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公开(公告)号：CN107251192B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201680011970.9
申请日：2016-02-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 为了提供用于在反转工艺中形成期望的图案的图案化方法。图案化方法包括反转工艺。光固化性组合物至少包含聚合性化合物(A)组分和光聚合引发剂(B)组分。所述(A)组分的摩尔分数加权平均分子量为200以上且1000以下。所述(A)组分的大西参数(OP)为3.80以上。所述(A)组分的大西参数(OP)为N/(NC‑NO)的摩尔分数加权平均值，其中N表示分子中的原子总数，NC表示该分子中的碳原子数，并且NO表示该分子中的氧原子数。
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公开(公告)号：CN105340062A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480036784.1
申请日：2014-06-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/44 , C08F2/50
CPC classification number: B29C59/026 , B29C33/62 , B29C59/002 , B29C59/005 , B29K2033/08 , B29K2105/0005 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08F220/18 , C08F222/1006 , C08K2201/00 , C08L33/08 , G03F7/0002 , H01L21/0271 , H01L21/266 , C08F2220/1875 , C08F2222/1013
Abstract: 在冷凝性气体气氛中的压印方法中，将模具与抗蚀剂固化膜分离(脱模)所需的力(脱模力)大。用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物包括组分(A)，其为(甲基)丙烯酸酯单体；组分(B)，其为光聚合引发剂；和组分(C)，其为脱模剂。在5度(摄氏)和1个大气压下组分(C)在冷凝性气体中的饱和溶解度为50重量％以上，冷凝性气体在5度(摄氏)和1个大气压下为液态。
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公开(公告)号：CN102343712A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201110199734.3
申请日：2011-07-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/01 , B41J29/393
CPC classification number: B41J2/2107 , B41J2/2052 , B41J2/2056 , B41J2/2132
Abstract: 本发明公开了一种喷墨打印装置和喷墨打印方法，由此高渗透性墨和低渗透性墨被用来防止光学浓度降低。喷墨打印装置控制来自打印头的墨喷射，从而使得仅低渗透性墨被喷射到打印介质的邻接于非打印区域的边缘区域，并且此次，高渗透性墨不被使用。另外，喷墨打印装置控制来自打印头的墨喷射，从而使得高渗透性墨和低渗透性墨两者被用于邻接于边缘区域的非边缘区域并被用于执行打印，低渗透性墨在高渗透性墨之前被喷射到非边缘区域上。
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公开(公告)号：CN109075034B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201780022394.2
申请日：2017-03-31
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 一种固化物图案的制造方法，所述方法包括：第一步骤(配置步骤)，将包含固化性组合物(α1)的层配置于基板上；和第二步骤(施加步骤)，将固化性组合物(α2)的液滴离散地施加在包含固化性组合物(α1′)的层上，所述固化性组合物(α1′)包含除了溶剂组分(D)以外的所述固化性组合物(α1)中的组分；其中所述固化性组合物(α1)的粒径为0.07μm以上的颗粒的个数浓度为小于2021个/mL，并且所述固化性组合物(α1′)具有比所述固化性组合物(α2)大的表面张力。
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公开(公告)号：CN106574007B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN201580041479.6
申请日：2015-07-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F20/20 , C08F2/46 , H01L21/027 , H01L21/3065
Abstract: 一种光固化性组合物，其包括聚合性化合物；和光聚合引发剂，其中所述光固化性组合物包括由以下示出的通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物，其中通式(1)中，Ar表示可具有取代基的单价芳香族基团，R1表示可具有取代基的烷基或氢原子，R2表示可具有取代基的具有(m+n)价的烷基，m为2以上的整数，和n为1以上的整数。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN106574007A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580041479.6
申请日：2015-07-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F20/20 , C08F2/46 , H01L21/027 , H01L21/3065
CPC classification number: C08F220/18 , B05D3/06 , B05D3/12 , C08F2/48 , C08F222/10 , C08F222/1006 , C08F2222/102 , G02B1/04 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/029 , H01L21/0273 , H01L21/0274 , H01L21/4846 , H05K3/06 , H05K3/064
Abstract: 一种光固化性组合物，其包括聚合性化合物；和光聚合引发剂，其中所述光固化性组合物包括由以下示出的通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物，其中通式(1)中，Ar表示可具有取代基的单价芳香族基团，R1表示可具有取代基的烷基或氢原子，R2表示可具有取代基的具有(m+n)价的烷基，m为2以上的整数，和n为1以上的整数。
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公开(公告)号：CN109075034A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780022394.2
申请日：2017-03-31
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 一种固化物图案的制造方法，所述方法包括：第一步骤(配置步骤)，将包含固化性组合物(α1)的层配置于基板上；和第二步骤(施加步骤)，将固化性组合物(α2)的液滴离散地施加在包含固化性组合物(α1′)的层上，所述固化性组合物(α1′)包含除了溶剂组分(D)以外的所述固化性组合物(α1)中的组分；其中所述固化性组合物(α1)的粒径为0.07μm以上的颗粒的个数浓度为小于2021个/mL，并且所述固化性组合物(α1′)具有比所述固化性组合物(α2)大的表面张力。
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公开(公告)号：CN107251193A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201680012435.5
申请日：2016-02-23
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/005 , B29C59/02 , B29D11/00269 , B29D11/00769 , B29K2033/08 , C08L35/02 , C08L2205/02 , C08L2205/03 , G02B1/04 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/16 , H01L21/266 , H01L21/3105 , H01L21/481 , H05K3/0017 , H05K3/0079
Abstract: 提供一种纳米压印液体材料，其中粒径为0.07μm以上的颗粒的粒子数浓度小于310个/mL。
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公开(公告)号：CN107078025A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580045586.6
申请日：2015-08-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , C08F2/44 , C08F2/50
Abstract: 一种光固化性组合物，其含有满足OA＝NA/(NC,A‑NO,A)的聚合性化合物(A)，其中NA、NC,A和NO,A分别表示(A)中的原子总数、碳原子数和氧原子数；和含有至少一种包括光聚合引发剂(B)的化合物(X)的非聚合性组分(E)，比例在相对于(A)和(E)的总重量为10％至50％的范围内。组分(E)具有250以下的重均分子量。化合物(X)满足OX＝NX/(NC,X‑NO,X)。NX、NC,X和NO,X分别表示相应化合物(X)中的原子总数、碳原子数和氧原子数。组合物满足：OA‑OE>1.00且OAE
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