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公开(公告)号：CN113867106A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111110725.2
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的铰链摆放成菱形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的四个支撑组件呈正方形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的铰链使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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公开(公告)号：CN110562485A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910906799.3
申请日：2019-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种桨距可调的火星飞行器共轴旋翼悬停特性测量装置，它涉及一种悬停特性测量装置。本发明为了解决现有的共轴旋翼悬停特性测量装置无法提供足够的动力并获取具有高精度的升力及扭矩测量值。及无法满足高效快速的测量需求。本发明的驱动模块竖直设置，上旋翼系统和下旋翼系统由上至下安装在驱动模块上，且上旋翼系统和下旋翼系统的旋转运动同轴并相互独立，驱动模块具有两套驱动系统，分别驱动上旋翼系统和下旋翼系统旋转且旋转方向相反，桨距调节模块通过采用连杆推拉的形式驱动下旋翼系统的桨夹进行转动来实现桨距角可调，测量模块安装在驱动模块的下部并对升力和扭矩进行测量。本发明用于火星飞行器共轴旋翼悬停特性测量。
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公开(公告)号：CN118884897A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202410936557.X
申请日：2024-07-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/19
Abstract: 本发明公开了一种广义非对称S型曲线轨迹运动参数规划方法，所述方法如下：假设：T1＝T3，T5＝T7；在t0和t7时刻的速度和加速度均为零以获得启停运动，移动距离满足P(t0)＝0且P(t7)＝P，实际可达的峰值速度以速度界为界，加速阶段和减速阶段实际可达的峰值加速度以加速度界为界；推导广义非对称S曲线每一时间间隔内的描述，得到广义非对称S曲线的一般性质，简化广义非对称S曲线每一时间间隔内的描述，确定时间间隔，计算广义非对称S型曲线轨迹的各个运动参数。本发明解决了对目标受限空间内由运动引起的残余振动抑制问题。
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公开(公告)号：CN118842352A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410839519.2
申请日：2024-06-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/06
Abstract: 一种基于EUPI的压电致动器迟滞补偿控制系统及方法，涉及压电致动器控制技术领域。期望轨迹输入减去预测轨迹得到压电致动器的预测偏差，预测偏差经过前馈逆模型补偿器的比例环节和积分环节得到控制信号u1(t)，控制信号u1(t)作用于EUPI迟滞模型更新预测轨迹，期望轨迹输入减去压电致动器的实际运动轨迹得到压电致动器的位置误差，位置误差经过反馈控制器得到控制信号u2(t)，u2(t)与u1(t)叠加得到u(t)作用于被控对象得到压电致动器的实际运动轨迹。通过EUPI迟滞模型对具有不对称的迟滞现象的描述，显著提高系统响应速度。
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公开(公告)号：CN117444978B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202311626768.5
申请日：2023-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种气动软体机器人的位置控制方法及其系统、设备，所述方法通过随机策略得到包含若干状态以及对应动作数据组的初始数据集，再将上述数据集作为训练输入，使用代表高斯过程功能映射与实际状态之间差异的差分变量作为训练目标，利用贝叶斯推断所获得的差分变量的后验预测分布表示动力学模型中的传递动力学函数，最后利用所学习的动力学模型计算预测状态分布，并以预期长期损失最小为目标优化策略参数，实现更新策略。本发明利用概率模型代替实际动力学模型，进而减轻模型偏差，解决了现有方法过度依赖精确动力学模型的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117287453B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311247019.1
