公开(公告)号：CN106415357A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201580028197.2

申请日：2015-05-22

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 ,  卡尔蔡司股份公司

Inventor： 丹尼尔·施威特 ,  蒂姆·安胡特 ,  马蒂亚斯·瓦尔特

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0032 ,  G02B21/002 ,  G02B21/004 ,  G02B21/0052 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/008

Abstract: 本发明涉及一种功能集成的激光扫描显微镜，设计用于可选地以共焦运行模式、行运行模式或宽场运行模式利用激光照射装置对试样加以扫描，其包括：激光光源、照射和检测光路、检测装置以及至少一个物镜，分别针对各种所选运行模式的使用来设计，其中，照射和检测光路包括用于配置激光照射装置的机构、至少一个用于利用激光照射装置对试样进行扫描的扫描仪以及用于将照射和检测光分离的分束器，以及在检测光路中设置有用于根据相应选择的运行模式改变光线引导的、能够控制的光学元件。能够控制的光学结构组件经指令输入装置与控制电路连接，控制电路被设计用于变换到根据相应所希望的运行模式，并且存在基于由检测装置输出的电子图像信号来生成试样图像的硬件和软件。

公开(公告)号：CN106415357B

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201580028197.2

申请日：2015-05-22

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 ,  卡尔蔡司股份公司

Inventor： 丹尼尔·施威特 ,  蒂姆·安胡特 ,  马蒂亚斯·瓦尔特

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0032 ,  G02B21/002 ,  G02B21/004 ,  G02B21/0052 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/008

Abstract: 本发明涉及一种功能集成的激光扫描显微镜，设计用于可选地以共焦运行模式、行运行模式或宽场运行模式利用激光照射装置对试样加以扫描，其包括：激光光源、照射和检测光路、检测装置以及至少一个物镜，分别针对各种所选运行模式的使用来设计，其中，照射和检测光路包括用于配置激光照射装置的机构、至少一个用于利用激光照射装置对试样进行扫描的扫描仪以及用于将照射和检测光分离的分束器，以及在检测光路中设置有用于根据相应选择的运行模式改变光线引导的、能够控制的光学元件。能够控制的光学结构组件经指令输入装置与控制电路连接，控制电路被设计用于变换到根据相应所希望的运行模式，并且存在基于由检测装置输出的电子图像信号来生成试样图像的硬件和软件。