公开(公告)号：CN104039836A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280062769.5

申请日：2012-11-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松藤奈央子 ,  伊藤俊树 ,  川端香奈江

IPC: C08F2/50 ,  H01L21/027 ,  C07C271/12 ,  C07C271/24

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29L2031/3425 ,  C08F2/50 ,  H01L21/266 ,  H01L21/3081 ,  Y10T428/24802

Abstract: 本发明提供具有高聚合速率和高聚合转化率的光固化性组合物。还提供具有高产量的图案化方法。光固化性组合物含有自由基聚合性单体(A)、光聚合引发剂(B)和用作增感剂并且具有下述通式(1)的化合物(C)。X1和X2选自由氢原子、烷基、苯基、萘基、和其中部分或全部氢原子被氟取代的烷基组成的组。X1和X2可相同或不同。R1-R10独立地选自由氢原子、卤素原子、烷基、烃氧基、苯基、萘基和其中部分或全部氢原子被氟取代的烷基组成的组。R1-R10可相同或不同。

公开(公告)号：CN103930448A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201280055066.X

申请日：2012-10-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  三原知惠子 ,  川端香奈江 ,  冲仲元毅

IPC: C08F2/50 ,  B29C59/02 ,  C08F2/44 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08K5/06 ,  B05D3/067 ,  B05D3/12 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08F2/24 ,  C08F2/48 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/038 ,  H05K3/0014 ,  H05K3/0017 ,  Y10T428/24802

Abstract: 本发明提供需要小的脱模力的光固化性组合物。本发明还提供需要小的脱模力的UV压印法。该光固化性组合物含有聚合性单体(A)、聚合引发剂(B)和含氟表面活性剂(C)。该光固化性组合物的光固化物具有74度以下的水接触角。

公开(公告)号：CN103907174B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201280051649.5

申请日：2012-10-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  松藤奈央子 ,  川端香奈江

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: B05D3/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/022 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038

Abstract: 本发明提供膜的制造方法，包括：在基材上涂布光固化性组合物以形成涂布膜，该光固化性组合物含有聚合性单体、光聚合引发剂和通过光刺激而产生气体的感光性气体产生剂；使模具与该涂布膜接触；通过该模具用光照射该涂布膜以使该涂布膜固化并且在该涂布膜中产生气体；和用光照射该涂布膜后使该模具从该涂布膜脱离以在该基材上形成具有预定的图案形状的膜(固化膜)，其中用光对该涂布膜的照射中，该涂布膜中的聚合性单体的聚合反应的反应速率高于该涂布膜中的感光性气体产生剂的气体产生反应的反应速率。

公开(公告)号：CN103930448B

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201280055066.X

申请日：2012-10-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  三原知惠子 ,  川端香奈江 ,  冲仲元毅 ,  川崎阳司

IPC: C08F2/50 ,  B29C59/02 ,  C08F2/44 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08K5/06 ,  B05D3/067 ,  B05D3/12 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08F2/24 ,  C08F2/48 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/038 ,  H05K3/0014 ,  H05K3/0017 ,  Y10T428/24802

Abstract: 本发明提供需要小的脱模力的光固化性组合物。本发明还提供需要小的脱模力的UV压印法。该光固化性组合物含有聚合性单体(A)、聚合引发剂(B)和含氟表面活性剂(C)。该光固化性组合物的光固化物具有74度以下的水接触角。

公开(公告)号：CN104039836B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201280062769.5

申请日：2012-11-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松藤奈央子 ,  伊藤俊树 ,  川端香奈江

IPC: C08F2/50 ,  H01L21/027 ,  C07C271/12 ,  C07C271/24

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29L2031/3425 ,  C08F2/50 ,  H01L21/266 ,  H01L21/3081 ,  Y10T428/24802

Abstract: 本发明提供具有高聚合速率和高聚合转化率的光固化性组合物。还提供具有高产量的图案化方法。光固化性组合物含有自由基聚合性单体(A)、光聚合引发剂(B)和用作增感剂并且具有下述通式(1)的化合物(C)。X1和X2选自由氢原子、烷基、苯基、萘基、和其中部分或全部氢原子被氟取代的烷基组成的组。X1和X2可相同或不同。R1‑R10独立地选自由氢原子、卤素原子、烷基、烃氧基、苯基、萘基和其中部分或全部氢原子被氟取代的烷基组成的组。R1‑R10可相同或不同。

公开(公告)号：CN103907174A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201280051649.5

申请日：2012-10-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  松藤奈央子 ,  川端香奈江

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: B05D3/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/022 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038

Abstract: 本发明提供膜的制造方法，包括：在基材上涂布光固化性组合物以形成涂布膜，该光固化性组合物含有聚合性单体、光聚合引发剂和通过光刺激而产生气体的感光性气体产生剂；使模具与该涂布膜接触；通过该模具用光照射该涂布膜以使该涂布膜固化并且在该涂布膜中产生气体；和用光照射该涂布膜后使该模具从该涂布膜脱离以在该基材上形成具有预定的图案形状的膜(固化膜)，其中用光对该涂布膜的照射中，该涂布膜中的聚合性单体的聚合反应的反应速率高于该涂布膜中的感光性气体产生剂的气体产生反应的反应速率。