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公开(公告)号:CN106415357B
公开(公告)日:2019-08-09
申请号:CN201580028197.2
申请日:2015-05-22
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司股份公司
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/0032 , G02B21/002 , G02B21/004 , G02B21/0052 , G02B21/0076 , G02B21/008
Abstract: 本发明涉及一种功能集成的激光扫描显微镜,设计用于可选地以共焦运行模式、行运行模式或宽场运行模式利用激光照射装置对试样加以扫描,其包括:激光光源、照射和检测光路、检测装置以及至少一个物镜,分别针对各种所选运行模式的使用来设计,其中,照射和检测光路包括用于配置激光照射装置的机构、至少一个用于利用激光照射装置对试样进行扫描的扫描仪以及用于将照射和检测光分离的分束器,以及在检测光路中设置有用于根据相应选择的运行模式改变光线引导的、能够控制的光学元件。能够控制的光学结构组件经指令输入装置与控制电路连接,控制电路被设计用于变换到根据相应所希望的运行模式,并且存在基于由检测装置输出的电子图像信号来生成试样图像的硬件和软件。
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公开(公告)号:CN108012554B
公开(公告)日:2021-01-08
申请号:CN201680034370.4
申请日:2016-06-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及用于确定和补偿几何成像偏差的方法,所述成像偏差在通过用显微成像系统的顺次单光斑或多光斑扫描进行的物体成像过程中产生,所述方法包括如下方法步骤:‑确定参照物,该参照物具有限定的平面结构,‑产生该结构的没有几何成像偏差的电子图像数据记录,‑用成像系统产生至少一个电子实际图像数据记录,‑将实际图像数据记录与参考图像数据记录就各自源于相同物体点的图像点的位置进行比较,‑确定实际图像数据记录中相对于参考图像数据记录的位置偏离,‑将确定的位置偏离作为校正数据存储,‑通过根据校正数据校正实际图像数据记录中的位置偏离补偿几何成像偏差。
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公开(公告)号:CN108012554A
公开(公告)日:2018-05-08
申请号:CN201680034370.4
申请日:2016-06-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及用于确定和补偿几何成像偏差的方法,所述成像偏差在通过用显微成像系统的顺次单光斑或多光斑扫描进行的物体成像过程中产生,所述方法包括如下方法步骤:-确定参照物,该参照物具有限定的平面结构,-产生该结构的没有几何成像偏差的电子图像数据记录,-用成像系统产生至少一个电子实际图像数据记录,-将实际图像数据记录与参考图像数据记录就各自源于相同物体点的图像点的位置进行比较,-确定实际图像数据记录中相对于参考图像数据记录的位置偏离,-将确定的位置偏离作为校正数据存储,-通过根据校正数据校正实际图像数据记录中的位置偏离补偿几何成像偏差。
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公开(公告)号:CN106415357A
公开(公告)日:2017-02-15
申请号:CN201580028197.2
申请日:2015-05-22
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司股份公司
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/0032 , G02B21/002 , G02B21/004 , G02B21/0052 , G02B21/0076 , G02B21/008
Abstract: 本发明涉及一种功能集成的激光扫描显微镜,设计用于可选地以共焦运行模式、行运行模式或宽场运行模式利用激光照射装置对试样加以扫描,其包括:激光光源、照射和检测光路、检测装置以及至少一个物镜,分别针对各种所选运行模式的使用来设计,其中,照射和检测光路包括用于配置激光照射装置的机构、至少一个用于利用激光照射装置对试样进行扫描的扫描仪以及用于将照射和检测光分离的分束器,以及在检测光路中设置有用于根据相应选择的运行模式改变光线引导的、能够控制的光学元件。能够控制的光学结构组件经指令输入装置与控制电路连接,控制电路被设计用于变换到根据相应所希望的运行模式,并且存在基于由检测装置输出的电子图像信号来生成试样图像的硬件和软件。
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