Invention Publication
- Patent Title: 平坦化方法和光可固化组合物
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Application No.: CN202180036724.XApplication Date: 2021-06-08
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Publication No.: CN115699254APublication Date: 2023-02-03
- Inventor: 伊藤俊树 , 清原直树 , 千叶启子 , 布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 , 山下敬司
- Applicant: 佳能株式会社
- Applicant Address: 日本东京都大田区下丸子3-30-2
- Assignee: 佳能株式会社
- Current Assignee: 佳能株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都大田区下丸子3-30-2
- Agency: 北京怡丰知识产权代理有限公司
- Agent 迟军
- Priority: 63/041,191 20200619 US 17/320,906 20210514 US
- International Application: PCT/JP2021/021718 2021.06.08
- International Announcement: WO2021/256327 EN 2021.12.23
- Date entered country: 2022-11-21
- Main IPC: H01L21/027
- IPC: H01L21/027

Abstract:
一种基板表面平坦化方法,其依次包括:布置步骤,将液体可固化组合物布置到具有不平度的基板上;等待步骤,进行等待,直到液体可固化组合物的层的表面变得平滑;曝光步骤,施加光以固化液体可固化组合物的层。布置步骤包括:第一布置步骤,布置由至少含有可聚合化合物(a1)的第一液体可固化组合物(A1)制成的层;以及第二布置步骤,将至少含有可聚合化合物(a2)的第二液体可固化组合物(A2)的液滴通过分散地滴下滴液的方式布置到由第一液体可固化组合物(A1)制成的层上。
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