一种离子刻蚀工艺控制PVD沉积涂层缺陷的方法

    公开(公告)号:CN118835196A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202410879839.0

    申请日:2024-07-02

    Abstract: 本发明涉及PVD涂层生产工艺技术领域,具体涉及一种离子刻蚀工艺控制PVD沉积涂层缺陷的方法,该方法采用柱弧(Ti靶材),在辅助阳极的作用下对试样进行离子刻蚀,惰性气体(氩气)作为反应气体,产生的等离子体达到离子刻蚀的作用,减少涂层沉积缺陷。使用表征设备对离子刻蚀前后的微观组织进行分析,并对不同涂层在3.5wt.%NaCl溶液条件下的腐蚀行为进行深入的分析。通过引入离子刻蚀的方法有效降低了缺陷的数量,同时改善涂层的电化学性能。

    一种抗冲击疲劳、高速干式切削加工钛合金用的含B纳米多层涂层、制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN117721415A

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN202311727331.0

    申请日:2023-12-15

    Abstract: 本发明涉及高速干式切削用涂层技术领域,具体涉及一种抗冲击疲劳、高速干式切削加工钛合金用的含B纳米多层涂层、制备方法及其应用,所述涂层为AlTiN纳米子层与AlTiBN纳米子层交替沉积而成的3~10层的多层结构,所述涂层成分包括Al 32.3at%,Ti17.8at%,B5.0at%和N 44.9at%。含B的AlTiN/AlTiBN纳米多层复合涂层中形成非晶BN包裹(Al,Ti)N纳米晶的复合结构,细化晶粒,提高涂层硬度和韧性;同时,AlTiN子层和AlTiBN子层界面可抑制裂纹扩展,提高其抗冲击疲劳性能;最后,纳米复合结构的AlTiBN子层和柱状结构的AlTiN子层以共格/半共格形式存在,提高其高温硬度;B元素在高速干式切削过程中可以优先形成润滑的摩擦氧化膜,减少钛合金切屑在涂层刀具前刀面和后刀面的黏结和磨损。

    一种钛合金表面抗烧蚀氧氮化物复合涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN118639174A

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202410845612.4

    申请日:2024-06-27

    Abstract: 本发明涉及钛合金表面防护涂层技术领域,具体涉及一种钛合金表面抗烧蚀氧氮化物复合涂层及其制备方法,采用等离子渗氮技术复合物理气相沉积技术在钛合金表面制备抗烧蚀涂层。其中,底部为钛合金基体,经过高温等离子体渗氮强化基体硬度,同时改善膜基结合力,随后采用电弧离子镀技术沉积CrN/AlCrSiON多层涂层,分别作为过渡层、抗烧蚀功能层。所述AlCrSiON涂层为自组织纳米多层结构,在制备过程中自发形成富氮层、富氧层交替的纳米多层,在基体上形成致密的涂层结构,显著提高钛合金的耐烧蚀性能。

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