一种耐磨二硫化钼基复合薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN117626179A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311541172.5

    申请日:2023-11-15

    Abstract: 本发明涉及固体润滑薄膜材料技术领域,具体为一种耐磨二硫化钼基复合薄膜及其制备方法;所述复合薄膜从基体表面向外依次包括Ti金属离子植入层、Ti金属过渡层和MoS2‑Ti功能层;MoS2‑Ti层中Ti含量为9~15at%,所述MoS2‑Ti层的厚度为2~3μm;Ti过渡层的厚度为200~300nm;Ti金属离子植入层厚度为10~20nm;其制备方法是利用复合磁控溅射技术在316L不锈钢基体表面沉积二硫化钼基固体润滑薄膜,通过控制功能层MoS2‑Ti中Ti的含量,使得Ti以固溶体形式存在,在不破坏MoS2薄膜层状结构及润滑属性的前提下,大大降低MoS2对环境的敏感性及摩擦系数,显著提高MoS2复合薄膜耐磨寿命,扩宽其在微电子表面防护和空间飞行器运动零部件领域中的应用。

    一种高温耐磨自润滑复合涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN115029662B

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN202210719986.2

    申请日:2022-06-23

    Abstract: 本发明属于表面工程技术领域,特别涉及一种高温耐磨自润滑复合涂层及其制备方法,其包括基体膜层及喷涂在其表面的耐磨涂层,基体膜层由下至上分别为Ti打底层、Ti2AlN过渡层及通过双靶磁控溅射依次交替溅射沉积的TiB2/Ti2AlN功能层;其中,Ti打底层厚度为200nm,Ti2AlN过渡层厚度为500~1000nm,TiB2/Ti2AlN功能层中的单层TiB2厚度为30~50nm,Ti2AlN单层厚度为20~40nm,基体膜层总厚度为2~5μm;本发明中所制备的纳米多层涂层不仅具有高温热稳定性同时兼具高温自润滑性能,解决了现行PVD硬质涂层刀具高速切削航空钛合金材料易粘结和易磨损问题,具有更广阔的市场前景,更适宜推广。

    一种内腔蒸发镀膜装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117966100A

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN202410131358.1

    申请日:2024-01-31

    Abstract: 本发明涉及真空镀膜技术领域,具体涉及一种内腔蒸发镀膜装置,包括蒸发舟、待镀膜直管、阳极组件、阴极组件、固定架支柱、固定架导轨、蒸发电源和离子清洗电源,蒸发舟设于待镀膜直管的内腔内,阳极组件一端与所述蒸发舟连接,另一端与蒸发电源正极以及离子清洗电源负极连接,阴极组件一端与所述蒸发舟连接,另一端与蒸发电源负极以及离子清洗电源正极连接,固定架支柱用于支撑阳极组件和阴极组件,固定架支柱沿设于固定架支柱下方的固定架导轨往复运动,蒸发舟在固定架支柱的带动下沿着待镀膜直管的内腔轴线往复运动。解决了现有的电弧离子镀膜、磁控溅射技术和电镀技术中,对比较长的管状零件,内部仍然无法完成膜层均匀沉积,甚至无法完成沉积的问题。

    一种增强钛合金与碳基薄膜结合强度的纳米多层过渡层及其制备方法

    公开(公告)号:CN118563256A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410654250.0

    申请日:2024-05-24

    Abstract: 本发明涉及表面工程技术领域,特别涉及一种增强钛合金与碳基薄膜结合强度的纳米多层过渡层及其制备方法,该方法将纳米多层过渡层及沉积在钛合金基体和碳基薄膜之间,该过渡层由下至上分别为Ti打底层、TiN过渡层、TiCN渐过渡层、TiC支撑层、TiCH渐过渡层及a‑C:H功能层;本发明中制备的纳米多层过渡层不仅增强了碳基薄膜在钛合金表面上的附着强度,还具有高耐磨性及低摩擦系数,解决了当前钛合金作为动力传动核心材料附着力低的问题,应用前景巨大,且适用领域广泛。

    一种复合材料表面磁控溅射镀铜前等离子体表面改性方法

    公开(公告)号:CN116607105A

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202310607158.4

    申请日:2023-05-26

    Abstract: 本发明涉及表面工程技术领域,具体涉及一种复合材料表面磁控溅射镀铜前等离子体表面改性方法,包括如下步骤:步骤一:材料准备:复合材料;步骤二:样品化学清洗;步骤三:射频等离子体表面活化或高压条形离子源表面活化;步骤五:直流磁控溅射技术铜膜的制备,得到处理后的复合材料,经本发明方法处理后的复合材料不仅对表面进行了清洗、刻蚀,同时增加复合材料表面的粗糙度,提高了复合材料的表面能,改善其表面性能,进而提高了基底与铜膜的结合强度。

    提高辉光等离子体预处理均匀性和重复性的方法及装置

    公开(公告)号:CN117915535A

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202410169803.3

    申请日:2024-02-06

    Abstract: 本申请公开了一种提高柔性有机薄膜辉光等离子体预处理均匀性和重复性的方法及装置,包括腔室和射频电源,所述腔室的内部设置有平行板电极结构,包括第一极板和第二极板,所述第一极板的材质为不锈钢,所述第一极板处设置有石英玻璃;所述第二极板的材质为铝,所述第二极板的表面具有Al2O3薄膜层,所述第二极板处设置有陶瓷板;所述腔室连接有供气单元和抽真空单元。本发明采用DBD型平行板电极结构,利用介质阻挡放电产生辉光等离子体。通过优化电极结构、极板距离、处理工艺等措施,显著提高了柔性有机薄膜辉光等离子体预处理的均匀性和重复性,且预处理后薄膜亲水性得到明显改善。

    一种高温耐磨自润滑复合涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN115029662A

    公开(公告)日:2022-09-09

    申请号:CN202210719986.2

    申请日:2022-06-23

    Abstract: 本发明属于表面工程技术领域,特别涉及一种高温耐磨自润滑复合涂层及其制备方法,其包括基体膜层及喷涂在其表面的耐磨涂层,基体膜层由下至上分别为Ti打底层、Ti2AlN过渡层及通过双靶磁控溅射依次交替溅射沉积的TiB2/Ti2AlN功能层;其中,Ti打底层厚度为200nm,Ti2AlN过渡层厚度为500~1000nm,TiB2/Ti2AlN功能层中的单层TiB2厚度为30~50nm,Ti2AlN单层厚度为20~40nm,基体膜层总厚度为2~5μm;本发明中所制备的纳米多层涂层不仅具有高温热稳定性同时兼具高温自润滑性能,解决了现行PVD硬质涂层刀具高速切削航空钛合金材料易粘结和易磨损问题,具有更广阔的市场前景,更适宜推广。

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