Invention Grant
- Patent Title: 图案形成方法和加工基板、光学部件和石英模具复制品的制造方法以及用于压印预处理的涂覆材料及其与压印抗蚀剂的组合
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Application No.: CN201880016546.2Application Date: 2018-03-02
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Publication No.: CN110392919BPublication Date: 2024-01-16
- Inventor: 千叶启子 , 石田晋吾 , 安藤敏明 , 伊藤俊树 , B·T·斯塔霍维亚克 , W·刘
- Applicant: 佳能株式会社
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: 佳能株式会社
- Current Assignee: 佳能株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 中国贸促会专利商标事务所有限公司
- Agent 刘强
- Priority: 62/468,472 2017.03.08 US
- International Application: PCT/JP2018/008040 2018.03.02
- International Announcement: WO2018/163995 JA 2018.09.13
- Date entered country: 2019-09-06
- Main IPC: H01L21/027
- IPC: H01L21/027 ; B29C59/02
Abstract:
提供了图案形成方法，其提供高生产量并可以均匀精度加工的注料区域。图案形成方法，其为光纳米压印技术，依次包括：步骤(1)，将由固化性组合物(A1)形成的层铺设在基板的表面上，该固化性组合物(A1)至少含有充当聚合性化合物的组分(a1)；步骤(2)，将固化性组合物(A2)的液滴离散地逐滴分配至固化性组合物(A1)的层上以铺设液滴，该固化性组合物(A2)至少含有充当聚合性化合物的组分(a2)；步骤(3)，将通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层夹在模具和基板之间；步骤(4)，用光从模具侧照射通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层以一次地使该层固化；和步骤(5)，在固化之后从由固化性组合物形成的层脱模模具，其中通过每注料区域固化性组
Public/Granted literature
- CN110392919A 图案形成方法和加工基板、光学部件和石英模具复制品的制造方法以及用于压印预处理的涂覆材料及其与压印抗蚀剂的组合 Public/Granted day:2019-10-29
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