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公开(公告)号：CN108012554A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201680034370.4
申请日：2016-06-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及用于确定和补偿几何成像偏差的方法，所述成像偏差在通过用显微成像系统的顺次单光斑或多光斑扫描进行的物体成像过程中产生，所述方法包括如下方法步骤：-确定参照物，该参照物具有限定的平面结构，-产生该结构的没有几何成像偏差的电子图像数据记录，-用成像系统产生至少一个电子实际图像数据记录，-将实际图像数据记录与参考图像数据记录就各自源于相同物体点的图像点的位置进行比较，-确定实际图像数据记录中相对于参考图像数据记录的位置偏离，-将确定的位置偏离作为校正数据存储，-通过根据校正数据校正实际图像数据记录中的位置偏离补偿几何成像偏差。
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公开(公告)号：CN107064082B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201710073108.7
申请日：2017-02-10
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 蒂莫·安胡特 , 丹尼尔·施韦特 , 托比亚斯·考夫霍尔德 , 布克哈德·罗舍尔 , 斯特凡·威廉
Abstract: 本发明涉及一种用于多点扫描显微的设备和方法。该设备具有：多色光源；分束设备；第一光学装置，用于提供照射光路，照射光路用于将单独的照射子光束分别引导并且聚焦到待检验的样本上或样本中的光斑中；扫描单元；检测单元，用于检测在用单独的照射子光束辐照之后，检测子光束中的被样本辐射的检测光；第二光学装置，用于提供将检测子光束引导到检测单元的检测光路；控制和评价单元，用于控制扫描单元并且用于评价检测单元检测的检测光。所述设备的特征在于，在照射子光束中的至少两个照射子光束的照射光路中，存在用于独立地设定相应照射子光束的光谱组成的可控光束操纵装置，并且控制和评价单元被设计成控制光束操纵装置。
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公开(公告)号：CN107064082A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710073108.7
申请日：2017-02-10
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 蒂莫·安胡特 , 丹尼尔·施韦特 , 托比亚斯·考夫霍尔德 , 布克哈德·罗舍尔 , 斯特凡·威廉
CPC classification number: G02B21/0064 , G02B21/0032 , G02B21/0076 , G02B21/008 , G02F1/113 , G02F1/116 , G01N21/6458
Abstract: 本发明涉及一种用于多点扫描显微的设备和方法。该设备具有：多色光源；分束设备；第一光学装置，用于提供照射光路，照射光路用于将单独的照射子光束分别引导并且聚焦到待检验的样本上或样本中的光斑中；扫描单元；检测单元，用于检测在用单独的照射子光束辐照之后，检测子光束中的被样本辐射的检测光；第二光学装置，用于提供将检测子光束引导到检测单元的检测光路；控制和评价单元，用于控制扫描单元并且用于评价检测单元检测的检测光。所述设备的特征在于，在照射子光束中的至少两个照射子光束的照射光路中，存在用于独立地设定相应照射子光束的光谱组成的可控光束操纵装置，并且控制和评价单元被设计成控制光束操纵装置。
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公开(公告)号：CN108012554B
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201680034370.4
申请日：2016-06-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及用于确定和补偿几何成像偏差的方法，所述成像偏差在通过用显微成像系统的顺次单光斑或多光斑扫描进行的物体成像过程中产生，所述方法包括如下方法步骤：‑确定参照物，该参照物具有限定的平面结构，‑产生该结构的没有几何成像偏差的电子图像数据记录，‑用成像系统产生至少一个电子实际图像数据记录，‑将实际图像数据记录与参考图像数据记录就各自源于相同物体点的图像点的位置进行比较，‑确定实际图像数据记录中相对于参考图像数据记录的位置偏离，‑将确定的位置偏离作为校正数据存储，‑通过根据校正数据校正实际图像数据记录中的位置偏离补偿几何成像偏差。
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