申请日：2023-09-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种具有粘接应力消除效果的陶瓷材料粘接工艺，所述工艺包括如下步骤：步骤一、清洁陶瓷材料表面；步骤二、测试陶瓷材料表面能；步骤三、放置并调整微米玻璃珠限位工装；步骤四、布置微米玻璃珠；步骤五、提取、均匀并离心粘接胶水；步骤六、采用点胶机根据陶瓷方镜模型分别对不同限位孔进行点胶；步骤七、收回微米玻璃珠限位工装；步骤八、安装陶瓷后盖板；步骤九、采用重物均匀压实后盖板并静置。本发明有效减轻了陶瓷方镜的重量，提高了结构稳定性，抑制了粘接后的恢复变形，降低了振动和共振的风险，从而在高速高加速度运动中提高了晶圆加工的精度和一致性。
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公开(公告)号：CN117313237B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311233951.9
申请日：2023-09-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F30/15 , G06F30/27 , G06F30/28 , B64F5/00 , B64C27/467 , G06F119/14 , G06F111/10 , G06F113/08
Abstract: 本发明公开了一种基于机器学习的特种无人机组构方案优选方法，所述方法包括如下步骤：(1)建立特种无人机三维桨叶组构方案库；(2)建立特种无人机三维桨叶组构模型库；(3)绘制不同桨叶组构方案对应的网格库；(4)建立特种无人机桨叶组构的二维升阻系数仿真数据库；(5)以机器学习的方式建立组构方案—升阻特性参数库；(6)机器学习方法优选；(7)进行桨叶组构升阻特性预测与方案优选。本发明能够通过机器学习得到目标特种环境条件下特种无人机桨叶组构的优选方案，能够降低很多计算量，提高计算效率，在确保优选组构方案有效性的基础上节约大量实验成本，同时该方法可以进行自我迭代，为进一步提高优选效果提供了可能性。
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公开(公告)号：CN117601122A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311574619.9
申请日：2023-11-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种气动人工肌肉位置跟踪控制系统及算法，所述跟踪控制系统包括轨迹生成器Cr、反馈控制器C、气动人工肌肉的模型P；所述轨迹生成器Cr生成气动人工肌肉的期望运动轨迹yd，气动人工肌肉的闭环系统根据气动人工肌肉的实际运动轨迹y减去气动人工肌肉的期望运动轨迹yd，得到气动人工肌肉的位置误差误差e，气动人工肌肉的位置误差信号e经过反馈控制器C得到控制信号u，控制信号u作用于气动人工肌肉的模型P，得到气动人工肌肉的实际运动轨迹y。本发明消除了在线设计控制器方法在对高阶系统设计过程中需对控制器参数进行复杂、繁琐的递归选取的限制。
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公开(公告)号：CN117444978A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311626768.5
申请日：2023-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种气动软体机器人的位置控制方法及其系统、设备，所述方法通过随机策略得到包含若干状态以及对应动作数据组的初始数据集，再将上述数据集作为训练输入，使用代表高斯过程功能映射与实际状态之间差异的差分变量作为训练目标，利用贝叶斯推断所获得的差分变量的后验预测分布表示动力学模型中的传递动力学函数，最后利用所学习的动力学模型计算预测状态分布，并以预期长期损失最小为目标优化策略参数，实现更新策略。本发明利用概率模型代替实际动力学模型，进而减轻模型偏差，解决了现有方法过度依赖精确动力学模型的问题。
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公开(公告)号：CN117283260A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311457252.2
申请日：2023-11-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23P19/00
Abstract: 本发明提供一种用于气浮导轨导向槽间隙调整的装配机构，属于精密加工设备技术领域。该机构具体应用时测量精准，令工件装配尺寸稳定标准，采用自动测量的方式，替代了人工测量的工作步骤，令测量更快速更精准。该机构的柔性调整模块基于三坐标测量机进行使用，柔性调整模块包括柔性基座、锁紧机构及定位机构，待装配模块通过定位机构调整定位，通过锁紧机构安装在柔性基座上，三坐标测量机用于测量待装配模块的两个装配块间距，通过调整两个装配块之间连接螺钉松紧，实现两个装配块间距的准确调整。本发明能够实现对U形导轨的高效、精准装配，能够解决当前手动调整螺钉和卡尺测量存在的费时费力和精度不足的问题。
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