公开(公告)号：CN110392919B

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN201880016546.2

申请日：2018-03-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 千叶启子 ,  石田晋吾 ,  安藤敏明 ,  伊藤俊树 ,  B·T·斯塔霍维亚克 ,  W·刘

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 提供了图案形成方法，其提供高生产量并可以均匀精度加工的注料区域。图案形成方法，其为光纳米压印技术，依次包括：步骤(1)，将由固化性组合物(A1)形成的层铺设在基板的表面上，该固化性组合物(A1)至少含有充当聚合性化合物的组分(a1)；步骤(2)，将固化性组合物(A2)的液滴离散地逐滴分配至固化性组合物(A1)的层上以铺设液滴，该固化性组合物(A2)至少含有充当聚合性化合物的组分(a2)；步骤(3)，将通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层夹在模具和基板之间；步骤(4)，用光从模具侧照射通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层以一次地使该层固化；和步骤(5)，在固化之后从由固化性组合物形成的层脱模模具，其中通过每注料区域固化性组

公开(公告)号：CN115699254A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202180036724.X

申请日：2021-06-08

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  清原直树 ,  千叶启子 ,  布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 ,  山下敬司

IPC: H01L21/027

Abstract: 一种基板表面平坦化方法，其依次包括：布置步骤，将液体可固化组合物布置到具有不平度的基板上；等待步骤，进行等待，直到液体可固化组合物的层的表面变得平滑；曝光步骤，施加光以固化液体可固化组合物的层。布置步骤包括：第一布置步骤，布置由至少含有可聚合化合物(a1)的第一液体可固化组合物(A1)制成的层；以及第二布置步骤，将至少含有可聚合化合物(a2)的第二液体可固化组合物(A2)的液滴通过分散地滴下滴液的方式布置到由第一液体可固化组合物(A1)制成的层上。

公开(公告)号：CN109075031B

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN201780022065.8

申请日：2017-03-23

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 千叶启子 ,  伊藤俊树 ,  布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 ,  尼亚兹·科斯纳蒂诺夫 ,  刘卫军

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 包括含有聚合性化合物(a1)的固化性组合物(A1)的层形成于基板的表面上，包括含有聚合性化合物(a2)的固化性组合物(A2)的液滴以离散的方式滴落至包括固化性组合物(A1)的层上，将由固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)部分地混合形成的混合层夹持在模具与基板之间，将混合层通过从模具侧用光照射混合层来固化，并且使模具与固化后的混合层脱离，由此在基板上形成固化材料的图案。通过固化性组合物(A1)的除了溶剂之外的组合物的25℃下的粘度设定为40mPa·s以上且小于500mPa·s且通过固化性组合物(A2)的除了溶剂之外的组合物的25℃下的粘度设定为1mPa·s以上且小于40mPa·s，在基板上在多轮区域中以均匀的精度借助上述方法形成了固化材料的图案。

公开(公告)号：CN105340061A

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201480036474.X

申请日：2014-06-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 米泽诗织 ,  伊藤俊树 ,  山下敬司 ,  千叶启子 ,  川崎阳司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/44 ,  C08F20/50

CPC classification number: B29C59/005 ,  B29C59/002 ,  B29C59/022 ,  B29C59/026 ,  B29C2059/023 ,  B29K2033/08 ,  B29K2105/0005 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50 ,  C08L33/08 ,  G03F7/0002 ,  C08F2220/1875 ,  C08F2222/1013

Abstract: 使用冷凝性气体工艺的压印方法具有抗蚀固化膜的表面粗糙的问题。这通过用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物来解决。所述光固化性组合物含有组分(A)(甲基)丙烯酸酯单体、组分(B)光聚合引发剂和组分(C)脱模剂。在5度(摄氏)和1大气压下所述组分(C)在所述冷凝性气体中的饱和溶解度为5重量％以下，所述冷凝性气体在5度(摄氏)和1大气压下为液态。

公开(公告)号：CN109075033A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780022158.0

申请日：2017-03-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  大谷智教 ,  千叶启子 ,  刘卫军 ,  布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 将包含聚合性化合物组分(a1)和溶剂组分(d1)的固化性组合物(A1)的层层叠在基板的表面上。将至少包含聚合性化合物组分(a2)的固化性组合物(A2)的液滴离散地滴落在前述固化性组合物的层上。将所述固化性组合物(A1)和所述固化性组合物(A2)的混合层夹持在所述基板与模具之间。通过用光照射而使所述混合层固化。使所述模具与固化后的所述混合层脱离，并且在所述基板上形成图案。

公开(公告)号：CN109075031A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780022065.8

申请日：2017-03-23

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 千叶启子 ,  伊藤俊树 ,  布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 ,  尼亚兹·科斯纳蒂诺夫 ,  刘卫军

