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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103226284B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201310029991.1
申请日：2013-01-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B29C59/002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7038 , G03F9/7042 , G03F9/7084 , G03F9/7088
Abstract: 本发明提供一种压印装置和制造物品的方法。压印装置在使在模具上形成的图案保持与压印材料接触的同时使压印材料硬化，由此将图案转印到压印材料上。该压印装置包括测量单元，该测量单元并行地执行对准测量和叠置测量，在所述对准测量中，测量要将图案转印到的基板上的压射区域与模具之间的相对位置，以使压射区域与模具对准，在所述叠置测量中，测量已使用模具在基板上的另一压射区域中形成的第一图案与第一图案下方的第二图案之间的相对位置。
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公开(公告)号：CN103226284A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310029991.1
申请日：2013-01-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B29C59/002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/7038 , G03F9/7042 , G03F9/7084 , G03F9/7088
Abstract: 本发明提供一种压印装置和制造物品的方法。压印装置在使在模具上形成的图案保持与压印材料接触的同时使压印材料硬化，由此将图案转印到压印材料上。该压印装置包括测量单元，该测量单元并行地执行对准测量和叠置测量，在所述对准测量中，测量要将图案转印到的基板上的压射区域与模具之间的相对位置，以使压射区域与模具对准，在所述叠置测量中，测量已使用模具在基板上的另一压射区域中形成的第一图案与第一图案下方的第二图案之间的相对位置。
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公开(公告)号：CN104249420A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201410282999.3
申请日：2014-06-23
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F7/20 , G03F7/2002 , G03F7/2012 , G03F7/70825
Abstract: 本发明提供一种模具，包括要通过执行压印处理被转印到涂敷于基板上的树脂的图案，该模具包括：包含第一表面和与第一表面相反的第二表面的第一部分，所述第一表面包含设置有图案的图案部分和包围图案部分的周边部分；和包围第一部分并且比第一部分厚的第二部分，其中，通过第一部分的第二表面和第二部分的内表面形成凹形部分，并且，凹形部分在周边部分的相反侧的区域中设置有遮光部分。
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公开(公告)号：CN103091977A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210414491.5
申请日：2012-10-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , G01N21/956
CPC classification number: G01N21/956 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G01N21/91 , G03F7/0002
Abstract: 本公开涉及压印装置、压印方法、压印系统和器件制造方法。一种使形成在模具上的图案与提供给基板的压印材料相接触以将图案转印到压印材料的压印装置包括：发射单元，被配置为发射用于使发光材料发射光的激发光；检测单元，被配置为检测光；和模具保持单元，被配置为保持包括所述发光材料的模具，其中，在图案被转印到压印材料之后，发射单元向转印到压印材料的图案发射激发光，并且检测单元检测从残留在压印材料中的发光材料发射的光。
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