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公开(公告)号：CN117941252A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202280062672.8
申请日：2022-09-14
Abstract: 本发明为一种水晶器件的制造方法。本发明提供能够在不降低老化特性的情况下降低作为原材料费用的贵金属的成本的水晶器件。解决手段为：使用旋转台型溅射装置(10)，以从水晶振动片的表面起依次具有下述层的方式进行成膜，所述层为：具有基底层和金和第2金属的层；具有金和第2金属且具有50体积％以上的第2金属的层；具有金和第2金属且具有低于50体积％的第2金属的层；以及，以具有95体积％以上的金的金属进行成膜的层。
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