一种钛合金表面低温等离子体镀渗改性层、制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN118639199A

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202410681006.3

    申请日:2024-05-29

    Abstract: 本发明涉及表面技术领域,具体涉及一种钛合金表面低温等离子体镀渗改性层、制备方法及其应用,改性层由上至下依次包括TiN层、ε‑Ti2N层、α‑Ti(N)层。采用磁控溅射技术在钛合金表面预镀金属Ti薄膜,然后进行低温等离子体渗氮处理,形成相结构和氮浓度呈现梯度分布的钛氮复合改性层。所述镀渗改性层中,预镀Ti膜柱状晶间隙的毛细作用能促进氮原子向内扩散,有效降低渗氮温度;渗氮层中氮化物沿晶隙析出,与柱状晶之间形成互锁结构,大幅度提高结合强度;氮原子经由Ti膜向基体连续扩散,减小薄膜与基体的物性差异,提高表面承载能力;得到的镀渗改性层不仅具有较高的界面结合性能和强韧性,而且具有良好的耐磨损性能,适用于精密钛合金表面耐磨防护。

Patent Agency Ranking