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 包括含有聚合性化合物(a1)的固化性组合物(A1)的层形成于基板的表面上，包括含有聚合性化合物(a2)的固化性组合物(A2)的液滴以离散的方式滴落至包括固化性组合物(A1)的层上，将由固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)部分地混合形成的混合层夹持在模具与基板之间，将混合层通过从模具侧用光照射混合层来固化，并且使模具与固化后的混合层脱离，由此在基板上形成固化材料的图案。通过固化性组合物(A1)的除了溶剂之外的组合物的25℃下的粘度设定为40mPa·s以上且小于500mPa·s且通过固化性组合物(A2)的除了溶剂之外的组合物的25℃下的粘度设定为1mPa·s以上且小于40mPa·s，在基板上在多轮区域中以均匀的精度借助上述方法形成了固化材料的图案。

公开(公告)号：CN105340062A

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201480036784.1

申请日：2014-06-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 本间猛 ,  伊藤俊树 ,  米泽诗织 ,  千叶启子 ,  山下敬司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29C33/62 ,  B29C59/002 ,  B29C59/005 ,  B29K2033/08 ,  B29K2105/0005 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50 ,  C08F220/18 ,  C08F222/1006 ,  C08K2201/00 ,  C08L33/08 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/266 ,  C08F2220/1875 ,  C08F2222/1013

Abstract: 在冷凝性气体气氛中的压印方法中，将模具与抗蚀剂固化膜分离(脱模)所需的力(脱模力)大。用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物包括组分(A)，其为(甲基)丙烯酸酯单体；组分(B)，其为光聚合引发剂；和组分(C)，其为脱模剂。在5度(摄氏)和1个大气压下组分(C)在冷凝性气体中的饱和溶解度为50重量％以上，冷凝性气体在5度(摄氏)和1个大气压下为液态。

公开(公告)号：CN104823264A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201380062492.0

申请日：2013-11-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 千叶启子 ,  伊藤俊树 ,  饭村晶子 ,  川崎阳司 ,  山下敬司 ,  加藤顺

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F20/18 ,  B29K33/04

CPC classification number: C08F222/20 ,  B29C59/005 ,  B29C59/02 ,  B29C59/022 ,  B29C59/16 ,  B29K2033/12 ,  B29L2011/00 ,  B29L2031/3406 ,  C08F220/18 ,  C08F222/10 ,  C08F222/1006 ,  C08F2222/1013 ,  C08L33/08 ,  C08L2312/00 ,  C09D133/08 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/027 ,  G03F7/028 ,  G03F7/029 ,  C08F2220/1891 ,  C08F2220/1875 ,  C08F2220/301

Abstract: 一种在冷凝性气体气氛下进行压印的压印用固化性组合物，其中最大冷凝性气体溶解度(气体/(固化性组合物+气体))(g/g)为0.1以上且0.4以下，且压印用固化性组合物在23℃下的粘度为40cP以下。最大冷凝性气体溶解度通过以下来测定：将3g固化性组合物装入9ml棕色瓶，在23℃、1atm下测量在以0.1L/min的流量使冷凝性气体鼓泡15分钟之前和之后固化性组合物的重量，并且将由于鼓泡所引起的增加的重量除以固化性组合物和冷凝性气体的总重量。

公开(公告)号：CN109075033B

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN201780022158.0

申请日：2017-03-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  大谷智教 ,  千叶启子 ,  刘卫军 ,  布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 将包含聚合性化合物组分(a1)和溶剂组分(d1)的固化性组合物(A1)的层层叠在基板的表面上。将至少包含聚合性化合物组分(a2)的固化性组合物(A2)的液滴离散地滴落在前述固化性组合物的层上。将所述固化性组合物(A1)和所述固化性组合物(A2)的混合层夹持在所述基板与模具之间。通过用光照射而使所述混合层固化。使所述模具与固化后的所述混合层脱离，并且在所述基板上形成图案。

公开(公告)号：CN110392919A

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201880016546.2

申请日：2018-03-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 千叶启子 ,  石田晋吾 ,  安藤敏明 ,  伊藤俊树 ,  B·T·斯塔霍维亚克 ,  W·刘

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 提供了图案形成方法，其提供高生产量并可以均匀精度加工的注料区域。图案形成方法，其为光纳米压印技术，依次包括：步骤(1)，将由固化性组合物(A1)形成的层铺设在基板的表面上，该固化性组合物(A1)至少含有充当聚合性化合物的组分(a1)；步骤(2)，将固化性组合物(A2)的液滴离散地逐滴分配至固化性组合物(A1)的层上以铺设液滴，该固化性组合物(A2)至少含有充当聚合性化合物的组分(a2)；步骤(3)，将通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层夹在模具和基板之间；步骤(4)，用光从模具侧照射通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层以一次地使该层固化；和步骤(5)，在固化之后从由固化性组合物形成的层脱模模具，其中通过每注料区域固化性组合物(A2)的体积(Vr)除以固化性组合物(A1)的体积(Vc)获得的值Vr/Vc为4或更大且15或更小。