公开(公告)号：CN118259057A

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202311810537.X

申请日：2023-12-26

Applicant: 株式会社昭和真空

Inventor： 森広宣 ,  塩野忠久 ,  迹边好寿

IPC: G01R1/073 ,  G01R27/02 ,  G01R31/00

Abstract: 本发明提供一种能够准确测量电子部件的电特性的测量装置和测量方法。测量装置具有：第一腔室(20)，其具有第一空间(24)；多个接触探针(21)，其配置于第一腔室(20)的第一面，测量配置于与第一面对置的第二面的多个电子部件的电特性；切换部(40)，其具有层叠于第一腔室(20)的第一面侧的切换板(41)以及配置于该切换板(41)上的电子基板(42)，切换从多个接触探针(21)发送的信号；第二腔室(50)，其隔着切换板(41)与第一腔室(20)对置，具有第二空间(51)；以及压力调整单元(60)，其对压力进行调整以使第一空间(24)的压力与第二空间(51)的压力相等。

公开(公告)号：CN113324709A

公开(公告)日：2021-08-31

申请号：CN202110225279.3

申请日：2021-03-01

Applicant: 株式会社昭和真空

Inventor： 塩野忠久 ,  迹边好寿

IPC: G01M3/26

Abstract: 本申请提供一种不管电子部件有没有泄漏，都能够计算电子部件的泄漏量的小型且容易组装到现有装置、设计自由度高的泄漏检查方法和泄漏检查装置。在泄漏检查方法中，在比石英振子的内部压力低的压力下第1规定时间配置石英振子，获取石英振子的第1阻抗的变化ΔZd，在比石英振子的内部压力高的压力下第2规定时间配置石英振子，获取石英振子的第2阻抗的变化ΔZu，根据第1阻抗的变化ΔZd和第2阻抗的变化ΔZu求出石英振子的内部压力，计算泄漏量。

公开(公告)号：CN113533806A

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN202110396283.6

申请日：2021-04-13

Applicant: 株式会社昭和真空

Inventor： 塩野忠久 ,  森広宣

IPC: G01R1/073

Abstract: 提供一种可以取得具有稳定的再现性的电子部件的检查结果，直流电阻、高频电感等变动较小，能够应对小型窄间距化，不污染检查空间的高寿命的探针单元。用于电子部件的检查的探针单元(1)具有探针(20)和支架(10)，探针(20)具有沿着中心线伸缩的螺旋弹簧(21)和与螺旋弹簧(21)一体成型，从螺旋弹簧(21)的一端部与螺旋弹簧(21)的中心线平行地延伸的销(22)，支架(10)收容探针(20)，具有与电子部件对置的底面(1a)，销(22)的前端在探针(20)被收容的状态下从底面(1a)突出。

公开(公告)号：CN114384347A

公开(公告)日：2022-04-22

申请号：CN202111205031.7

申请日：2021-10-15

Applicant: 株式会社昭和真空

Inventor： 塩野忠久 ,  森広宣

IPC: G01R31/00

Abstract: 提供一种能够有效检查电子部件的电特性并且误差少的测量装置和测量方法。测量装置具有：压力变更单元，其改变测量室内的压力；多个接触探针，其同时接触多个石英振子的外部电极；电源部，其对石英振子施加电压；测量部，其测量石英振子的阻抗；以及切换部，其针对每个石英振子切换石英振子和接触探针的电连接并将输出值发送到测量部。

公开(公告)号：CN113373411A

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN202110255176.1

申请日：2021-03-09

Applicant: 株式会社昭和真空 ,  株式会社V 技术

Inventor： 塩野忠久 ,  长田佑介 ,  金子滉明 ,  若林雅 ,  铃木裕二

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/04

Abstract: 提供一种能够在确保蒸发的蒸镀材料的指向性的同时保持较高的成膜速率的蒸镀源单元、蒸镀源和蒸镀源用喷嘴。蒸镀源单元(1)是一种使蒸镀材料蒸镀到基板的表面上的蒸镀源单元(1)，其具有包括喷出口(21)的喷嘴(20)，所述喷出口(21)喷出加热的蒸镀材料，喷嘴(20)上形成有沿与该喷嘴(20)的延伸方向相同方向延伸的多个孔(20a)，该多个孔(20a)的一端部在喷出口(21)开口，孔(20a)的纵横比为2以上，孔(20a)的长度为分子的平均自由行程的1/5以下。