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公开(公告)号：CN108604006A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780009806.9
申请日：2017-01-24
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及各种方法，其中在物体(12)的若干图像之间修改图像记录参数，并且基于由此捕捉的图像来显示立体图像对。图像记录参数可以特别是焦平面或照射方向。
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公开(公告)号：CN108351505A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680063556.2
申请日：2016-10-25
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G02B21/24
CPC classification number: G02B21/248
Abstract: 本发明涉及一种显微镜(12)，其具有物镜互换设备(22)，物镜互换设备包括固定器(21)和物镜容座(11)，固定器在相应的固定器位置(21.n)处接收若干物镜(1)，物镜容座配置为接收物镜(1)且布置在显微镜(12)的光束路径(13)中。显微镜(12)的特征在于物镜递送装置(20)，物镜递送装置(20)配置为在其被递送到转移位置 的固定器位置(21.n)与物镜容座(11)之间分别输送具有物镜保持器(3)的所选物镜(1)，其中物镜容座(11)在物镜(1)的输送期间保持在光束路径(13)中。物镜保持器(3)具有作为参考表面的外居中直径(10)，该直径被引导抵靠位于物镜容座(11)中的横向参考表面，使得可以实现垂直于显微镜(12)的光轴(4)的可重现定位。
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公开(公告)号：CN103808552B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201310601890.7
申请日：2013-11-12
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： R·萨尔泽
IPC: G01N1/32
CPC classification number: H01J37/3053 , B23K26/03 , B23K26/14 , B23K26/361 , B23K26/362 , G01N1/32 , H01J37/3056 , H01J2237/3174 , H01J2237/31744 , H01L21/02
Abstract: 一种在材料试样1中产生光滑表面23的方法，包括：通过粒子束蚀刻将第一材料量去除来产生基本光滑的第一表面区域21，其中，所述第一材料量由所述第一表面区域部分地限定，并且其中，射束方向15与第一表面区域21的表面法线之间的角度大于80°且小于90°；并且通过去除第二材料量II来产生基本光滑的第二表面区域23，其中，所述第二材料量由第一表面区域21′部分地限定且由第二表面区域23部分地限定，并且其中，所述射束方向15与第二表面区域23的表面法线之间的角度α小于60°。
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公开(公告)号：CN108012554A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201680034370.4
申请日：2016-06-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及用于确定和补偿几何成像偏差的方法，所述成像偏差在通过用显微成像系统的顺次单光斑或多光斑扫描进行的物体成像过程中产生，所述方法包括如下方法步骤：-确定参照物，该参照物具有限定的平面结构，-产生该结构的没有几何成像偏差的电子图像数据记录，-用成像系统产生至少一个电子实际图像数据记录，-将实际图像数据记录与参考图像数据记录就各自源于相同物体点的图像点的位置进行比较，-确定实际图像数据记录中相对于参考图像数据记录的位置偏离，-将确定的位置偏离作为校正数据存储，-通过根据校正数据校正实际图像数据记录中的位置偏离补偿几何成像偏差。
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公开(公告)号：CN105425376B
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201510582674.1
申请日：2015-09-14
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 亚历山大·盖杜克
CPC classification number: G02B21/365 , G02B21/06
Abstract: 本发明涉及一种数字显微镜及其调试方法，例如用于校准色彩重现或角度调整的方法。按照这种方法，在从显微镜照明装置(11)延伸至照相单元(13)的光路(02、04)中布置有光学修改元件(01)，尤其是色散元件或依赖于角度的散射元件。调整修改元件(01)与包括显微镜照明装置(11)和照相单元(13)的组件中的至少一个组件之间的角度(β；θ)，以便将显微镜照明装置(11)产生的光(02)的经修改的部分(04)对准照相单元(13)。在另一步骤中，利用照相单元(13)吸收具有经修改的部分(04)的光，由此获得色彩信号。进行包括调整出的角度(β；θ)和色彩信号的参数的配属。
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公开(公告)号：CN107301940A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201611028040.2
申请日：2016-11-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司X光显微镜股份有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/24578 , H01J2237/24585 , H01J2237/2803 , H01J2237/2813
Abstract: 本发明涉及一种用于使用生成带电粒子束的带电粒子束装置来分析物体的方法。此外，本发明涉及一种用于执行这种方法的带电粒子束装置。所述方法包括将所述物体的图像的对应于体积单元的体积单元表面的一部分分割为具有第一颜色级和第二颜色级的区域以及确定相应区域分数。所述方法包括通过对所述颜色级与存储在数据库中的信息进行比较而识别具有各颜色级的多个粒子的步骤。通过比较所述颜色级，可以识别可包括在所述体积单元中的可能粒子，例如，矿物。
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公开(公告)号：CN107104029A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201610905526.3
申请日：2011-09-23
Applicant: 以色列实用材料有限公司 , 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: H01J37/09 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/21 , H01J37/28 , H01J37/3177 , H01J2237/0453 , H01J2237/0458 , H01J2237/0492 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源；具有多个孔径的第一多孔径板，其布置在系统的带电粒子束路径中源的下游；第一多孔径选择器板，具有多个孔径；载体，第一多孔径选择器板安装在载体上；致动器，构造为移动载体，使在系统的第一操作模式中将第一多孔径选择器板布置在系统带电粒子束路径中源的下游，且使在系统的第二操作模式中将第一多孔径选择器板布置在带电粒子束路径之外。源、第一多孔径板和载体被布置为使在第一操作模式中，在第一多孔径板和第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，且使在第二操作模式中，在位置处产生第二数量的带电粒子小波束，小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。
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公开(公告)号：CN107102432A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201710088417.1
申请日：2017-02-17
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G02B21/34
Abstract: 本发明涉及样品保持器(6)的调节机构(1)，包括：基座(2)，其上布置有驱动器(5.1至5.3)；承载件(3)，其可通过驱动器(5.1至5.3)调节并设计为接收样品保持器(6)；用于每个驱动器(5.1至5.3)的设计为连接基座(2)和承载件(3)的联接元件(4.1至4.3)，其中每个联接元件(4.1至4.3)具有至少一个线性自由度和旋转自由度。调节机构(1)的特征在于，承载件(3)可通过联接元件(4.1至4.3)沿着从联接元件(4.1，4.2，4.3)引导到承载件(3)的相应运动轴(A1，A2，A3)线性移动。本发明还涉及包括调节机构(1)的显微镜(10)以及调节样品保持器(6)的取向的方法。
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公开(公告)号：CN107076669A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580050288.6
申请日：2015-09-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: G06T7/593 , G01N21/4795 , G01N2021/1787 , G06T7/33 , G06T11/003 , G06T15/005 , G06T2211/436
Abstract: 为进行三维成像，以多个照明角度对物体进行照明。检测器针对所述多个照明角度而检测所述物体的多个图像(51‑53)。电子处理装置处理所述多个图像(51‑53)，以重建物体的三维信息(57)。
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