所述梁上的应力集中在其上的边缘。所述梁的根部没有形成为以直角与配重或框架相连接。所述梁的根部具有更宽的角度。因此，可分散应力集中在其上的区域，并且在不牺牲传感器的灵敏性情况下增强耐冲击性。根据本发明既可获得高传感器灵敏性又可获得耐冲击性。
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公开(公告)号：CN1314104C
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN03106476.0
申请日：2003-02-27
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01L21/78 , H01L21/301
Abstract: 多个微镜芯片集中制作在共用衬底上。每个微镜芯片由微镜单元构成，它包含框架、与框架有隔离部分的镜形成部分、以及连接镜形成部分与框架的扭杆。共用衬底受到腐蚀以提供隔离部分以及制作分割沟槽而将共用衬底分割成分立的微镜芯片。制作隔离部分和分割沟槽的腐蚀是彼此并行的。
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公开(公告)号：CN1459643A
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN03102321.5
申请日：2003-01-30
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体器件株式会社
CPC classification number: G02B6/3518 , G02B6/3556 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/4232 , G02B26/0841 , Y10S359/904
Abstract: 一种微镜面单元包括：微镜面基片、布线基片和置于这些基片之间的导电衬垫。该微镜面基片具有运动部分、框架以及把该运动部分连接到该框架的扭杆。该运动部分具有镜面形成部分。该布线基片形成有布线图案。该导电衬垫把该框架电连接到布线图案，并且还提供用于使微镜面基片与布线基片相互隔开的间隔。
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公开(公告)号：CN1322352C
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200410078620.3
申请日：2004-09-14
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 一种微振荡元件包括框架、可动功能部件、驱动机构、从该功能部件延伸到该驱动机构的横梁、以及使该框架和该横梁相互连接的扭转接头。该接头限定了一个旋转轴，该功能部件绕该旋转轴旋转。该旋转轴与该横梁的纵向垂直。在该旋转轴纵向上该横梁比该功能部件短。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1207593C
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN03102321.5
申请日：2003-01-30
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体器件株式会社
CPC classification number: G02B6/3518 , G02B6/3556 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/4232 , G02B26/0841 , Y10S359/904
Abstract: 一种微镜面单元包括：微镜面基片、布线基片和置于这些基片之间的导电衬垫。该微镜面基片具有运动部分、框架以及把该运动部分连接到该框架的扭杆。该运动部分具有镜面形成部分。该布线基片形成有布线图案。该导电衬垫把该框架电连接到布线图案，并且还提供用于使微镜面基片与布线基片相互隔开的间隔。
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公开(公告)号：CN1677056A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510059704.7
申请日：2005-03-29
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01P15/123 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , G01C19/56 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/0842
Abstract: 一种惯性传感器，包括：传感部分，其具有由梁支撑的配重，该配重是可运动部分；以及限制配重的可运动范围的配重止动件，该配重止动件以给定间距设置在配重的附近，并成为利用MEMS技术所加工的惯性传感器的衬底的一部分。
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公开(公告)号：CN1580862A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN200410028717.3
申请日：2004-03-15
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 微型振荡元件包括振荡部分和框架。振荡部分设有镜面并通过梯形的第一和第二弹簧与框架相连。振荡部分位于第一弹簧和第二弹簧之间。第一弹簧和第二弹簧的每一个都可随振荡部分的振荡发生形变。
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公开(公告)号：CN1469154A
公开(公告)日：2004-01-21
申请号：CN03106476.0
申请日：2003-02-27
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体器件株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , Y10S359/90
Abstract: 多个微镜芯片集中制作在共用衬底上。每个微镜芯片由微镜单元构成，它包含框架、与框架有隔离部分的镜形成部分、以及连接镜形成部分与框架的扭杆。共用衬底受到腐蚀以提供隔离部分以及制作分割沟槽而将共用衬底分割成分立的微镜芯片。制作隔离部分和分割沟槽的腐蚀是彼此并行的。
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公开(公告)号：CN100362388C
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200410028718.8
申请日：2004-03-15
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H02N1/008
Abstract: 一种微型振荡元件包括：可移动主部件；第一框架和第二框架；和第一连接部件，连接可移动主部件和第一框架，并且限定用于可移动主部件相对于第一框架的第一旋转操作的第一旋转轴。元件还包括第二连接部件，连接第一框架和第二框架，并且限定用于第一框架和可移动主部件相对于第二框架的第二旋转操作的第二旋转轴。设有产生用于第一旋转操作的驱动力的第一驱动机构。设有产生用于第二旋转操作的驱动力的第二驱动机构。第一旋转轴和第二旋转轴不垂直。第一框架具有包括电极支撑侧部的四个侧部，第一驱动机构的一部分从第一框架的所述电极支撑侧部向可移动主部件延伸，并且第二驱动机构的一部分从第一框架的所述电极支撑侧部向第二框架延伸。
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