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公开(公告)号:CN114959575B
公开(公告)日:2024-01-02
申请号:CN202210589861.2
申请日:2022-05-26
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及表面涂层技术领域,具体涉及一种薄膜传感器用绝缘耐磨防护涂层及其制备方法,该涂层由下而上依次包括金属衬底、CrN过渡层、AlCrN支撑层、AlCrSiON功能层,在氩离子刻蚀清洗后的金属衬底表面,采用电弧离子镀技术首先沉积0.2μm厚的CrN过渡层,然后沉积0.7μm厚的AlCrN支撑层,最后沉积0.5~3μm厚的AlCrSiON功能层厚度,所述AlCrSiON功能层主要由fcc‑(Al,Cr)N和fcc‑(Al,Cr)2O3混合相组成,通过实验证明,通过上述方案得到的绝缘耐磨涂层不仅具有优异的界面结合性能和耐磨损性能,而且具有较高的电阻值和电阻率,适用于薄膜传感器的表面防护。
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公开(公告)号:CN115125486A
公开(公告)日:2022-09-30
申请号:CN202210893289.9
申请日:2022-07-27
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及硬质涂层制备技术领域,具体涉及一种含有多层结构的高强韧纳米复合涂层及其制备方法,使用高功率脉冲磁控溅射技术在金属基体上制备具有多层结构的纳米复合AlTiSiN涂层,由下至上依次包括沉积在金属基体表面的AlTiN粘结层,多层AlTiN/TiSiN支撑层和TiSiN工作层,支撑层中TiSiN涂层Si含量为3~7%,工作层TiSiN中Si含量为8~15%。采用低负偏压AlTiN粘结层改善涂层结合力,采用多层支撑层降低涂层内应力,提高涂层韧性,同时引入多层界面结构,降低涂层缺陷,提高涂层致密度;通过控制氮气流量和占空比调节工作层TiSiN中Si含量,提高纳米复合涂层的硬度和耐磨性,制备的多层结构纳米复合涂层工艺简单,膜层光滑致密,具有较高的硬度和膜基结合力,良好的抗磨损性能。
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公开(公告)号:CN114993496A
公开(公告)日:2022-09-02
申请号:CN202210588653.0
申请日:2022-05-26
Applicant: 安徽工业大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明涉及温度传感器技术领域,具体涉及一种合金表面快速响应薄膜热电偶制备方法。该薄膜热电偶由下到上依次包括合金基片、AlCrN基薄膜、热氧化绝缘膜、NiCr/NiSi传感功能薄膜、氧化铝保护膜,所述的热氧化膜通过热氧化法在高结合力AlCrN基薄膜表面原位自主生成,主要组分由氧化铝和氧化铬组分构成,本发明采用气相沉积技术制备的薄膜热电偶,各层薄膜组织致密,传感功能薄膜与金属工件之间完全电绝缘,塞贝克系数接近标准K型热电偶,具有快速响应和高可靠性等特点,满足金属工件在苛刻服役环境下的动态测温需求。
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公开(公告)号:CN109402631B
公开(公告)日:2021-02-05
申请号:CN201811617209.7
申请日:2018-12-27
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明公开一种高硬度梯度增强冷轧辊及其表面激光熔覆涂层制备方法,包括冷轧辊基体和表面激光熔覆涂层,所述表面激光熔覆涂层设置为包括激光熔覆打底层、激光熔覆过渡层和激光熔覆工作层的梯度式结构;本发明中所述激光熔覆打底层能够减少激光熔覆涂层与碳含量较高的冷轧辊基体之间的热膨胀系数,降低碳含量,提高激光熔覆涂层的韧性;通过添加CeO2强化相,使激光熔覆涂层组织得到细化晶粒,同时有利于降低激光熔覆涂层的摩擦系数;通过设计激光熔覆涂层的成分梯度变化,降低激光熔覆涂层的裂纹敏感性。
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公开(公告)号:CN108118340A
公开(公告)日:2018-06-05
申请号:CN201711395404.5
申请日:2017-12-21
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明公开一种钼及钼合金电极表面Mo5Si3-MoSi2-SiO2高温防护复合涂层及制备方法,属于金属表面工程技术领域。本发明将真空活化包渗法与高温氧化工艺相结合,实现了Mo5Si3-MoSi2-SiO2复合涂层的制备。首先,采用真空活化包渗法实现了Mo5Si3-MoSi2复合涂层制备,表层MoSi2为后续氧化工艺提供Si源,在随后的高温氧化过程中,MoSi2发生氧化,表层形成了一层致密的SiO2涂层,填补了MoSi2涂层的孔隙和裂纹,提高了整个涂层体系的致密性,进而增强了体系的抗高温氧化性能。本发明制备的复合涂层在1600℃下抗氧化寿命达到250小时,1600℃至室温的热震寿命达到1000次,在1600℃条件下抗冲刷寿命为8小时。
