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公开(公告)号：CN104823264A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062492.0
申请日：2013-11-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F20/18 , B29K33/04
CPC classification number: C08F222/20 , B29C59/005 , B29C59/02 , B29C59/022 , B29C59/16 , B29K2033/12 , B29L2011/00 , B29L2031/3406 , C08F220/18 , C08F222/10 , C08F222/1006 , C08F2222/1013 , C08L33/08 , C08L2312/00 , C09D133/08 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/029 , C08F2220/1891 , C08F2220/1875 , C08F2220/301
Abstract: 一种在冷凝性气体气氛下进行压印的压印用固化性组合物，其中最大冷凝性气体溶解度(气体/(固化性组合物+气体))(g/g)为0.1以上且0.4以下，且压印用固化性组合物在23℃下的粘度为40cP以下。最大冷凝性气体溶解度通过以下来测定：将3g固化性组合物装入9ml棕色瓶，在23℃、1atm下测量在以0.1L/min的流量使冷凝性气体鼓泡15分钟之前和之后固化性组合物的重量，并且将由于鼓泡所引起的增加的重量除以固化性组合物和冷凝性气体的总重量。
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公开(公告)号：CN105580109A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201480053312.7
申请日：2014-09-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: H05K3/245 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/038 , H01L21/0274
Abstract: 提供一种精确且简便地检测模具与基板的对准标记的方法，并相应地提供高通量的图案化膜的形成方法，以及还提供光学组件的制造方法、电路板的制造方法和电子组件的制造方法。图案化膜通过光-纳米压印来形成。在所述方法中，气体满足下述不等式(1)：|nM-nR|≤|nM-nR′| (1)在不等式(1)中，nR表示在光的波长下不含气体的组合物的折射率，nR′表示在所述光的波长下含有气体的光固化性组合物的折射率，和nM表示在所述光的波长下模具的折射率。
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公开(公告)号：CN104662049A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201380048860.6
申请日：2013-09-11
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/48 , H01L21/768 , H01L23/532 , H05K3/10
Abstract: 提供一种具有高填充性并能够在通过利用光压印法生产膜时降低脱模力的光固化性组合物，和使用该光固化性组合物的膜的制造方法。光固化性组合物为包括至少下列组分(A)至组分(C)的光固化性组合物：(A)可聚合化合物；(B)光聚合引发剂；和(C)由下列通式(1)表示的表面活性剂：Rf1-Rc-X (1)。
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公开(公告)号：CN103930448B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201280055066.X
申请日：2012-10-24
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/50 , B29C59/02 , C08F2/44 , H01L21/027
CPC classification number: C08K5/06 , B05D3/067 , B05D3/12 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08F2/24 , C08F2/48 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/038 , H05K3/0014 , H05K3/0017 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供需要小的脱模力的光固化性组合物。本发明还提供需要小的脱模力的UV压印法。该光固化性组合物含有聚合性单体(A)、聚合引发剂(B)和含氟表面活性剂(C)。该光固化性组合物的光固化物具有74度以下的水接触角。
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公开(公告)号：CN106463356A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580024398.5
申请日：2015-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50 , H01L21/3065
CPC classification number: C08F222/1006 , C08F2/50 , C08F220/10 , C08F222/10 , C08F2222/1026 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/031 , H01L21/0332 , H01L21/0337 , H01L21/266 , H01L21/3065 , H01L21/3081 , H01L21/3086 , H01L21/4846 , H05K3/0017 , H05K3/061 , H05K2203/092
Abstract: 提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110275394B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN201910396457.1
申请日：2015-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/029 , H01L21/033 , H01L21/308
Abstract: 本发明涉及固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法。提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN104662049B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201380048860.6
申请日：2013-09-11
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/48 , H01L21/768 , H01L23/532 , H05K3/10
Abstract: 提供一种具有高填充性并能够在通过利用光压印法生产膜时降低脱模力的光固化性组合物，和使用该光固化性组合物的膜的制造方法。光固化性组合物为包括至少下列组分(A)至组分(C)的光固化性组合物：(A)可聚合化合物；(B)光聚合引发剂；和(C)由下列通式(1)表示的表面活性剂：Rf1‑Rc‑X (1)。
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公开(公告)号：CN110275394A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910396457.1
申请日：2015-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/029 , H01L21/033 , H01L21/308
Abstract: 本发明涉及固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法。提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN104823264B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201380062492.0
申请日：2013-11-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F20/18 , B29K33/04
CPC classification number: C08F222/20 , B29C59/005 , B29C59/02 , B29C59/022 , B29C59/16 , B29K2033/12 , B29L2011/00 , B29L2031/3406 , C08F220/18 , C08F222/10 , C08F222/1006 , C08F2222/1013 , C08L33/08 , C08L2312/00 , C09D133/08 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/029 , C08F2220/1891 , C08F2220/1875 , C08F2220/301
Abstract: 一种在冷凝性气体气氛下进行压印的压印用固化性组合物，其中最大冷凝性气体溶解度(气体/(固化性组合物+气体))(g/g)为0.1以上且0.4以下，且压印用固化性组合物在23℃下的粘度为40cP以下。最大冷凝性气体溶解度通过以下来测定：将3g固化性组合物装入9ml棕色瓶，在23℃、1atm下测量在以0.1L/min的流量使冷凝性气体鼓泡15分钟之前和之后固化性组合物的重量，并且将由于鼓泡所引起的增加的重量除以固化性组合物和冷凝性气体的总重量。
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公开(公告)号：CN105493236B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201480047347.X
申请日：2014-08-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
CPC classification number: C08F2/50 , C09D4/00 , G02B1/12 , G03F7/0002 , G03F7/031 , H01L21/31144 , H01L21/31155 , C08F2220/1875 , C08F2220/185 , C08F2222/1013 , C08F2222/102
Abstract: 一种光压印用固化性组合物，其至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并满足式(1)和(2)：0.800≤Er10/Er200(1)，2.55GPa≤Er10(2)，其中，Er10表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于10mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)；和Er200表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于200mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
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