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公开(公告)号：CN114156150B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202111341201.4
申请日：2021-11-12
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H01J37/08
Abstract: 本发明提供了一种考夫曼离子源装置及其控制方法，属于离子束刻蚀技术领域，考夫曼离子源装置包括：放电室；电源连接组件，包括设于放电室外的灯丝电源，以及与灯丝电源连接的两个电源触点结构，两个电源触点结构分别设于放电室相对的两侧壁，且两个电源触点结构均伸入放电室内；两个灯丝固定组件，两个灯丝固定组件均包括设于放电室内的固定底座，与固定底座连接的固定仓，与固定仓移动配合的移动仓，以及设于移动仓的至少两个灯丝触点端子；平移驱动组件，与两个移动仓均连接；以及至少两个阴极灯丝，分别对应连接在两个移动仓的灯丝触点端子之间；电源触点结构与灯丝固定组件的位置相对应，在平移驱动组件的作用下，实现不同阴极灯丝的更换。
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公开(公告)号：CN114864468A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210343293.8
申请日：2022-03-31
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及半导体深硅刻蚀技术领域，公开了一种用于降低刻蚀工艺掉片率的方法、装置和刻蚀装置，用于降低刻蚀工艺掉片率的装置包括通气控制器和陶瓷遮挡盘；通气控制器一端用于连接进气管道，另一端用于连接刻蚀设备的通气管路，陶瓷遮挡盘设置于刻蚀设备的下电极基座上；通气控制器用于在刻蚀完成后，向刻蚀设备内通入气体，使晶圆片浮起和下落，以消除刻蚀完成后晶圆片上的残余静电力粘片效应；陶瓷遮挡盘用于限制晶圆片浮起过程中晶圆片的移动范围。本发明提供的用于降低刻蚀工艺掉片率的装置，通过陶瓷遮挡盘和通气控制器的共同使用，消除了刻蚀工艺完成后晶圆片上的残余静电力粘片效应，解决了现有刻蚀工艺中晶圆片掉片率高的问题。
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公开(公告)号：CN115355455B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202210960560.6
申请日：2022-08-11
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明涉及循环管路运行监控技术领域，尤其涉及一种循环管路漏液定位装置、系统及定位方法，本发明循环管路漏液定位装置，其设有电阻丝及导线，电阻丝和导线通过固定架固定于管路上，在管路泄露时，使得原彼此绝缘的电阻丝和导线产生电连接，从而改变电阻丝与导线之间的阻值。当管路上设有多个定位装置时，可根据电阻值，确定管路的漏点位置，因此，减少了管路寻找漏点的工作，提高了检查管路漏点的效率。本发明实施方式还公开了一种循环管路漏液定位方法，通过获取对应拓扑结构中进口和出口的阻值，通阻值所在的区间，划分出三个不同的段，根据阻值通过拓扑分析确定漏点位置，定位精度高，减少了排查的难度。
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公开(公告)号：CN114864369A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210347987.9
申请日：2022-04-01
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H01J37/32 , H01L21/3065 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及半导体加工工艺技术领域，尤其涉及一种防护晶圆片刻蚀损伤的装置及方法，本发明防护晶圆片刻蚀损伤的装置包括有屏蔽环以及陶瓷环，屏蔽环上表面楔面设计，降低了反射功率以及刻蚀均匀性的影响。在屏蔽环的侧面设有孔，避免晶圆片表面光刻胶因热量不及时散出导致的变形、开裂或者褶皱。通过适配陶瓷环与晶圆片的高度，使得在屏蔽环与晶圆片之间存有宽度合理的间隙，以保证较佳的防护效果。在陶瓷环上设有凹槽，通过凹槽限位屏蔽环，防止屏蔽环在陶瓷环上发生移动，影响保护效果。本发明防护晶圆片刻蚀损伤的方法仅在晶圆片加工时随晶圆片一起进出反应腔体，大大降低长期置于腔体内的保护装置的材料和结构对设备、工艺的影响。
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公开(公告)号：CN114156150A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111341201.4
申请日：2021-11-12
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H01J37/08
Abstract: 本发明提供了一种考夫曼离子源装置及其控制方法，属于离子束刻蚀技术领域，考夫曼离子源装置包括：放电室；电源连接组件，包括设于放电室外的灯丝电源，以及与灯丝电源连接的两个电源触点结构，两个电源触点结构分别设于放电室相对的两侧壁，且两个电源触点结构均伸入放电室内；两个灯丝固定组件，两个灯丝固定组件均包括设于放电室内的固定底座，与固定底座连接的固定仓，与固定仓移动配合的移动仓，以及设于移动仓的至少两个灯丝触点端子；平移驱动组件，与两个移动仓均连接；以及至少两个阴极灯丝，分别对应连接在两个移动仓的灯丝触点端子之间；电源触点结构与灯丝固定组件的位置相对应，在平移驱动组件的作用下，实现不同阴极灯丝的更换。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112518653A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011278657.6
