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公开(公告)号：CN104246976A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380021750.0
申请日：2013-04-23
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: B29C35/0805 , B29C59/022 , B29C2035/0827 , B29K2025/06 , B29K2025/08 , B29K2105/0002 , B29K2105/0085 , B29K2995/0027 , C08F112/08 , G03F7/0002 , H01L21/0273 , H05K1/181 , H05K3/0082 , H05K3/064
Abstract: 提供一种光固化物的制造方法，通过其可改进转印精度并且可获得小的表面粗糙度。所述方法包括以下步骤：将光固化性组合物配置在基板上；使模具与光固化性组合物接触；用光照射光固化性组合物；以及使模具从光固化性组合物脱模。接触在冷凝性气体气氛中进行，冷凝性气体在接触时的温度条件下和在当光固化性组合物侵入基板与模具之间的间隙或模具上设置的凹部时冷凝性气体受到的压力条件下冷凝，并且光固化性组合物包括相对于冷凝性气体的重量变化率为-1.0％至3.0％的气体溶解抑制剂。
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公开(公告)号：CN108885976A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780022176.9
申请日：2017-03-29
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , C09D133/06 , C09D133/08 , C09D135/02
Abstract: 提供在基板上形成图案的方法，该方法包括：在基板的表面上层叠包含作为聚合性化合物的组分(a1)的固化性组合物(A1)的层；在固化性组合物(A1)的层上离散地滴落至少包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(A2)的液滴；将固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)的混合层夹持在具有图案的模具和基板之间；用光照射混合层以使混合层固化；和使模具与固化后的混合层脱离，其中固化性组合物(A1)中的作为聚合性化合物的组分(a1)和固化性组合物(A2)之间的汉森距离Ra((a1)‑(A2))为6以下。
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公开(公告)号：CN107112209A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580069607.8
申请日：2015-12-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
Abstract: 本发明涉及一种在冷凝性气体氛围中的压印用光固化性组合物。所述组合物至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并且满足要求(1)：ECG值大于或等于2.30GPa，其中ECG表示通过使所述压印用光固化性组合物在包含浓度为90体积％以上的冷凝性气体的氛围中在200mJ/cm2曝光量下曝光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN116728963A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310224701.2
申请日：2023-03-09
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及液体排出装置、液体排出方法、物品的制造方法。需要一种在具备用于调整墨的粘度的加热部的液体排出装置中能够稳定地持续排出的方法。一种液体排出装置，其中，具备沿着墨循环地流动的方向依次连接有第一容器、脱气模块、第一头单元的第一环流路，在所述第一头单元，沿着墨流动的方向依次配置有第二容器和排出头，连接有对贮存于所述第二容器的墨进行加热的加热部，对由所述加热部加热后的墨中的未被所述排出头排出的墨进行冷却，使冷却后的所述墨流入所述脱气模块。
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公开(公告)号：CN108885976B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN201780022176.9
申请日：2017-03-29
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 提供在基板上形成图案的方法，该方法包括：在基板的表面上层叠包含作为聚合性化合物的组分(a1)的固化性组合物(A1)的层；在固化性组合物(A1)的层上离散地滴落至少包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(A2)的液滴；将固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)的混合层夹持在具有图案的模具和基板之间；用光照射混合层以使混合层固化；和使模具与固化后的混合层脱离，其中固化性组合物(A1)中的作为聚合性化合物的组分(a1)和固化性组合物(A2)之间的汉森距离Ra((a1)‑(A2))为6以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104823264A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062492.0
申请日：2013-11-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F20/18 , B29K33/04
CPC classification number: C08F222/20 , B29C59/005 , B29C59/02 , B29C59/022 , B29C59/16 , B29K2033/12 , B29L2011/00 , B29L2031/3406 , C08F220/18 , C08F222/10 , C08F222/1006 , C08F2222/1013 , C08L33/08 , C08L2312/00 , C09D133/08 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/029 , C08F2220/1891 , C08F2220/1875 , C08F2220/301
Abstract: 一种在冷凝性气体气氛下进行压印的压印用固化性组合物，其中最大冷凝性气体溶解度(气体/(固化性组合物+气体))(g/g)为0.1以上且0.4以下，且压印用固化性组合物在23℃下的粘度为40cP以下。最大冷凝性气体溶解度通过以下来测定：将3g固化性组合物装入9ml棕色瓶，在23℃、1atm下测量在以0.1L/min的流量使冷凝性气体鼓泡15分钟之前和之后固化性组合物的重量，并且将由于鼓泡所引起的增加的重量除以固化性组合物和冷凝性气体的总重量。
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公开(公告)号：CN103091977A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210414491.5
申请日：2012-10-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , G01N21/956
CPC classification number: G01N21/956 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G01N21/91 , G03F7/0002
Abstract: 本公开涉及压印装置、压印方法、压印系统和器件制造方法。一种使形成在模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料的压印装置包括：发射单元，被配置为发射用于使发光材料发射光的激发光；检测单元，被配置为检测光；和模具保持单元，被配置为保持包括所述发光材料的模具，其中，在图案被转印到压印材料之后，发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光，并且检测单元检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光。
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公开(公告)号：CN106062010B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201580010744.4
申请日：2015-02-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/48 , C08F20/10 , H01L21/027
Abstract: 在含有冷凝性气体的气态氛围下的压印方法中，光压印用固化性组合物难以固化，图案未完全形成而造成缺陷。本发明涉及一种在含有冷凝性气体的气态氛围下的光压印用固化性组合物。该光压印用固化性组合物至少包含下列组分(A)和组分(B)：(A)聚合性化合物，和(B)光聚合引发剂。组分(B)具有小于1重量％的在5℃和1atm下在液态的冷凝性气体中的饱和溶解度，或具有大于7.6的对冷凝性气体的汉森距离(Ra)。
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公开(公告)号：CN107085352A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201710070872.9
申请日：2017-02-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002
Abstract: 本发明提供压印装置以及物品制造方法。所述压印装置通过在使模具与自由基聚合性压印材料接触的状态下用光照射压印材料使压印材料固化，来形成图案。所述压印装置包括被构造为用光照射压印材料的照射器、以及被构造为控制所述照射器的控制器。令Ic为照射压印材料的光的照度，tc为用光照射压印材料的时间，k为系数，并且PD为经受光的照射的压印材料的目标光聚合度，控制器根据下式来确定照射时间：
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公开(公告)号：CN106062010A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201580010744.4
申请日：2015-02-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/48 , C08F20/10 , H01L21/027
Abstract: 在含有冷凝性气体的气态氛围下的压印方法中，光压印用固化性组合物难以固化，图案未完全形成而造成缺陷。本发明涉及一种在含有冷凝性气体的气态氛围下的光压印用固化性组合物。该光压印用固化性组合物至少包含下列组分(A)和组分(B)：(A)聚合性化合物，和(B)光聚合引发剂。组分(B)具有小于1重量％的在5℃和1atm下在液态的冷凝性气体中的饱和溶解度，或具有大于7.6的对冷凝性气体的汉森距离(Ra)。
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