半导体器件和半导体封装件
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114068454A

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202110549061.3

    申请日:2021-05-19

    Abstract: 提供了一种半导体器件和一种半导体封装件。所述半导体器件包括:半导体衬底,所述半导体衬底具有彼此相对的第一表面和第二表面;有源图案,所述有源图案从所述半导体衬底的所述第一表面突出,所述有源图案包括源极/漏极区;电源轨,所述电源轨电连接到所述源极/漏极区;电力配送网络,所述电力配送网络设置在所述半导体衬底的所述第二表面上;和穿透通路结构,所述穿透通路结构穿透所述半导体衬底并且电连接到所述电源轨和所述电力配送网络。所述穿透通路结构包括:第一导电图案,所述第一导电图案电连接到所述电源轨;和第二导电图案,所述第二导电图案电连接到所述电力配送网络。所述第一导电图案包括与所述第二导电图案不同的材料。

    半导体器件
    3.
    发明公开
    半导体器件 审中-公开

    公开(公告)号:CN112447641A

    公开(公告)日:2021-03-05

    申请号:CN202010511762.3

    申请日:2020-06-08

    Abstract: 本公开的多个方面涉及一种半导体器件,所述半导体器件包括:晶体基底,具有在竖直方向上彼此背对的第一表面和第二表面;以及绝缘层,设置在晶体基底的第一表面上。半导体器件还可以包括:蚀刻停止层,插置在晶体基底与绝缘层之间并且接触晶体基底和绝缘层;以及导电通孔结构,穿透晶体基底和绝缘层。半导体器件还可以包括绝缘分隔层,所述绝缘分隔层与导电通孔结构水平相邻地设置,并具有内壁和外壁。绝缘分隔层可以包括设置在导电通孔结构与晶体基底之间的第一部分和设置在导电通孔结构与蚀刻停止层之间的第二部分。

    包括贯穿基底过孔的半导体器件

    公开(公告)号:CN112242365B

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202010098518.9

    申请日:2020-02-18

    Abstract: 公开了一种半导体器件。所述半导体器件包括:基底;第一贯穿基底过孔,被构造为至少部分地穿透基底,第一贯穿基底过孔具有第一高宽比;以及第二贯穿基底过孔,被构造为至少部分地穿透基底。第二贯穿基底过孔具有大于第一高宽比的第二高宽比,并且第一贯穿基底过孔和第二贯穿基底过孔中的每个包括第一导电层和第二导电层。第一贯穿基底过孔的第一导电层在竖直方向上的厚度小于第二贯穿基底过孔的第一导电层在竖直方向上的厚度。

    半导体器件
    7.
    发明公开
    半导体器件 审中-公开

    公开(公告)号:CN118899311A

    公开(公告)日:2024-11-05

    申请号:CN202410201980.5

    申请日:2024-02-23

    Abstract: 一种半导体器件,包括:衬底,该衬底包括在第一方向上彼此相对的第一表面和第二表面;有源图案,在衬底的第一表面上并沿第二方向延伸;场绝缘膜,在衬底的第一表面上并覆盖有源图案的侧壁;电力轨,在衬底的第二表面上并沿第二方向延伸;过孔沟槽,在有源图案的一侧并穿过场绝缘膜;以及电力轨过孔,填充过孔沟槽并连接到电力轨,其中,电力轨过孔包括:第一子膜,形成为单层膜;以及第二子膜,在第一子膜上,并且包括沿过孔沟槽的内侧壁延伸的阻挡膜、以及阻挡膜之间的填充膜。

    半导体器件制造方法和使用该半导体器件制造方法而制造的半导体器件

    公开(公告)号:CN119028996A

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202410436991.1

    申请日:2024-04-11

    Abstract: 本公开提供了一种半导体器件制造方法,包括:形成下芯片和上芯片;以及将下芯片和上芯片彼此接合。形成下芯片包括:提供下衬底;顺序地形成下层间绝缘膜和预下粘合膜;蚀刻预下粘合膜和下层间绝缘膜的部分以形成下沟槽;使用溅射工艺来形成第一下籽晶膜和第二下籽晶膜。形成上芯片包括:提供上衬底;顺序地形成上层间绝缘膜和预上层粘合膜;蚀刻预上层粘合膜和上层间绝缘膜的部分以形成上沟槽;使用溅射工艺来形成第一上籽晶膜和第二上籽晶膜。

    半导体器件
    9.
    发明公开
    半导体器件 审中-实审

    公开(公告)号:CN115332206A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202210112648.2

    申请日:2022-01-29

    Abstract: 一种半导体器件包括:半导体衬底,所述半导体衬底具有与有源层相邻的第一表面;第一绝缘层,所述第一绝缘层设置在所述半导体衬底的所述第一表面上;第二绝缘层,所述第二绝缘层设置在所述第一绝缘层上;蚀刻停止结构,所述蚀刻停止结构介于所述第一绝缘层与所述第二绝缘层之间并且包括多个蚀刻停止层;接触布线图案,所述接触布线图案设置在所述第二绝缘层内部并且被所述多个蚀刻停止层中的至少一个蚀刻停止层围绕;以及贯通电极结构,所述贯通电极结构被构造为在垂直方向上穿过所述半导体衬底、所述第一绝缘层和所述多个蚀刻停止层中的至少一个蚀刻停止层并且接触所述接触布线图案。

    包括贯穿基底过孔的半导体器件

    公开(公告)号:CN112242365A

    公开(公告)日:2021-01-19

    申请号:CN202010098518.9

    申请日:2020-02-18

    Abstract: 公开了一种半导体器件。所述半导体器件包括:基底;第一贯穿基底过孔,被构造为至少部分地穿透基底,第一贯穿基底过孔具有第一高宽比;以及第二贯穿基底过孔,被构造为至少部分地穿透基底。第二贯穿基底过孔具有大于第一高宽比的第二高宽比,并且第一贯穿基底过孔和第二贯穿基底过孔中的每个包括第一导电层和第二导电层。第一贯穿基底过孔的第一导电层在竖直方向上的厚度小于第二贯穿基底过孔的第一导电层在竖直方向上的厚度。

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