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公开(公告)号：CN117966114A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410131329.5
申请日：2024-01-31
Applicant: 安徽工业大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种实验用线圈结构磁控溅射源，包括磁控阴极靶、线圈、磁轭、水冷通道、软磁背板，所述线圈、磁轭以及水冷通道均设于所述磁控阴极靶与所述软磁背板之间，所述水冷通道设于所述线圈与所述磁控阴极靶之间，所述线圈激发的磁场能作用于磁控阴极靶的表面，所述磁轭至少设有两个，所述线圈设于相邻两个磁轭之间。这种实验用线圈结构磁控溅射源，解决了目前磁控溅射源通过前后移动永磁结构改变磁场强弱同时会改变磁场方向的问题。
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公开(公告)号：CN115125486B
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202210893289.9
申请日：2022-07-27
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及硬质涂层制备技术领域，具体涉及一种含有多层结构的高强韧纳米复合涂层及其制备方法，使用高功率脉冲磁控溅射技术在金属基体上制备具有多层结构的纳米复合AlTiSiN涂层，由下至上依次包括沉积在金属基体表面的AlTiN粘结层，多层AlTiN/TiSiN支撑层和TiSiN工作层，支撑层中TiSiN涂层Si含量为3～7％，工作层TiSiN中Si含量为8～15％。采用低负偏压AlTiN粘结层改善涂层结合力，采用多层支撑层降低涂层内应力，提高涂层韧性，同时引入多层界面结构，降低涂层缺陷，提高涂层致密度；通过控制氮气流量和占空比调节工作层TiSiN中Si含量，提高纳米复合涂层的硬度和耐磨性，制备的多层结构纳米复合涂层工艺简单，膜层光滑致密，具有较高的硬度和膜基结合力，良好的抗磨损性能。
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公开(公告)号：CN112877667A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110031442.2
申请日：2021-01-11
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明公开一种真空镀膜中样品翻转装置，包括旋转轴、固定架、转盘、翻转栅条、被动齿轮、主动齿轮和固定转动部，所述旋转轴通过所述固定架与所述转盘固定连接，所述旋转轴的轴线穿过所述转盘中心，所述旋转轴带动所述转盘绕自身轴线旋转，所述翻转栅条设置在所述转盘上，且所述翻转栅条可绕自身轴线转动，一所述翻转栅条的一端固定设置有所述主动齿轮，其余所述翻转栅条的一端固定设置有所述固定齿轮，所述固定转动部可与所述主动齿轮传动连接，所述主动齿轮和相邻的所述固定齿轮啮合连接，相邻所述固定齿轮之间啮合连接；本发明的有益效果是样品在翻转时不需要额外的真空室空间，也不会对有效镀膜面积造成浪费。
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公开(公告)号：CN119685763A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411881875.7
申请日：2024-12-19
Applicant: 安徽工业大学 , 西安昆仑工业(集团)有限责任公司
Abstract: 本发明涉及钨铜合金表面防护涂层技术领域，具体涉及一种纳米结构氮氧化物耐腐蚀涂层及其制备方法，该方法采用物理气相沉积技术在钨铜合金基材上形成耐腐蚀性涂层。其中，底部为钨铜合金基体，采用CrN涂层作为打底层提高涂层结合力，采用不同转动方式制备具有不同调制结构AlCrON涂层作为耐腐蚀功能层。所述AlCrON涂层为自组织纳米多层结构，在制备过程中自发形成富氮层、富氧层交替的纳米多层，在基体上形成致密的涂层结构，显著提高钨铜合金的耐腐蚀性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112877667B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202110031442.2
申请日：2021-01-11
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明公开一种真空镀膜中样品翻转装置，包括旋转轴、固定架、转盘、翻转栅条、被动齿轮、主动齿轮和固定转动部，所述旋转轴通过所述固定架与所述转盘固定连接，所述旋转轴的轴线穿过所述转盘中心，所述旋转轴带动所述转盘绕自身轴线旋转，所述翻转栅条设置在所述转盘上，且所述翻转栅条可绕自身轴线转动，一所述翻转栅条的一端固定设置有所述主动齿轮，其余所述翻转栅条的一端固定设置有所述固定齿轮，所述固定转动部可与所述主动齿轮传动连接，所述主动齿轮和相邻的所述固定齿轮啮合连接，相邻所述固定齿轮之间啮合连接；本发明的有益效果是样品在翻转时不需要额外的真空室空间，也不会对有效镀膜面积造成浪费。
