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公开(公告)号：CN105340062A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480036784.1
申请日：2014-06-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/44 , C08F2/50
CPC classification number: B29C59/026 , B29C33/62 , B29C59/002 , B29C59/005 , B29K2033/08 , B29K2105/0005 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08F220/18 , C08F222/1006 , C08K2201/00 , C08L33/08 , G03F7/0002 , H01L21/0271 , H01L21/266 , C08F2220/1875 , C08F2222/1013
Abstract: 在冷凝性气体气氛中的压印方法中，将模具与抗蚀剂固化膜分离(脱模)所需的力(脱模力)大。用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物包括组分(A)，其为(甲基)丙烯酸酯单体；组分(B)，其为光聚合引发剂；和组分(C)，其为脱模剂。在5度(摄氏)和1个大气压下组分(C)在冷凝性气体中的饱和溶解度为50重量％以上，冷凝性气体在5度(摄氏)和1个大气压下为液态。
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公开(公告)号：CN104823264A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062492.0
申请日：2013-11-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F20/18 , B29K33/04
CPC classification number: C08F222/20 , B29C59/005 , B29C59/02 , B29C59/022 , B29C59/16 , B29K2033/12 , B29L2011/00 , B29L2031/3406 , C08F220/18 , C08F222/10 , C08F222/1006 , C08F2222/1013 , C08L33/08 , C08L2312/00 , C09D133/08 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/029 , C08F2220/1891 , C08F2220/1875 , C08F2220/301
Abstract: 一种在冷凝性气体气氛下进行压印的压印用固化性组合物，其中最大冷凝性气体溶解度(气体/(固化性组合物+气体))(g/g)为0.1以上且0.4以下，且压印用固化性组合物在23℃下的粘度为40cP以下。最大冷凝性气体溶解度通过以下来测定：将3g固化性组合物装入9ml棕色瓶，在23℃、1atm下测量在以0.1L/min的流量使冷凝性气体鼓泡15分钟之前和之后固化性组合物的重量，并且将由于鼓泡所引起的增加的重量除以固化性组合物和冷凝性气体的总重量。
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公开(公告)号：CN105359254A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201480036290.3
申请日：2014-06-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/002 , B29C59/005 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29K2033/08 , B29K2105/0005
Abstract: 一种压印方法，其包括：将光固化性组合物布置在工件基板上(布置)；在冷凝性气体环境中使所述光固化性组合物和模具彼此接触(接触)；对准所述模具和所述工件基板(对准)；用光照射所述光固化性组合物以获得光固化了的组合物(照射)；以及使所述光固化了的组合物和所述模具在照射后彼此分离(脱模)。在所述对准期间所述光固化性组合物的膜厚度比脱模后的所述光固化了的组合物的膜厚度厚20％或更多。
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公开(公告)号：CN105340061A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480036474.X
申请日：2014-06-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/44 , C08F20/50
CPC classification number: B29C59/005 , B29C59/002 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29C2059/023 , B29K2033/08 , B29K2105/0005 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08L33/08 , G03F7/0002 , C08F2220/1875 , C08F2222/1013
Abstract: 使用冷凝性气体工艺的压印方法具有抗蚀固化膜的表面粗糙的问题。这通过用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物来解决。所述光固化性组合物含有组分(A)(甲基)丙烯酸酯单体、组分(B)光聚合引发剂和组分(C)脱模剂。在5度(摄氏)和1大气压下所述组分(C)在所述冷凝性气体中的饱和溶解度为5重量％以下，所述冷凝性气体在5度(摄氏)和1大气压下为液态。
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公开(公告)号：CN115699254A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202180036724.X
申请日：2021-06-08
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 伊藤俊树 , 清原直树 , 千叶启子 , 布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 , 山下敬司
IPC: H01L21/027
