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公开(公告)号：CN117915535A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410169803.3
申请日：2024-02-06
Applicant: 安徽工业大学
IPC: H05H1/24
Abstract: 本申请公开了一种提高柔性有机薄膜辉光等离子体预处理均匀性和重复性的方法及装置，包括腔室和射频电源，所述腔室的内部设置有平行板电极结构，包括第一极板和第二极板，所述第一极板的材质为不锈钢，所述第一极板处设置有石英玻璃；所述第二极板的材质为铝，所述第二极板的表面具有Al2O3薄膜层，所述第二极板处设置有陶瓷板；所述腔室连接有供气单元和抽真空单元。本发明采用DBD型平行板电极结构，利用介质阻挡放电产生辉光等离子体。通过优化电极结构、极板距离、处理工艺等措施，显著提高了柔性有机薄膜辉光等离子体预处理的均匀性和重复性，且预处理后薄膜亲水性得到明显改善。
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公开(公告)号：CN113463039B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202110744587.7
申请日：2021-07-01
Applicant: 安徽工业大学
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明公开了一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，属于真空镀膜技术领域，包括电弧阴极、聚焦线圈、安装法兰、偏转室、真空室、偏转挤压组件；所述电弧阴极设置在所述安装法兰上，所述安装法兰与所述偏转室的一端连接，所述偏转室的另一端与所述真空室连通，所述偏转挤压组件设置在所述偏转室与所述真空室的连接处。本发明采用磁挤压的方式，能完成从电源阴极至真空室的等离子体的偏转，完成大颗粒的过滤，使传统磁过滤等离子体非常集中的特点会有所改善，有利于大面积和均匀沉积；并且在完成膜层沉积时，工件转架具有很大的自由设计空间，不被磁控过滤弯管的位置所限制，值得被推广使用。
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公开(公告)号：CN113463039A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110744587.7
申请日：2021-07-01
Applicant: 安徽工业大学
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明公开了一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，属于真空镀膜技术领域，包括电弧阴极、聚焦线圈、安装法兰、偏转室、真空室、偏转挤压组件；所述电弧阴极设置在所述安装法兰上，所述安装法兰与所述偏转室的一端连接，所述偏转室的另一端与所述真空室连通，所述偏转挤压组件设置在所述偏转室与所述真空室的连接处。本发明采用磁挤压的方式，能完成从电源阴极至真空室的等离子体的偏转，完成大颗粒的过滤，使传统磁过滤等离子体非常集中的特点会有所改善，有利于大面积和均匀沉积；并且在完成膜层沉积时，工件转架具有很大的自由设计空间，不被磁控过滤弯管的位置所限制，值得被推广使用。
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公开(公告)号：CN115233158B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202210719169.7
申请日：2022-06-23
Applicant: 安徽工业大学
IPC: C23C14/16 , C23C14/02 , C23C14/06 , C23C14/54 , C23C14/35 , C23C14/50 , C09D5/08 , C09D183/06 , C09D163/00 , C09D7/48 , C09D7/61
Abstract: 本发明属于内燃机零件表面处理技术领域，更具体地，涉及一种内燃机气门杆件表层用复合涂层及其制备方法，气门杆基体的表面由内到外依次包括Ti金属结合层、TiAlN中间支撑层、TiAl‑DLC梯度工作层及耐腐涂层；所述TiAl‑DLC梯度工作层按照成分梯度设计由下至上TiAl元素含量依次减少，使涂层结构从纳米复合过渡到无定形结构；本发明所制备的复合涂层不仅能有效降低其与气门导管之间的摩擦，提高了杆件表面耐磨性；而且复合涂层本身还具有良好的耐蚀性及强抗氧化性，能有效提高气门的耐蚀性及耐高温特性，从而显著提升气门零件的使用寿命。
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公开(公告)号：CN116949389A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310963722.6
申请日：2023-07-31
