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公开(公告)号：CN113858797B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202111102035.2
申请日：2021-09-18
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供一种故障点确定方法、装置、终端及存储介质。该方法包括：获取目标物体上第一实际图形与对应的理想图形在第一方向的第一偏移量和在与第一方向垂直的第二方向的第二偏移量；第一实际图形为目标物体上关于目标物体的中心对称的至少两组实际图形；根据各个第一偏移量和第二偏移量，确定目标物体在第一方向的第一实际偏移量和第二方向的第二实际偏移量；根据第一实际偏移量和第二实际偏移量，确定目标物体的偏移角度。本发明能够根据目标物体上的少量实际图形和理想图形，确定目标物体的第一实际偏移量、第二实际偏移量和偏移角度，进而解决目标物体的偏移量和偏移角度难以确定的问题，从而方便目标物体对应的目标设备的故障点确定。
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公开(公告)号：CN115218854A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210741742.4
申请日：2022-06-27
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本申请适用于面轮廓度误差评定技术领域，提供了一种非完整环面轮廓度误差确定方法、装置及终端设备。该方法包括：获取待测零件的测量环面与理想环面，测量环面包括待测零件的实测点，理想环面包括理想环面参数；根据坐标变换参数对实测点进行坐标变换处理得到测点；将理想环面等弧长细分，确定测点在理想环面上最近的对应点，在该对应点位于理想环面的边缘区域和非边缘区域时，采用不同算法计算测点到理想环面的最小距离；根据最小距离构建基于坐标变换参数和理想环面参数的环面轮廓度误差函数作为目标函数，基于差分进化算法对目标函数求解，确定环面轮廓度误差。本申请能够准确计算具有非完整环面结构的工业零件的环面轮廓度误差。
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公开(公告)号：CN114864369A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210347987.9
申请日：2022-04-01
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H01J37/32 , H01L21/3065 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及半导体加工工艺技术领域，尤其涉及一种防护晶圆片刻蚀损伤的装置及方法，本发明防护晶圆片刻蚀损伤的装置包括有屏蔽环以及陶瓷环，屏蔽环上表面楔面设计，降低了反射功率以及刻蚀均匀性的影响。在屏蔽环的侧面设有孔，避免晶圆片表面光刻胶因热量不及时散出导致的变形、开裂或者褶皱。通过适配陶瓷环与晶圆片的高度，使得在屏蔽环与晶圆片之间存有宽度合理的间隙，以保证较佳的防护效果。在陶瓷环上设有凹槽，通过凹槽限位屏蔽环，防止屏蔽环在陶瓷环上发生移动，影响保护效果。本发明防护晶圆片刻蚀损伤的方法仅在晶圆片加工时随晶圆片一起进出反应腔体，大大降低长期置于腔体内的保护装置的材料和结构对设备、工艺的影响。
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公开(公告)号：CN114156150A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111341201.4
申请日：2021-11-12
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H01J37/08
Abstract: 本发明提供了一种考夫曼离子源装置及其控制方法，属于离子束刻蚀技术领域，考夫曼离子源装置包括：放电室；电源连接组件，包括设于放电室外的灯丝电源，以及与灯丝电源连接的两个电源触点结构，两个电源触点结构分别设于放电室相对的两侧壁，且两个电源触点结构均伸入放电室内；两个灯丝固定组件，两个灯丝固定组件均包括设于放电室内的固定底座，与固定底座连接的固定仓，与固定仓移动配合的移动仓，以及设于移动仓的至少两个灯丝触点端子；平移驱动组件，与两个移动仓均连接；以及至少两个阴极灯丝，分别对应连接在两个移动仓的灯丝触点端子之间；电源触点结构与灯丝固定组件的位置相对应，在平移驱动组件的作用下，实现不同阴极灯丝的更换。
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公开(公告)号：CN112518653A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011278657.6
申请日：2020-11-16
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供了一种远距离拆装辅助工具，属于维修工具技术领域，包括加长杆、拉杆以及夹头，加长杆沿加长杆的轴线设有中心通孔；拉杆伸入中心通孔内，与中心通孔间隙配合，拉杆的第一端设有握持部，握持部与拉杆相接构成止挡加长杆的台阶面，握持部外露在中心通孔外；夹头螺接在拉杆的第二端，夹头外露在中心通孔的外面，夹紧用于拆卸的螺栓。本发明提供的远距离拆装辅助工具，方便在深孔、深狭缝等远距离或不便操作的位置进行螺栓的拆装，达到降低维修难度，提高修复速度，缩短设备宕机时长的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115355455B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202210960560.6