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公开(公告)号:CN112708852B
公开(公告)日:2022-12-16
申请号:CN202011534781.4
申请日:2020-12-22
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明公开一种原位高能Ar+刻蚀后处理改善AlCrN涂层刀具性能的方法,包括步骤:清洗基材;制备AlCrN功能涂层;将所述AlCrN功能涂层沉积在处理后的所述基材上;原位高能Ar+轰击后处理;对制备好的AlCrN功能涂层进行原位高能Ar+轰击后处理:沉积镀膜结束后,对所述基材进行抽真空,加工温度保持在400℃并通入Ar气;开启清洗Ti靶后开启阳极靶材,所述阳极靶材与所述清洗Ti靶构成正负极牵引电子运动,电子与Ar气碰撞产生Ar+,控制负偏压为‑200V,吸引Ar+对设置有所述AlCrN功能涂层的所述基材表面进行离子轰击,轰击时间为40min;本发明可有效去除AlCrN涂层表面的大小液滴颗粒,同时增加涂层和基体的残余压应力,改善了AlCrN涂层的表面粗糙度和切削性能。
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公开(公告)号:CN109402631A
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201811617209.7
申请日:2018-12-27
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明公开一种高硬度梯度增强冷轧辊及其表面激光熔覆涂层制备方法,包括冷轧辊基体和表面激光熔覆涂层,所述表面激光熔覆涂层设置为包括激光熔覆打底层、激光熔覆过渡层和激光熔覆工作层的梯度式结构;本发明中所述激光熔覆打底层能够减少激光熔覆涂层与碳含量较高的冷轧辊基体之间的热膨胀系数,降低碳含量,提高激光熔覆涂层的韧性;通过添加CeO2强化相,使激光熔覆涂层组织得到细化晶粒,同时有利于降低激光熔覆涂层的摩擦系数;通过设计激光熔覆涂层的成分梯度变化,降低激光熔覆涂层的裂纹敏感性。
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公开(公告)号:CN118910539A
公开(公告)日:2024-11-08
申请号:CN202410952404.4
申请日:2024-07-16
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及表面强化技术领域,具体涉及一种提高马氏体不锈钢耐腐蚀磨损渗氮层及其制备方法,采用真空电弧镀膜机实现低温低气压高效渗氮。所述渗氮层的厚度不小于8微米;所述渗氮层的组织以膨胀马氏体αN相为主,同时存在少量的ε‑Fe2‑3N相和γ'‑Fe4N相;所述渗氮层的自腐蚀电流密度小于3.0×10‑8A/cm2,显微硬度不低于HV700,显著提升不锈钢的抗腐蚀磨损性能。该渗氮层制备方法避免了复杂形状零部件的边角效应和打弧问题,有效降低渗氮层表面脆性,同时提升高强度不锈钢的耐氢脆性。该渗氮层有望应用于海洋环境下的马氏体不锈钢精密零部件,保障高端装备长期稳定服役。
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公开(公告)号:CN114993496B
公开(公告)日:2024-10-22
申请号:CN202210588653.0
申请日:2022-05-26
Applicant: 安徽工业大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明涉及温度传感器技术领域,具体涉及一种合金表面快速响应薄膜热电偶制备方法。该薄膜热电偶由下到上依次包括合金基片、AlCrN基薄膜、热氧化绝缘膜、NiCr/NiSi传感功能薄膜、氧化铝保护膜,所述的热氧化膜通过热氧化法在高结合力AlCrN基薄膜表面原位自主生成,主要组分由氧化铝和氧化铬组分构成,本发明采用气相沉积技术制备的薄膜热电偶,各层薄膜组织致密,传感功能薄膜与金属工件之间完全电绝缘,塞贝克系数接近标准K型热电偶,具有快速响应和高可靠性等特点,满足金属工件在苛刻服役环境下的动态测温需求。
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公开(公告)号:CN118639199A
公开(公告)日:2024-09-13
申请号:CN202410681006.3
申请日:2024-05-29
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及表面技术领域,具体涉及一种钛合金表面低温等离子体镀渗改性层、制备方法及其应用,改性层由上至下依次包括TiN层、ε‑Ti2N层、α‑Ti(N)层。采用磁控溅射技术在钛合金表面预镀金属Ti薄膜,然后进行低温等离子体渗氮处理,形成相结构和氮浓度呈现梯度分布的钛氮复合改性层。所述镀渗改性层中,预镀Ti膜柱状晶间隙的毛细作用能促进氮原子向内扩散,有效降低渗氮温度;渗氮层中氮化物沿晶隙析出,与柱状晶之间形成互锁结构,大幅度提高结合强度;氮原子经由Ti膜向基体连续扩散,减小薄膜与基体的物性差异,提高表面承载能力;得到的镀渗改性层不仅具有较高的界面结合性能和强韧性,而且具有良好的耐磨损性能,适用于精密钛合金表面耐磨防护。
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