公开(公告)号：CN117626179A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202311541172.5

申请日：2023-11-15

Applicant: 安徽工业大学

Inventor： 丁继成 ,  刘帅 ,  蔡辉 ,  庄文建 ,  郑军

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/16 ,  C23C14/35 ,  C23C14/02 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明涉及固体润滑薄膜材料技术领域，具体为一种耐磨二硫化钼基复合薄膜及其制备方法；所述复合薄膜从基体表面向外依次包括Ti金属离子植入层、Ti金属过渡层和MoS2‑Ti功能层；MoS2‑Ti层中Ti含量为9～15at％，所述MoS2‑Ti层的厚度为2～3μm；Ti过渡层的厚度为200～300nm；Ti金属离子植入层厚度为10～20nm；其制备方法是利用复合磁控溅射技术在316L不锈钢基体表面沉积二硫化钼基固体润滑薄膜，通过控制功能层MoS2‑Ti中Ti的含量，使得Ti以固溶体形式存在，在不破坏MoS2薄膜层状结构及润滑属性的前提下，大大降低MoS2对环境的敏感性及摩擦系数，显著提高MoS2复合薄膜耐磨寿命，扩宽其在微电子表面防护和空间飞行器运动零部件领域中的应用。