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及复合涂层制备技术领域，具体涉及一种基于渗氮层基体表面相组成调控高效沉积制备非晶碳膜的方法及其应用，本发明在等离子氮化系统中，利用高温等离子体渗氮，后接低温等离子体镀碳膜技术，通过精准调控基体渗氮层表面相组成及其相对含量诱导后续非晶碳膜的高效沉积，该方法可以提高碳膜的生长效率以及膜基结合力，获得性能优异的减摩耐磨复合涂层从而改善工件的摩擦磨损性能，形成一种在等离子体氮化系统中高温等离子体渗氮后接低温等离子体镀碳膜一步法原位高效制备渗氮层/非晶碳膜复合涂层的低成本复合技术，并将其应用在机械和结构零部件等关键构件领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115216725A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210868348.7
申请日：2022-07-22
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种蜂窝结构复合材料镀膜前封边及逐级抽气方法，其主要步骤包括：复合材料边缘清理，侧面胶带封边，侧面开出气孔，按照镀膜要求对材料的表面进行处理，逐级递减式抽气和膜层镀制，本发明解决了物理气相沉积过程中蜂窝复合材料边缘处的尖端放电和抽气过程中蒙皮材料的脱落，提高了复合材料表面镀膜过程工艺的稳定性。
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公开(公告)号：CN115029662A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202210719986.2
申请日：2022-06-23
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明属于表面工程技术领域，特别涉及一种高温耐磨自润滑复合涂层及其制备方法，其包括基体膜层及喷涂在其表面的耐磨涂层，基体膜层由下至上分别为Ti打底层、Ti2AlN过渡层及通过双靶磁控溅射依次交替溅射沉积的TiB2/Ti2AlN功能层；其中，Ti打底层厚度为200nm，Ti2AlN过渡层厚度为500～1000nm，TiB2/Ti2AlN功能层中的单层TiB2厚度为30～50nm，Ti2AlN单层厚度为20～40nm，基体膜层总厚度为2～5μm；本发明中所制备的纳米多层涂层不仅具有高温热稳定性同时兼具高温自润滑性能，解决了现行PVD硬质涂层刀具高速切削航空钛合金材料易粘结和易磨损问题，具有更广阔的市场前景，更适宜推广。
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公开(公告)号：CN118563257A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410654254.9
申请日：2024-05-24
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及表面工程处理领域，具体涉及一种纳米Cu增强碳基固体润滑薄膜转移膜强度的润滑层及其构筑方法，本方法通过磁控溅射技术在碳基固体润滑薄膜表面沉积一层Cu膜，从而增强碳基固体润滑薄膜在摩擦过程中产生的转移膜强度；其中，转移膜强度的提高主要是通过“物理钉扎”和“化学键合”两种强化效应得到的双重强化，进一步极大优化了碳基润滑薄膜的摩擦学性能，显著降低碳基润滑薄膜的摩擦系数，为该类薄膜的设计和制造提供了一种有价值的方向，适用于各种需要稳定可靠固体润滑的各类应用工况，应用场景丰富。
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公开(公告)号：CN115029662B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202210719986.2
申请日：2022-06-23
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明属于表面工程技术领域，特别涉及一种高温耐磨自润滑复合涂层及其制备方法，其包括基体膜层及喷涂在其表面的耐磨涂层，基体膜层由下至上分别为Ti打底层、Ti2AlN过渡层及通过双靶磁控溅射依次交替溅射沉积的TiB2/Ti2AlN功能层；其中，Ti打底层厚度为200nm，Ti2AlN过渡层厚度为500～1000nm，TiB2/Ti2AlN功能层中的单层TiB2厚度为30～50nm，Ti2AlN单层厚度为20～40nm，基体膜层总厚度为2～5μm；本发明中所制备的纳米多层涂层不仅具有高温热稳定性同时兼具高温自润滑性能，解决了现行PVD硬质涂层刀具高速切削航空钛合金材料易粘结和易磨损问题，具有更广阔的市场前景，更适宜推广。
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公开(公告)号：CN112877667B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202110031442.2
申请日：2021-01-11
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明公开一种真空镀膜中样品翻转装置，包括旋转轴、固定架、转盘、翻转栅条、被动齿轮、主动齿轮和固定转动部，所述旋转轴通过所述固定架与所述转盘固定连接，所述旋转轴的轴线穿过所述转盘中心，所述旋转轴带动所述转盘绕自身轴线旋转，所述翻转栅条设置在所述转盘上，且所述翻转栅条可绕自身轴线转动，一所述翻转栅条的一端固定设置有所述主动齿轮，其余所述翻转栅条的一端固定设置有所述固定齿轮，所述固定转动部可与所述主动齿轮传动连接，所述主动齿轮和相邻的所述固定齿轮啮合连接，相邻所述固定齿轮之间啮合连接；本发明的有益效果是样品在翻转时不需要额外的真空室空间，也不会对有效镀膜面积造成浪费。
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