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公开(公告)号：CN114959575B
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202210589861.2
申请日：2022-05-26
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及表面涂层技术领域，具体涉及一种薄膜传感器用绝缘耐磨防护涂层及其制备方法，该涂层由下而上依次包括金属衬底、CrN过渡层、AlCrN支撑层、AlCrSiON功能层，在氩离子刻蚀清洗后的金属衬底表面，采用电弧离子镀技术首先沉积0.2μm厚的CrN过渡层，然后沉积0.7μm厚的AlCrN支撑层，最后沉积0.5～3μm厚的AlCrSiON功能层厚度，所述AlCrSiON功能层主要由fcc‑(Al,Cr)N和fcc‑(Al,Cr)2O3混合相组成，通过实验证明，通过上述方案得到的绝缘耐磨涂层不仅具有优异的界面结合性能和耐磨损性能，而且具有较高的电阻值和电阻率，适用于薄膜传感器的表面防护。
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公开(公告)号：CN114993496A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210588653.0
申请日：2022-05-26
Applicant: 安徽工业大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明涉及温度传感器技术领域，具体涉及一种合金表面快速响应薄膜热电偶制备方法。该薄膜热电偶由下到上依次包括合金基片、AlCrN基薄膜、热氧化绝缘膜、NiCr/NiSi传感功能薄膜、氧化铝保护膜，所述的热氧化膜通过热氧化法在高结合力AlCrN基薄膜表面原位自主生成，主要组分由氧化铝和氧化铬组分构成，本发明采用气相沉积技术制备的薄膜热电偶，各层薄膜组织致密，传感功能薄膜与金属工件之间完全电绝缘，塞贝克系数接近标准K型热电偶，具有快速响应和高可靠性等特点，满足金属工件在苛刻服役环境下的动态测温需求。
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公开(公告)号：CN114993496B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202210588653.0
申请日：2022-05-26
Applicant: 安徽工业大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明涉及温度传感器技术领域，具体涉及一种合金表面快速响应薄膜热电偶制备方法。该薄膜热电偶由下到上依次包括合金基片、AlCrN基薄膜、热氧化绝缘膜、NiCr/NiSi传感功能薄膜、氧化铝保护膜，所述的热氧化膜通过热氧化法在高结合力AlCrN基薄膜表面原位自主生成，主要组分由氧化铝和氧化铬组分构成，本发明采用气相沉积技术制备的薄膜热电偶，各层薄膜组织致密，传感功能薄膜与金属工件之间完全电绝缘，塞贝克系数接近标准K型热电偶，具有快速响应和高可靠性等特点，满足金属工件在苛刻服役环境下的动态测温需求。
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公开(公告)号：CN114959575A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210589861.2
申请日：2022-05-26
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及表面涂层技术领域，具体涉及一种薄膜传感器用绝缘耐磨防护涂层及其制备方法，该涂层由下而上依次包括金属衬底、CrN过渡层、AlCrN支撑层、AlCrSiON功能层，在氩离子刻蚀清洗后的金属衬底表面，采用电弧离子镀技术首先沉积0.2μm厚的CrN过渡层，然后沉积0.7μm厚的AlCrN支撑层，最后沉积0.5～3μm厚的AlCrSiON功能层厚度，所述AlCrSiON功能层主要由fcc‑(Al,Cr)N和fcc‑(Al,Cr)2O3混合相组成，通过实验证明，通过上述方案得到的绝缘耐磨涂层不仅具有优异的界面结合性能和耐磨损性能，而且具有较高的电阻值和电阻率，适用于薄膜传感器的表面防护。
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公开(公告)号：CN114196909A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111478989.3
申请日：2021-12-03
Applicant: 广东振华科技股份有限公司 , 安徽工业大学
Abstract: 本发明公开一种改善绝缘基体表面耐磨防护涂层结合力的方法，基体清洗；强束流氩离子轰击；制备纯金属Ti过渡层；制备AlTiN耐磨防护涂层；本发明用柱弧辅助增强氩离子复合清洗，实现弧光和辉光协同放电，提高等离子体密度和能量，改善涂层与绝缘基体的界面结合问题，同时利用纯金属过渡层，补偿基体的残余应力，缓解涂层和基体之间的晶格错配问题；最后利用脉冲偏压电弧离子镀方式制备耐磨防护涂层，通过动态调节等离子体鞘层，减小绝缘表面充电效应，同时有效控制沉积离子能量，降低涂层应力，实现绝缘基片硬质涂层的高质量制备。
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