一种三点驱动的MEMS万向旋转微镜及其制作方法

    公开(公告)号:CN119414592A

    公开(公告)日:2025-02-11

    申请号:CN202411719241.1

    申请日:2024-11-28

    Abstract: 本发明公开了一种基于三点电场驱动的MEMS万向旋转微镜及其制作方法。该微镜主要由微镜片、三点电场驱动系统、万向球铰结构和基座组成。微镜片通过万向球铰连接于基座,具备高精度的旋转能力。三点电场驱动系统由三个独立的电场驱动单元构成,分别布置在微镜片下方的不同位置,以实现对微镜片的多轴控制和任意方向的精确旋转。驱动单元通过电场分布力与微镜片相互作用,从而实现微镜的万向旋转。该设计具有结构简单、控制精确、响应速度快等优点。制作方法包括微加工技术步骤,确保微镜片的光学平整度和驱动系统的可靠性。该微镜广泛应用于光学成像、激光扫描和光通信等领域。

    一种可实时调整火箭发动机摇摆方向的真空推力矢量测量系统

    公开(公告)号:CN106014691B

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201610607947.8

    申请日:2016-07-29

    Abstract: 本发明公开了一种可实时调整火箭发动机摇摆方向的真空推力矢量测量系统,包括:火箭发动机安装平台、单向力测量及运动控制组件(共六套)、底座、测量及控制电缆、计算机测控系统。单向力测量及运动控制组件由下铰盒、下球铰、伺服电机、缸体、丝杠顶杆机构、测力传感器、上球铰和上铰盒组成。丝杠顶杆机构由丝杠和顶杆组成。通过计算机测控系统控制伺服电机旋转,丝杠将伺服电机的旋转运动转化为顶杆的直线运动,进而带动火箭发动机安装平台的运动。计算机测控系统将六个测力传感器测得的单向力合成得到火箭发动机的推力矢量。伺服电机为真空电机,测力传感器为开放式结构,可在真空中进行摇摆控制和推力矢量测量。

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