公开(公告)号：CN113201719A

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN202110425912.3

申请日：2021-04-20

Applicant: 安徽工业大学

Inventor： 刘源 ,  张子扬 ,  张泽 ,  张浩洋 ,  郑军 ,  赵栋才 ,  王启民

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/54 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明涉及涂层技术领域，具体涉及一种利用调制高功率脉冲磁控溅射制得的AlCrBN硬质涂层及其制备方法，抽真空、基体除气、基体清洗和在基体上溅射沉积AlCrBN硬质涂层，其特点在于，在基体上溅射AlCrBN硬质涂层的工艺参数如下：调制高功率脉冲电源的放电电压300～600V，频率100～300Hz，峰值电流100～300A，峰值电压400～800V；靶材的成分为：两个AlCr合金圆靶(原子比70/30，纯度99.97％)，两个AlCrB合金圆靶(原子比63/27/10，纯度99.95％)；氮气流量为100～300sccm；基体负偏压：50～200V。与传统电弧离子镀技术相比，该方法制备的AlCrBN涂层具有表面光滑、组织致密、力学性能优异等优点，具有良好应用前景的。

公开(公告)号：CN117926232A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202410272342.2

申请日：2024-03-11

Applicant: 安徽工业大学

Inventor： 张军 ,  刘源 ,  郑军 ,  石丹阳 ,  刘兴光 ,  齐睿

IPC: C23C16/54 ,  C23C16/46 ,  C23C16/56 ,  C23C16/50

Abstract: 本发明提供了一种并行周向连续式等离子体镀膜装置，包括机体组件和周向送料结构，所述机体组件包括基座、密封架和加工台；其中，所述密封架安装于所述基座的顶部，所述加工台固定连接于所述基座的内侧壁顶部，所述周向送料结构安装于所述加工台和基座之间；本发明通过利用上下料机构在真空环境下将基材推送至周向送料结构内，然后通过周向送料结构对基材限位，并带动基材周向运动，然后利用镀膜固化机构对基材表面进行镀膜，并利用加热的方式对镀层进行固化处理，然后通过推送机构配合翻转机构对基材进行顶升翻转，然后再利用镀膜固化机构进行镀膜和固化，从而保证了镀膜效果，且可以对基材进行双面镀膜处理，提高了镀膜装置的适用范围。