公开(公告)号：CN109216180B

公开(公告)日：2023-09-08

申请号：CN201810716004.8

申请日：2018-07-03

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 东博之 ,  大塚贵久 ,  篠原和義 ,  中泽贵士 ,  藤本诚也 ,  道木裕一

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/67

Abstract: 本公开涉及基板处理方法和基板处理装置，使晶圆的中心部到周缘部为止的蚀刻量的面内均匀性提高。实施方式所涉及的基板处理方法包括低温溶解工序和蚀刻工序。在低温溶解工序中，使氧溶解于冷却至比室温低的规定温度的碱性水溶液中。在蚀刻工序中，向基板供给溶解了氧的碱性水溶液来对基板进行蚀刻。

公开(公告)号：CN103247560A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201310048990.1

申请日：2013-02-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林德太郎 ,  道木裕一 ,  森弘明 ,  寺本聪宽

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/677 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/673 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明提供一种能够在组件或向各组件搬送基板的基板搬送机构中的任一个发生故障的情况下防止对基板继续进行不良的处理的技术。本发明的装置包括：多个接受目标组件，基板保持部从该多个接受目标组件接受基板；检测由基板保持部保持的基板的保持位置与在该基板保持部预先设定的基板的基准位置的偏移量的传感器部；存储部，其将在从各接受目标组件接受基板时检测出的偏移量，按每个接受目标组件以时间序列进行存储；和推定部，其基于在存储部存储的各接受目标组件的偏移量的时间序列数据，推定在各接受目标组件中的任一个或基板搬送机构是否发生故障。由此，能够早期地应对。

公开(公告)号：CN101373728B

公开(公告)日：2010-09-15

申请号：CN200810128024.X

申请日：2008-07-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 道木裕一 ,  马原康尔 ,  林德太郎

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/66 ,  G01B7/00 ,  G01D5/241

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G03F7/7075 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68 ,  Y10T29/49771

Abstract: 本发明提供一种搬送臂的移动位置的调整方法和位置检测用夹具，使用能够搬入到薄型装置的位置检测用夹具，高精度地廉价地进行搬送臂的位置调整。使具有静电电容传感器(150)的位置检测用晶片(S)支撑在搬送臂上，利用该搬送臂搬送位置检测用晶片(S)，并载置到载置部(A)上。然后，利用位置检测用晶片(S)的静电电容传感器(150)，检测载置部(A)的中心孔的位置，检测出载置部(A)上的位置检测用晶片(S)的载置位置。然后，基于位置检测用晶片(S)的载置位置，调整晶片搬送时的搬送臂的移动位置。

公开(公告)号：CN103247560B

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201310048990.1

申请日：2013-02-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林德太郎 ,  道木裕一 ,  森弘明 ,  寺本聪宽

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/677 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/673 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明提供一种能够在组件或向各组件搬送基板的基板搬送机构中的任一个发生故障的情况下防止对基板继续进行不良的处理的技术。本发明的装置包括：多个接受目标组件，基板保持部从该多个接受目标组件接受基板；检测由基板保持部保持的基板的保持位置与在该基板保持部预先设定的基板的基准位置的偏移量的传感器部；存储部，其将在从各接受目标组件接受基板时检测出的偏移量，按每个接受目标组件以时间序列进行存储；和推定部，其基于在存储部存储的各接受目标组件的偏移量的时间序列数据，推定在各接受目标组件中的任一个或基板搬送机构是否发生故障。由此，能够早期地应对。

公开(公告)号：CN102655103B

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201210052118.X

申请日：2012-03-01

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 道木裕一 ,  林德太郎 ,  饭田成昭 ,  榎木田卓

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01L21/68 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/681 ,  H01L21/68707 ,  H01L22/10 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供不使用调整夹具就能够进行搬送位置调整的基板搬送装置的位置调整方法。本发明提供基板搬送装置的位置调整方法，其包括：第一检测步骤，利用搬送基板的基板搬送部保持基板，检测基板的位置；将由基板搬送部保持的基板向保持并旋转基板的基板旋转部搬送的步骤；利用基板旋转部使由基板旋转部保持的基板仅仅旋转规定的角度的步骤；从基板搬送部接收被基板旋转部旋转的基板的步骤；第二检测步骤，检测基板搬送部接收的该基板的位置；基于在第一检测步骤求出的基板的位置和在第二检测步骤求出的基板的位置，掌握基板旋转部的旋转中心位置的步骤；和基于掌握的旋转中心位置，调整基板搬送部的位置的步骤。

