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公开(公告)号：CN115128911A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210766399.9
申请日：2022-06-30
Applicant: 安徽工程大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种微透镜面型动态调控优化控制方法，该方法包括以下步骤：输入目标轮廓方程和初始曝光剂量；进行曝光模拟，确定溶解速率分布；进行显影工艺模拟，确定最佳显影时间；判断是否满精度要求，若未达到精度要求，则进行程序优化直到达到所需精度；重复以上步骤，找到不同焦点处的最小误差，输出最优参数组合，实现微透镜三维面型的精细调控。本发明不仅节约了设计时间，还提高了目标结构的制造精度和质量。
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公开(公告)号：CN118749857A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202411056344.4
申请日：2024-08-02
Applicant: 安徽工程大学
Abstract: 本发明给出了一种玻璃幕墙专用履带式清洗机器人，旨在提高清洗效率、保障作业安全，并减少人工清洗风险。机器人包括壳体、清洗机构、驱动机构、行走机构和防掉落机构。清洗机构由滚筒电机、滚筒罩、滚筒刷、接水板、刮板等组成，配合水泵和水箱实现喷水和污水回收。驱动机构采用步进电机和减速机，保证机器人在玻璃幕墙上的稳定移动。行走机构利用吸盘和履带实现吸附和移动，真空分配组件确保吸盘有效吸附。防掉落机构由卷扬机、吊索、轨道等组成，保障机器人在断电或吸附失效时不会掉落。本发明还给出了一种清洗方法，清洗方法包括将机器人置于玻璃幕墙顶层，通过遥控或自动模式进行自上而下的清洗，再反向自下而上清洗，最后通过防掉落机构横移机器人以完成整个幕墙的清洗。该方法自动化程度高，节约人力成本，提高安全系数，适用于高层建筑玻璃幕墙的清洗。
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公开(公告)号：CN114895389A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202210458849.8
申请日：2022-04-25
Applicant: 安徽工程大学
Abstract: 本发明涉及光学成像领域，具体是一种柔性制作多焦点微透镜阵列结构的方法，步骤如下：制作三种数字掩模版；在衬底上旋涂一层负性光刻胶，用一号掩模版进行第一次无掩模曝光，曝光显影得到初步的结构；在第一层光刻胶上旋涂第二层光刻胶，基于二号掩模版进行第二次曝光显影；在第二层光刻胶上选图第三层光刻胶，基于三号掩模版进行第三次曝光显影，得到具有三种不同厚度的多层微柱结构；对多层微柱结构进行热回流工艺处理，封装热回流后的球面微透镜得到多焦点微透镜阵列结构；本发明具有工艺操作简单、成本低等优点，能够满足大景深要求。
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公开(公告)号：CN115128911B
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202210766399.9
申请日：2022-06-30
Applicant: 安徽工程大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种微透镜面型动态调控优化控制方法，该方法包括以下步骤：输入目标轮廓方程和初始曝光剂量；进行曝光模拟，确定溶解速率分布；进行显影工艺模拟，确定最佳显影时间；判断是否满精度要求，若未达到精度要求，则进行程序优化直到达到所需精度；重复以上步骤，找到不同焦点处的最小误差，输出最优参数组合，实现微透镜三维面型的精细调控。本发明不仅节约了设计时间，还提高了目标结构的制造精度和质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118131568A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410115864.1
申请日：2024-01-26
Applicant: 安徽工程大学
Abstract: 本发明涉及提拉法涂胶技术领域，具体涉及一种基于提拉法涂胶的装置及其使用方法，包括实验桌，其顶部设有提拉机构、调平机构、光刻胶容器、辅助曝光机构和工业机器人，所述提拉机构的工作端上设有滚动压印模具，所述提拉机构的一侧设有调平机构，所述调平机构的顶部固设有光刻胶容器，所述光刻胶容器位于所述滚动压印模具的底部，所述辅助曝光机设置在所述调平机构远离所述提拉机构的一侧，至少一个工业机器人设置在所述调平机构的旁侧，所述工业机器人固设在所述实验桌上，本发明可以更好的实现提拉法涂胶，同时自动化程度高，节约了人力成本，具有强大的机构之间的联合工作关系，工作效率高，具有良好适应性。
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公开(公告)号：CN117192913A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311165016.3
申请日：2023-09-11
Applicant: 安徽工程大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及DMD器件成像曝光技术领域，尤其涉及一种基于三维移动曝光提高光刻分辨率的系统及方法，通过光刻中三维移动平台的纳米级距离的反复微移动填补DMD像素间隙，从而消减DMD像素量化误差，实现提高曝光图形轮廓的边缘平滑度，提高分辨率，并且通过三维移动平台不同的移动距离和不同的移动路线达到不同程度的优化结果。与子图叠加光刻相比，整个过程更加便捷灵活，与普通的非子图叠加光刻相比，曝光后图形轮廓的边缘光滑度要更加平滑。
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公开(公告)号：CN115104943B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202210768106.0
申请日：2022-07-01
Applicant: 安徽工程大学
Abstract: 本发明涉及壁面移动机器人领域，具体是一种基于新型麦克纳姆轮的高空玻璃清洗车及其使用方法，该高空玻璃清洗车包括：并轮机构、新型麦克纳姆轮、滚筒翼、旋转机构、底板机构、喷水机构、缓冲机构、擦拭机构，其具体使用步骤如下：步骤一：滚筒翼开始旋转；步骤二：新型麦克纳姆轮牢牢地吸附在玻璃的表面；步骤三：喷水机构开始对玻璃表面喷洒水雾；步骤四：擦拭机构中的电动机开始运作；步骤五：调节底板机构与玻璃表面的距离；步骤六：高空玻璃清洗车前进，擦拭布在前进过程中对玻璃表面进行擦拭，本发明可以取代人力劳动，节省人工成本，同时自动化程度高，工作效率高，工作的速度与质量远高于人力劳动。
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公开(公告)号：CN115104943A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210768106.0
申请日：2022-07-01
Applicant: 安徽工程大学
Abstract: 本发明涉及壁面移动机器人领域，具体是一种基于新型麦克纳姆轮的高空玻璃清洗车及其使用方法，该高空玻璃清洗车包括：并轮机构、新型麦克纳姆轮、滚筒翼、旋转机构、底板机构、喷水机构、缓冲机构、擦拭机构，其具体使用步骤如下：步骤一：滚筒翼开始旋转；步骤二：新型麦克纳姆轮牢牢地吸附在玻璃的表面；步骤三：喷水机构开始对玻璃表面喷洒水雾；步骤四：擦拭机构中的电动机开始运作；步骤五：调节底板机构与玻璃表面的距离；步骤六：高空玻璃清洗车前进，擦拭布在前进过程中对玻璃表面进行擦拭，本发明可以取代人力劳动，节省人工成本，同时自动化程度高，工作效率高，工作的速度与质量远高于人力劳动。
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公开(公告)号：CN117192913B
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202311165016.3
申请日：2023-09-11
Applicant: 安徽工程大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及DMD器件成像曝光技术领域，尤其涉及一种基于三维移动曝光提高光刻分辨率的系统及方法，通过光刻中三维移动平台的纳米级距离的反复微移动填补DMD像素间隙，从而消减DMD像素量化误差，实现提高曝光图形轮廓的边缘平滑度，提高分辨率，并且通过三维移动平台不同的移动距离和不同的移动路线达到不同程度的优化结果。与子图叠加光刻相比，整个过程更加便捷灵活，与普通的非子图叠加光刻相比，曝光后图形轮廓的边缘光滑度要更加平滑。
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