申请日：2020-11-16
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供了一种远距离拆装辅助工具，属于维修工具技术领域，包括加长杆、拉杆以及夹头，加长杆沿加长杆的轴线设有中心通孔；拉杆伸入中心通孔内，与中心通孔间隙配合，拉杆的第一端设有握持部，握持部与拉杆相接构成止挡加长杆的台阶面，握持部外露在中心通孔外；夹头螺接在拉杆的第二端，夹头外露在中心通孔的外面，夹紧用于拆卸的螺栓。本发明提供的远距离拆装辅助工具，方便在深孔、深狭缝等远距离或不便操作的位置进行螺栓的拆装，达到降低维修难度，提高修复速度，缩短设备宕机时长的目的。
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公开(公告)号：CN115388334B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202210966818.3
申请日：2022-08-11
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: F17D3/01 , F17D3/18 , F17D5/06 , F17D5/00 , B01D35/02 , B01D29/05 , B01D29/90 , B01D29/60 , B01D19/00
Abstract: 本发明涉及循环管路运行监控技术领域，尤其涉及一种循环管路系统及循环管路控制方法，本发明公开了一种循环管路系统，设有受控制器控制的进出口管控单元，控制器接收进出口流量信号，当流量差较大时，控制器输出关闭工作管路进出口的命令，防止事态扩大。本发明实施方式还在工作管路上铺设有漏液定位装置，通过系统中的漏液定位装置，可以定位工作管路中的漏点和渗点，减少了排查的工作量，将隐患消除在萌芽状态。在工作管路进水侧和回水侧设有多个阀门，可以实现在不影响工作管路工作状态的前提下，实现对进水侧和回水侧的零件的维修、更换。减少了停机时间，增加了维修检查的作业效率。
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公开(公告)号：CN115388334A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210966818.3
申请日：2022-08-11
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: F17D3/01 , F17D3/18 , F17D5/06 , F17D5/00 , B01D35/02 , B01D29/05 , B01D29/90 , B01D29/60 , B01D19/00
Abstract: 本发明涉及循环管路运行监控技术领域，尤其涉及一种循环管路系统及循环管路控制方法，本发明公开了一种循环管路系统，设有受控制器控制的进出口管控单元，控制器接收进出口流量信号，当流量差较大时，控制器输出关闭工作管路进出口的命令，防止事态扩大。本发明实施方式还在工作管路上铺设有漏液定位装置，通过系统中的漏液定位装置，可以定位工作管路中的漏点和渗点，减少了排查的工作量，将隐患消除在萌芽状态。在工作管路进水侧和回水侧设有多个阀门，可以实现在不影响工作管路工作状态的前提下，实现对进水侧和回水侧的零件的维修、更换。减少了停机时间，增加了维修检查的作业效率。
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公开(公告)号：CN115355455A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210960560.6
申请日：2022-08-11
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: F17D5/06
Abstract: 本发明涉及循环管路运行监控技术领域，尤其涉及一种循环管路漏液定位装置、系统及定位方法，本发明循环管路漏液定位装置，其设有电阻丝及导线，电阻丝和导线通过固定架固定于管路上，在管路泄露时，使得原彼此绝缘的电阻丝和导线产生电连接，从而改变电阻丝与导线之间的阻值。当管路上设有多个定位装置时，可根据电阻值，确定管路的漏点位置，因此，减少了管路寻找漏点的工作，提高了检查管路漏点的效率。本发明实施方式还公开了一种循环管路漏液定位方法，通过获取对应拓扑结构中进口和出口的阻值，通阻值所在的区间，划分出三个不同的段，根据阻值通过拓扑分析确定漏点位置，定位精度高，减少了排查的难度。
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公开(公告)号：CN115296574A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210981529.0
申请日：2022-08-15
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本申请适用于感应电机参数辨识技术领域，提供了基于稳态T型等效电路的感应电机参数辨识方法和装置，该方法包括：获取电机系统的数据参数，建立稳态T型等效电路，得到电机系统的理论阻抗，数据参数包括：电压值、电流值、定子电阻、转子电阻、励磁电感、定子漏感、转子漏感、输入相电压的角频率、转速和转差率中的至少部分参数；对电压值、电流值和转速进行快速傅里叶变换，得到第一处理信息；基于第一处理信息计算得到电机系统的实测阻抗；基于理论阻抗、实测阻抗和量子粒子群算法，得到电机辨识参数。本申请中的参数辨识方法与已有方法相比，收敛过程更快，不容易陷入局部最优点，能够实现更准确的参数估计精度，同时能够实现电机参数的在线实时辨识。
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