申请日：2022-08-11
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明涉及循环管路运行监控技术领域，尤其涉及一种循环管路漏液定位装置、系统及定位方法，本发明循环管路漏液定位装置，其设有电阻丝及导线，电阻丝和导线通过固定架固定于管路上，在管路泄露时，使得原彼此绝缘的电阻丝和导线产生电连接，从而改变电阻丝与导线之间的阻值。当管路上设有多个定位装置时，可根据电阻值，确定管路的漏点位置，因此，减少了管路寻找漏点的工作，提高了检查管路漏点的效率。本发明实施方式还公开了一种循环管路漏液定位方法，通过获取对应拓扑结构中进口和出口的阻值，通阻值所在的区间，划分出三个不同的段，根据阻值通过拓扑分析确定漏点位置，定位精度高，减少了排查的难度。
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公开(公告)号：CN117102913A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311129505.3
申请日：2023-09-04
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: B23Q3/06
Abstract: 本发明提供了一种微波探针生产剖切、焊接、抛光专用夹具及生产方法，属于微波技术领域，包括：底座和设置于底座上的夹持单元，夹持单元包括子夹具、垫块和压块；子夹具固设于底座上，子夹具上设置有微波探针安装槽；压块上设置有用于定位微波探针的同轴电缆的定位槽，定位槽的深度小于同轴电缆的直径；压块固设于垫块上，用于压紧同轴电缆，并外露同轴电缆的加工区域。本发明提供的微波探针生产剖切、焊接、抛光专用夹具，在生产微波探针时，将微波探针安装到专用夹具上，同轴电缆的剖切、探针尖焊接和磨抛工序借助现有设备进行批量化、自动化加工，不仅提高生产效率，同时产品一致性和稳定性也高于人工手动加工，提高了产品的质量。
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公开(公告)号：CN116399957A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310193393.1
申请日：2023-03-02
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本申请适用于集成电路测试设备和仪器技术领域，提供了水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法，该装置包括：承片台、滑车、导轨、导轨支架、推拉驱动机构、液体槽和底板；底板设置在液体槽的底壁上，导轨支架设置于底板上，导轨设置于导轨支架上，滑车设置于导轨上，承片台设置于滑车上；导轨的两端的高度不同，且导轨较低的一端低于预设高度，预设高度为盛放在液体槽中液体的液面高度；推拉驱动机构设置于液体槽的底板上，且与滑车连接，推拉驱动机构能够控制滑车在导轨的两端之间移动。本申请提高了晶圆检测完成后更换晶圆过程的效率，使更换过程更加快速平稳。
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公开(公告)号：CN115284215A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210946110.1
申请日：2022-08-08
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: B25B27/14
Abstract: 本发明提供了一种内六角螺栓拆装配合使用工具，属于拆装工具技术领域，包括套筒，套筒内部沿其轴向形成有两个相互贯通的内腔，上内腔和下内腔侧壁均具有多个贯通套筒内外的锥形孔，锥形孔内装有钢珠，钢珠向套筒内部凸出，套筒外壁套装有用于向套筒内部方向推顶钢珠的弹性挡环，钢珠外径大于锥形孔靠近套筒内壁一端的内径，其中一个内腔用于与内六角扳手一端适配插接、另一个内腔用于与内六角螺栓具有螺帽的一端适配插接，内六角扳手插接内六角螺栓，钢珠用于抵靠内六角扳手和内六角螺栓螺帽底部，能够与内六角扳手配合使用，将内六角螺栓拆装，方便携带，方便在狭小缝隙处或不方便双手操作的位置实现快速拆装，适用于多种场合的技术效果。
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公开(公告)号：CN112524214A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011278664.6
申请日：2020-11-16
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供了一种滚珠丝杠丝母损坏端盖的替代装置，属于设备维修技术领域，包括分体式端盖、固定组件以及防松微动组件，分体式端盖替代损坏端盖设置在滚珠丝杠螺母的端部，挡住丝母内的滚珠；分体式端盖通过固定组件与设备机体构成固定连接；防松微动组件包括微动开关、开关压片、开关压片座以及蜂鸣器，微动开关安装在第一分盖上，开关压片座安装在第二分盖上，开关压片的一端安装在开关压片座上，开关压片的另一端跨过第一分盖和第二分盖的接缝，与微动开关的驱动杆相连，微动开关与蜂鸣器电连接。本发明提出用分体式端盖进行应急替代，可以更加快速的修复因滚珠丝杠螺母端盖脱落或损坏引起的丝杠故障，降低维修难度，提高修复速度。
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