Abstract: 一种基板表面平坦化方法，其依次包括：布置步骤，将液体可固化组合物布置到具有不平度的基板上；等待步骤，进行等待，直到液体可固化组合物的层的表面变得平滑；曝光步骤，施加光以固化液体可固化组合物的层。布置步骤包括：第一布置步骤，布置由至少含有可聚合化合物(a1)的第一液体可固化组合物(A1)制成的层；以及第二布置步骤，将至少含有可聚合化合物(a2)的第二液体可固化组合物(A2)的液滴通过分散地滴下滴液的方式布置到由第一液体可固化组合物(A1)制成的层上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107112209A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580069607.8
申请日：2015-12-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
Abstract: 本发明涉及一种在冷凝性气体氛围中的压印用光固化性组合物。所述组合物至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并且满足要求(1)：ECG值大于或等于2.30GPa，其中ECG表示通过使所述压印用光固化性组合物在包含浓度为90体积％以上的冷凝性气体的氛围中在200mJ/cm2曝光量下曝光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN107112209B
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201580069607.8
申请日：2015-12-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
Abstract: 本发明涉及一种在冷凝性气体氛围中的压印用光固化性组合物。所述组合物至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并且满足要求(1)：ECG值大于或等于2.30GPa，其中ECG表示通过使所述压印用光固化性组合物在包含浓度为90体积％以上的冷凝性气体的氛围中在200mJ/cm2曝光量下曝光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN104823264B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201380062492.0
申请日：2013-11-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F20/18 , B29K33/04
CPC classification number: C08F222/20 , B29C59/005 , B29C59/02 , B29C59/022 , B29C59/16 , B29K2033/12 , B29L2011/00 , B29L2031/3406 , C08F220/18 , C08F222/10 , C08F222/1006 , C08F2222/1013 , C08L33/08 , C08L2312/00 , C09D133/08 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/029 , C08F2220/1891 , C08F2220/1875 , C08F2220/301
Abstract: 一种在冷凝性气体气氛下进行压印的压印用固化性组合物，其中最大冷凝性气体溶解度(气体/(固化性组合物+气体))(g/g)为0.1以上且0.4以下，且压印用固化性组合物在23℃下的粘度为40cP以下。最大冷凝性气体溶解度通过以下来测定：将3g固化性组合物装入9ml棕色瓶，在23℃、1atm下测量在以0.1L/min的流量使冷凝性气体鼓泡15分钟之前和之后固化性组合物的重量，并且将由于鼓泡所引起的增加的重量除以固化性组合物和冷凝性气体的总重量。
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公开(公告)号：CN105340061B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201480036474.X
申请日：2014-06-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/44 , C08F20/50
CPC classification number: B29C59/005 , B29C59/002 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29C2059/023 , B29K2033/08 , B29K2105/0005 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08L33/08 , G03F7/0002 , C08F2220/1875 , C08F2222/1013
Abstract: 使用冷凝性气体工艺的压印方法具有抗蚀固化膜的表面粗糙的问题。这通过用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物来解决。所述光固化性组合物含有组分(A)(甲基)丙烯酸酯单体、组分(B)光聚合引发剂和组分(C)脱模剂。在5度(摄氏)和1大气压下所述组分(C)在所述冷凝性气体中的饱和溶解度为5重量％以下，所述冷凝性气体在5度(摄氏)和1大气压下为液态。
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公开(公告)号：CN105340062B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201480036784.1
申请日：2014-06-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/44 , C08F2/50
CPC classification number: B29C59/026 , B29C33/62 , B29C59/002 , B29C59/005 , B29K2033/08 , B29K2105/0005 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08F220/18 , C08F222/1006 , C08K2201/00 , C08L33/08 , G03F7/0002 , H01L21/0271 , H01L21/266 , C08F2220/1875 , C08F2222/1013
Abstract: 在冷凝性气体气氛中的压印方法中，将模具与抗蚀剂固化膜分离(脱模)所需的力(脱模力)大。用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物包括组分(A)，其为(甲基)丙烯酸酯单体；组分(B)，其为光聚合引发剂；和组分(C)，其为脱模剂。在5度(摄氏)和1个大气压下组分(C)在冷凝性气体中的饱和溶解度为50重量％以上，冷凝性气体在5度(摄氏)和1个大气压下为液态。
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