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公开(公告)号：CN113201719A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110425912.3
申请日：2021-04-20
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及涂层技术领域，具体涉及一种利用调制高功率脉冲磁控溅射制得的AlCrBN硬质涂层及其制备方法，抽真空、基体除气、基体清洗和在基体上溅射沉积AlCrBN硬质涂层，其特点在于，在基体上溅射AlCrBN硬质涂层的工艺参数如下：调制高功率脉冲电源的放电电压300～600V，频率100～300Hz，峰值电流100～300A，峰值电压400～800V；靶材的成分为：两个AlCr合金圆靶(原子比70/30，纯度99.97％)，两个AlCrB合金圆靶(原子比63/27/10，纯度99.95％)；氮气流量为100～300sccm；基体负偏压：50～200V。与传统电弧离子镀技术相比，该方法制备的AlCrBN涂层具有表面光滑、组织致密、力学性能优异等优点，具有良好应用前景的。
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公开(公告)号：CN118639174A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410845612.4
申请日：2024-06-27
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及钛合金表面防护涂层技术领域，具体涉及一种钛合金表面抗烧蚀氧氮化物复合涂层及其制备方法，采用等离子渗氮技术复合物理气相沉积技术在钛合金表面制备抗烧蚀涂层。其中，底部为钛合金基体，经过高温等离子体渗氮强化基体硬度，同时改善膜基结合力，随后采用电弧离子镀技术沉积CrN/AlCrSiON多层涂层，分别作为过渡层、抗烧蚀功能层。所述AlCrSiON涂层为自组织纳米多层结构，在制备过程中自发形成富氮层、富氧层交替的纳米多层，在基体上形成致密的涂层结构，显著提高钛合金的耐烧蚀性能。
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公开(公告)号：CN115125486A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210893289.9
申请日：2022-07-27
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及硬质涂层制备技术领域，具体涉及一种含有多层结构的高强韧纳米复合涂层及其制备方法，使用高功率脉冲磁控溅射技术在金属基体上制备具有多层结构的纳米复合AlTiSiN涂层，由下至上依次包括沉积在金属基体表面的AlTiN粘结层，多层AlTiN/TiSiN支撑层和TiSiN工作层，支撑层中TiSiN涂层Si含量为3～7％，工作层TiSiN中Si含量为8～15％。采用低负偏压AlTiN粘结层改善涂层结合力，采用多层支撑层降低涂层内应力，提高涂层韧性，同时引入多层界面结构，降低涂层缺陷，提高涂层致密度；通过控制氮气流量和占空比调节工作层TiSiN中Si含量，提高纳米复合涂层的硬度和耐磨性，制备的多层结构纳米复合涂层工艺简单，膜层光滑致密，具有较高的硬度和膜基结合力，良好的抗磨损性能。
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公开(公告)号：CN216550673U
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202123028021.9
申请日：2021-12-03
Applicant: 广东振华科技股份有限公司 , 安徽工业大学
Abstract: 本实用新型公开一种液压元件用多层结构防护涂层，包括由液压元件表面向外依次设置的Cr轰击植入层、Cr粘结层、Cr/CrN多层结构涂层，所述Cr轰击植入层、所述Cr粘结层、所述Cr/CrN多层结构涂层均采用离子源增强磁控溅射技术制备；本实用新型采用离子源增强磁控溅射技术在液压元件表面低温制备多层结构硬质防护涂层，依次得到Cr轰击植入层、Cr粘结层和Cr/CrN多层复合涂层；多层结构防护涂层的硬度达到1500HK，结合力达到HF1级，氯化钠环境条件下自腐蚀电流密度为2.64×10‑7A·cm‑2，并具有良好的耐久性，有效地提高液压元件的使用寿命。
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