形成背接触太阳能电池触点的方法

    公开(公告)号:CN105355678A

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201510824544.4

    申请日:2011-10-03

    申请人: 太阳能公司

    发明人: 简·曼宁

    IPC分类号: H01L31/0224 H01L31/068

    摘要: 本发明描述了形成背接触太阳能电池触点的方法。在一个实施例中,方法包括在基板上形成薄介电层,在所述薄介电层上形成多晶硅层,在所述多晶硅层上形成并图案化固态p型掺杂剂源,在所述多晶硅层的暴露区域上以及多个固态p型掺杂剂源区域上形成n型掺杂剂源层,以及加热所述基板以在多个p型掺杂的多晶硅区域中提供多个n型掺杂的多晶硅区域。

    形成背接触太阳能电池触点的方法

    公开(公告)号:CN105355678B

    公开(公告)日:2020-12-04

    申请号:CN201510824544.4

    申请日:2011-10-03

    申请人: 太阳能公司

    发明人: 简·曼宁

    IPC分类号: H01L31/0224 H01L31/068

    摘要: 本发明描述了形成背接触太阳能电池触点的方法。在一个实施例中,方法包括在基板上形成薄介电层,在所述薄介电层上形成多晶硅层,在所述多晶硅层上形成并图案化固态p型掺杂剂源,在所述多晶硅层的暴露区域上以及多个固态p型掺杂剂源区域上形成n型掺杂剂源层,以及加热所述基板以在多个p型掺杂的多晶硅区域中提供多个n型掺杂的多晶硅区域。