具有区分开的P型和N型区架构的太阳能电池的金属化

    公开(公告)号:CN109417101B

    公开(公告)日:2022-05-03

    申请号:CN201780033222.5

    申请日:2017-03-31

    申请人: 太阳能公司

    摘要: 本发明描述了制造具有区分开的P型和N型区架构的太阳能电池发射极区的方法以及所得的太阳能电池。在一个实例中,背接触太阳能电池可以包括具有光接收表面和背表面的基板。第一导电类型的第一多晶硅发射极区设置在第一薄介电层上,该第一薄介电层设置在所述基板的背表面上。第二不同导电类型的第二多晶硅发射极区设置在第二薄介电层上,第二薄介电层设置在基板的背表面上。第三薄介电层设置在第一多晶硅发射极区的暴露的外部部分上,并且直接侧向设置在第一多晶硅发射极区和第二多晶硅发射极区之间。第一导电触点结构设置在第一多晶硅发射极区上。第二导电触点结构设置在第二多晶硅发射极区上。本发明还描述了金属化方法,其包括用于形成第一导电触点结构和第二导电触点结构的蚀刻技术。

    太阳能电池的金属化
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106170870A

    公开(公告)日:2016-11-30

    申请号:CN201580006163.3

    申请日:2015-03-24

    申请人: 太阳能公司

    IPC分类号: H01L31/02 H01L31/0256

    摘要: 本文描述了太阳能电池的金属化方法以及所得的太阳能电池。在一个例子中,制造太阳能电池的方法涉及在基板中或基板上方形成多个交替的N型区和P型区。该方法还涉及在多个交替的N型区和P型区上形成金属晶种层。该方法还涉及在与交替的N型区和P型区之间的位置对准的区域处对金属晶种层的至少一部分进行图案化。所述方法还涉及在所述图案化之后,在所述交替的N型区和P型区之间的所述位置处进行蚀刻以形成沟槽,从而将所述交替的N型区和P型区彼此隔离。

    具有区分开的P型和N型区架构的太阳能电池的金属化

    公开(公告)号:CN109417101A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201780033222.5

    申请日:2017-03-31

    申请人: 太阳能公司

    摘要: 本发明描述了制造具有区分开的P型和N型区架构的太阳能电池发射极区的方法以及所得的太阳能电池。在一个实例中,背接触太阳能电池可以包括具有光接收表面和背表面的基板。第一导电类型的第一多晶硅发射极区设置在第一薄介电层上,该第一薄介电层设置在所述基板的背表面上。第二不同导电类型的第二多晶硅发射极区设置在第二薄介电层上,第二薄介电层设置在基板的背表面上。第三薄介电层设置在第一多晶硅发射极区的暴露的外部部分上,并且直接侧向设置在第一多晶硅发射极区和第二多晶硅发射极区之间。第一导电触点结构设置在第一多晶硅发射极区上。第二导电触点结构设置在第二多晶硅发射极区上。本发明还描述了金属化方法,其包括用于形成第一导电触点结构和第二导电触点结构的蚀刻技术。

    太阳能电池的金属化
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106170870B

    公开(公告)日:2019-06-25

    申请号:CN201580006163.3

    申请日:2015-03-24

    申请人: 太阳能公司

    IPC分类号: H01L31/02 H01L31/0256

    摘要: 本文描述了太阳能电池的金属化方法以及所得的太阳能电池。在一个例子中,制造太阳能电池的方法涉及在基板中或基板上方形成多个交替的N型区和P型区。该方法还涉及在多个交替的N型区和P型区上形成金属晶种层。该方法还涉及在与交替的N型区和P型区之间的位置对准的区域处对金属晶种层的至少一部分进行图案化。所述方法还涉及在所述图案化之后,在所述交替的N型区和P型区之间的所述位置处进行蚀刻以形成沟槽,从而将所述交替的N型区和P型区彼此隔离。

    用于太阳能电池制造的蚀刻工艺

    公开(公告)号:CN107078183B

    公开(公告)日:2019-03-08

    申请号:CN201580046434.8

    申请日:2015-09-23

    申请人: 太阳能公司

    IPC分类号: H01L31/18

    摘要: 本发明提供了一种制造太阳能电池的方法,所述方法可包括在硅基板上方形成第一掺杂剂区,以及在所述第一掺杂剂区上方形成氧化物区。在一个实施例中,所述氧化物区可保护所述第一掺杂剂区免于经历第一蚀刻工艺。在一个实施例中,可在所述硅基板上方形成第二掺杂剂区,其中可形成掩模以保护所述第二掺杂剂区的第一部分免于经历所述第一蚀刻工艺。在一个实施例中,可执行所述第一蚀刻工艺以暴露所述硅基板和/或硅区的多个部分。可执行第二蚀刻工艺来形成沟槽区,以将所述太阳能电池的第一掺杂区和第二掺杂区隔离开。可执行第三蚀刻工艺以从所述太阳能电池移除污染物,以及移除所述氧化物区的任何剩余部分。