知搜-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

5 records (took 0.02 seconds)

    测量装置和测量方法
    1.
    发明公开
    测量装置和测量方法 审中-公开

    公开(公告)号：CN118259057A

    公开(公告)日：2024-06-28

    申请号：CN202311810537.X

    申请日：2023-12-26

    Applicant: 株式会社昭和真空

    Inventor： 森広宣 ,  塩野忠久 ,  迹边好寿

    IPC: G01R1/073 ,  G01R27/02 ,  G01R31/00

    Abstract: 本发明提供一种能够准确测量电子部件的电特性的测量装置和测量方法。测量装置具有：第一腔室(20)，其具有第一空间(24)；多个接触探针(21)，其配置于第一腔室(20)的第一面，测量配置于与第一面对置的第二面的多个电子部件的电特性；切换部(40)，其具有层叠于第一腔室(20)的第一面侧的切换板(41)以及配置于该切换板(41)上的电子基板(42)，切换从多个接触探针(21)发送的信号；第二腔室(50)，其隔着切换板(41)与第一腔室(20)对置，具有第二空间(51)；以及压力调整单元(60)，其对压力进行调整以使第一空间(24)的压力与第二空间(51)的压力相等。

    泄漏检查方法和泄漏检查装置
    2.
    发明公开
    泄漏检查方法和泄漏检查装置 审中-实审

    公开(公告)号：CN113324709A

    公开(公告)日：2021-08-31

    申请号：CN202110225279.3

    申请日：2021-03-01

    Applicant: 株式会社昭和真空

    Inventor： 塩野忠久 ,  迹边好寿

    IPC: G01M3/26

    Abstract: 本申请提供一种不管电子部件有没有泄漏，都能够计算电子部件的泄漏量的小型且容易组装到现有装置、设计自由度高的泄漏检查方法和泄漏检查装置。在泄漏检查方法中，在比石英振子的内部压力低的压力下第1规定时间配置石英振子，获取石英振子的第1阻抗的变化ΔZd，在比石英振子的内部压力高的压力下第2规定时间配置石英振子，获取石英振子的第2阻抗的变化ΔZu，根据第1阻抗的变化ΔZd和第2阻抗的变化ΔZu求出石英振子的内部压力，计算泄漏量。

    探针销对位装置
    3.
    发明公开
    探针销对位装置 审中-公开

    公开(公告)号：CN111913018A

    公开(公告)日：2020-11-10

    申请号：CN202010254893.8

    申请日：2020-04-02

    Applicant: 株式会社昭和真空

    Inventor： 迹边好寿

    IPC: G01R1/067 ,  G01B11/00

    Abstract: 提供一种探针销对位装置，能够容易地对探针销与电极焊盘的位置的偏差量实时地进行校正，并且能够防止探针销或电子设备受到损伤。探针销对位装置(100)具备：反射镜(110)，其在探针销(331A、331B)靠近晶体振子(21)时，使电极焊盘(212P、213P)映入其中；相机(120)，其对探针销(331A、331B)、以及映入反射镜(110)的镜像进行拍摄；偏差量测量部(201)，其测量拍摄图像中的探针销(331A、331B)的位置与电极焊盘(212P、213P)的位置的偏差量；移动部(202)，其使载体(22)与探针销(331A、331B)相对移动；以及控制部(200)，其通过移动部(202)使探针销(331A、331B)与载体(22)相对移动，以使偏差量接近于零。

Patent Agency Ranking