公开(公告)号：CN103247559A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201310043637.4

申请日：2013-02-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林德太郎 ,  道木裕一 ,  前岛浩光

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67259 ,  G05B19/4189 ,  G05B2219/45032 ,  G05B2219/45051 ,  G05D3/125 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/681

Abstract: 本发明提供一种基板搬送装置，当搬送在周边部设置有切口的圆形的基板时，即使检测该基板周边部的位置的传感器部的数量少，也能高精度地将基板搬送至组件。本发明执行以下步骤：使保持有从第一组件接受到的基板的基板保持部相对上述传感器部分别位于预先设定的第一位置、第二位置，检测基板的周边部的各位置的第一和第二步骤；判别光源部的光照射区域位于基板的切口的异常状态的种类的第三步骤；和根据第三步骤的判别，基于在第一位置或第二位置检测出的周边部的各位置决定基板保持部相对第二组件的交接位置，或在第三位置重新检测基板周边部的各位置，基于该各位置决定交接位置。

公开(公告)号：CN101807536A

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN201010002839.0

申请日：2010-01-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 矢野光辉 ,  道木裕一 ,  富田浩

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/6715 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67196 ,  Y10T408/29 ,  Y10T408/559 ,  Y10T408/5612

Abstract: 本发明提供基板输送装置及基板处理系统。在输送基板时，能抑制在基板上附着微粒，能提高由基板处理系统制造出的产品的成品率。基板输送装置具有：在内部收容基板且在侧面形成有基板的输入输出口(98)的基板收容容器(91)；朝向基板收容容器内(91)内的基板(W)的背面喷射规定气体的气体喷射部(92)；调整从气体喷射部(92)供给的上述规定气体的供给量而将上述基板收容容器(91)内的基板(W)控制在规定的高度的控制部(93)。

公开(公告)号：CN107851572B

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN201680044518.2

申请日：2016-07-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 伊藤规宏 ,  东岛治郎 ,  绪方信博 ,  大塚贵久 ,  道木裕一 ,  桥本佑介 ,  相浦一博 ,  后藤大辅

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/306

Abstract: 基板处理装置具备：固定杯体(51)，其包围基板保持部(31)并接受被供给到基板的处理液或处理液的雾，且相对于处理容器相对地不动；雾防护件(80)；以及防护件升降机构(84)，其使雾防护件升降。雾防护件以包围固定杯体的方式设置于固定杯体的外侧，对越过固定杯体的上方而向外方飞散的液进行阻断。雾防护件具有：筒状的筒部(81)；以及伸出部(82)，其从筒部的上端朝且向固定杯体的侧伸出。

公开(公告)号：CN107104073B

公开(公告)日：2020-06-02

申请号：CN201710071162.8

申请日：2013-02-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林德太郎 ,  道木裕一 ,  前岛浩光

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种基板搬送装置，当搬送在周边部设置有切口的圆形的基板时，即使检测该基板周边部的位置的传感器部的数量少，也能高精度地将基板搬送至组件。本发明执行以下步骤：使保持有从第一组件接受到的基板的基板保持部相对上述传感器部分别位于预先设定的第一位置、第二位置，检测基板的周边部的各位置的第一和第二步骤；判别光源部的光照射区域位于基板的切口的异常状态的种类的第三步骤；和根据第三步骤的判别，基于在第一位置或第二位置检测出的周边部的各位置决定基板保持部相对第二组件的交接位置，或在第三位置重新检测基板周边部的各位置，基于该各位置决定交接位置。

公开(公告)号：CN103247559B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201310043637.4

申请日：2013-02-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林德太郎 ,  道木裕一 ,  前岛浩光

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67259 ,  G05B19/4189 ,  G05B2219/45032 ,  G05B2219/45051 ,  G05D3/125 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/681

Abstract: 本发明提供一种基板搬送装置，当搬送在周边部设置有切口的圆形的基板时，即使检测该基板周边部的位置的传感器部的数量少，也能高精度地将基板搬送至组件。本发明执行以下步骤：使保持有从第一组件接受到的基板的基板保持部相对上述传感器部分别位于预先设定的第一位置、第二位置，检测基板的周边部的各位置的第一和第二步骤；判别光源部的光照射区域位于基板的切口的异常状态的种类的第三步骤；和根据第三步骤的判别，基于在第一位置或第二位置检测出的周边部的各位置决定基板保持部相对第二组件的交接位置，或在第三位置重新检测基板周边部的各位置，基于该各位置决定交接位置。