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公开(公告)号：CN203159709U
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201320122884.9
申请日：2013-03-18
申请人： 株式会社昭和真空
摘要： 本实用新型提供原子层沉积装置。其具有光特性测定装置（41）和ALD成膜室。光特性测定装置（41）具有电源（42）、探头（43）、测定装置（44）、承载台（45）和控制部（48）。探头（43）为接受来自发光装置（10）的光的受光体。测定装置（44）测定探头（43）接受的光的同时，输出作为测定结果的色度。控制部（48）控制光特性测定装置（41）的动作整体。
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公开(公告)号：CN118259057A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202311810537.X
申请日：2023-12-26
申请人： 株式会社昭和真空
摘要： 本发明提供一种能够准确测量电子部件的电特性的测量装置和测量方法。测量装置具有：第一腔室(20)，其具有第一空间(24)；多个接触探针(21)，其配置于第一腔室(20)的第一面，测量配置于与第一面对置的第二面的多个电子部件的电特性；切换部(40)，其具有层叠于第一腔室(20)的第一面侧的切换板(41)以及配置于该切换板(41)上的电子基板(42)，切换从多个接触探针(21)发送的信号；第二腔室(50)，其隔着切换板(41)与第一腔室(20)对置，具有第二空间(51)；以及压力调整单元(60)，其对压力进行调整以使第一空间(24)的压力与第二空间(51)的压力相等。
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公开(公告)号：CN117941252A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202280062672.8
申请日：2022-09-14
摘要： 本发明为一种水晶器件的制造方法。本发明提供能够在不降低老化特性的情况下降低作为原材料费用的贵金属的成本的水晶器件。解决手段为：使用旋转台型溅射装置(10)，以从水晶振动片的表面起依次具有下述层的方式进行成膜，所述层为：具有基底层和金和第2金属的层；具有金和第2金属且具有50体积％以上的第2金属的层；具有金和第2金属且具有低于50体积％的第2金属的层；以及，以具有95体积％以上的金的金属进行成膜的层。
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公开(公告)号：CN114341310A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080055463.1
申请日：2020-06-25
申请人： 株式会社昭和丸筒
摘要： 本发明提供一种厚度方向上的导热性优异，且柔软性也优异的导热片等。该导热片100具备：多个导热部10，它们分别自一主表面连续地设置至另一主表面；以及接合部20，其将在主表面方向上层叠的多个导热部10的邻接的界面彼此接合，该导热片100整体上呈片状，其中，导热部10包含空隙部，接合部20由包含具有柔软性的树脂材料的材料构成并且局部地形成有空隙层，且树脂材料的一部分局部地渗入至导热部10的空隙部。根据上述构成，借助导热部10的空隙部及接合部20的空隙层而提高导热片100的柔软性、可挠性，并且通过使树脂材料渗入至导热部10的空隙部的一部分，能够一边在导热部10彼此之间形成空隙层，一边确保使这些导热部10彼此接合的强度。
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公开(公告)号：CN113815719A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202111148929.5
申请日：2017-06-01
申请人： 株式会社昭和
发明人： 栗原紘章
摘要： 本发明提供故障检测装置和电动助力转向装置。故障检测装置具备：故障诊断部，其检测扭矩检测装置(200)的故障，该扭矩检测装置(200)通过多个扭矩传感器来检测施加在小齿轮轴上的扭矩；和目标电流计算部(20)，在故障诊断部检测出扭矩检测装置(200)的故障的情况下，该目标电流计算部(20)控制电动马达(110)的驱动，使得输出连续扭矩，该连续扭矩是在多个扭矩传感器(203)中的至少一个正常的情况下能由扭矩传感器(203)检测的、连续产生的扭矩。
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公开(公告)号：CN111051840B
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN201780094575.6
申请日：2017-10-05
申请人： 株式会社昭和
发明人： 栗原紘章
摘要： 故障检测装置具备：输出部(80)，其检测扭矩检测装置的故障，所述扭矩检测装置通过两个扭矩传感器(201、202)检测施加在小齿轮轴上的扭矩；和目标电流计算部(20)，其控制电动马达(110)的驱动，目标电流计算部(20)在扭矩检测装置所具有的两个扭矩传感器(201、202)中的一个扭矩传感器发生了故障的情况下，输出连续扭矩，该连续扭矩连续地产生能够由另一个扭矩传感器检测出来的扭矩，输出部(80)在电动马达(110)输出了连续扭矩的情况下，根据因扭矩传感器(201、202)检测出的连续扭矩而引起的振动的模式来诊断另一个扭矩传感器的故障，在所述振动的振幅低于基准振幅的情况下，判断为所述另一个扭矩传感器发生了故障。
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公开(公告)号：CN113324709A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110225279.3
申请日：2021-03-01
申请人： 株式会社昭和真空
IPC分类号： G01M3/26
摘要： 本申请提供一种不管电子部件有没有泄漏，都能够计算电子部件的泄漏量的小型且容易组装到现有装置、设计自由度高的泄漏检查方法和泄漏检查装置。在泄漏检查方法中，在比石英振子的内部压力低的压力下第1规定时间配置石英振子，获取石英振子的第1阻抗的变化ΔZd，在比石英振子的内部压力高的压力下第2规定时间配置石英振子，获取石英振子的第2阻抗的变化ΔZu，根据第1阻抗的变化ΔZd和第2阻抗的变化ΔZu求出石英振子的内部压力，计算泄漏量。
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公开(公告)号：CN109983250B
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN201780056768.2
申请日：2017-04-05
申请人： 株式会社昭和
摘要： 提供了一种减震器(10)，该减震器能够在确保可承受的冲击强度的同时抑制由骑车人承受的冲击。该减震器(10)包括：一对管(11、12)，该一对管互相滑动抵接；中空杆(16)，该中空杆设置于管(11)；第一阀座(33)和第二阀座(41)，该第一阀座和第二阀座设置于管(12)的内周；以及第一阀体(35)和第二阀体(39)，其中，第一阀体(35)能够在与中空杆(16)的外周具有间隙的状态下坐置在第二阀座(41)上，并且第二阀体(39)能够在被向着轴向的下侧推动的状态下与第一阀座(33)进行紧密接触。
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公开(公告)号：CN107061262B
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201611217997.1
申请日：2016-12-26
申请人： 株式会社昭和
发明人： 西川岁生
摘要： 在一种叶片泵装置中，转子的叶片凹槽包括柱状凹槽，所述柱状凹槽是位于所述叶片凹槽的旋转中心侧的空间，容纳油，并且支撑所述叶片。内板低压侧凹部沿着所述转子的旋转方向设置在内板的端面中，并且将油供应至所述柱状凹槽。所述内板低压侧凹部包括低压侧上游凹部、低压侧下游凹部、和低压侧连接凹部，所述低压侧连接凹部将所述低压侧上游凹部与所述低压侧下游凹部连接。低压侧下游凹部的宽度比低压侧上游凹部的宽度更窄。所述低压侧连接凹部的宽度等于所述低压侧下游凹部的宽度。
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