形成背接触太阳能电池触点的方法
摘要:
本发明描述了形成背接触太阳能电池触点的方法。在一个实施例中,方法包括在基板上形成薄介电层,在所述薄介电层上形成多晶硅层,在所述多晶硅层上形成并图案化固态p型掺杂剂源,在所述多晶硅层的暴露区域上以及多个固态p型掺杂剂源区域上形成n型掺杂剂源层,以及加热所述基板以在多个p型掺杂的多晶硅区域中提供多个n型掺杂的多晶硅区域。
公开/授权文献
0/0