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公开(公告)号：CN106415357A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201580028197.2
申请日：2015-05-22
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司股份公司
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/0032 , G02B21/002 , G02B21/004 , G02B21/0052 , G02B21/0076 , G02B21/008
Abstract: 本发明涉及一种功能集成的激光扫描显微镜，设计用于可选地以共焦运行模式、行运行模式或宽场运行模式利用激光照射装置对试样加以扫描，其包括：激光光源、照射和检测光路、检测装置以及至少一个物镜，分别针对各种所选运行模式的使用来设计，其中，照射和检测光路包括用于配置激光照射装置的机构、至少一个用于利用激光照射装置对试样进行扫描的扫描仪以及用于将照射和检测光分离的分束器，以及在检测光路中设置有用于根据相应选择的运行模式改变光线引导的、能够控制的光学元件。能够控制的光学结构组件经指令输入装置与控制电路连接，控制电路被设计用于变换到根据相应所希望的运行模式，并且存在基于由检测装置输出的电子图像信号来生成试样图像的硬件和软件。
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公开(公告)号：CN106415357B
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201580028197.2
申请日：2015-05-22
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司股份公司
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/0032 , G02B21/002 , G02B21/004 , G02B21/0052 , G02B21/0076 , G02B21/008
Abstract: 本发明涉及一种功能集成的激光扫描显微镜，设计用于可选地以共焦运行模式、行运行模式或宽场运行模式利用激光照射装置对试样加以扫描，其包括：激光光源、照射和检测光路、检测装置以及至少一个物镜，分别针对各种所选运行模式的使用来设计，其中，照射和检测光路包括用于配置激光照射装置的机构、至少一个用于利用激光照射装置对试样进行扫描的扫描仪以及用于将照射和检测光分离的分束器，以及在检测光路中设置有用于根据相应选择的运行模式改变光线引导的、能够控制的光学元件。能够控制的光学结构组件经指令输入装置与控制电路连接，控制电路被设计用于变换到根据相应所希望的运行模式，并且存在基于由检测装置输出的电子图像信号来生成试样图像的硬件和软件。
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公开(公告)号：CN110383137A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880015885.9
申请日：2018-03-01
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 在一种用于以三维方式对物体(3)成像的显微术方法中，通过成像光束路径将物体成像成位于第一图像平面上的第一图像(12)。第一微透镜阵列(8a)布置在第一图像平面上，并且具有相同节距的第二微透镜阵列(8b)布置在第一微透镜阵列的下游。两个微透镜阵列(8a、8b)将第一图像(12)横向分段成片段(15、16)，并且将第一图像(12)成像成第二图像(13)，在第二图像(13)中，片段被间隔开并且由间隙(17)分离。在微透镜阵列(8a、8b)下游的光瞳平面(14)上，提供相位掩模(9c)，相位掩模(9c)根据像素扩散函数为第二图像(13)的每个片段(15、16)产生光斑(18、19)。检测器(11)检测光斑的形状和结构，并且控制器(11)依据每个片段(15、16)的光斑(18、19)的形状和/或结构确定横向强度分布和深度说明，并且由此产生物体(3)的深度分辨图像。
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公开(公告)号：CN110383137B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN201880015885.9
申请日：2018-03-01
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 在一种用于以三维方式对物体(3)成像的显微术方法中，通过成像光束路径将物体成像成位于第一图像平面上的第一图像(12)。第一微透镜阵列(8a)布置在第一图像平面上，并且具有相同节距的第二微透镜阵列(8b)布置在第一微透镜阵列的下游。两个微透镜阵列(8a、8b)将第一图像(12)横向分段成片段(15、16)，并且将第一图像(12)成像成第二图像(13)，在第二图像(13)中，片段被间隔开并且由间隙(17)分离。在微透镜阵列(8a、8b)下游的光瞳平面(14)上，提供相位掩模(9c)，相位掩模(9c)根据像素扩散函数为第二图像(13)的每个片段(15、16)产生光斑(18、19)。检测器(11)检测光斑的形状和结构，并且控制器(11)依据每个片段(15、16)的光斑(18、19)的形状和/或结构确定横向强度分布和深度说明，并且由此产生物体(3)的深度分辨图像。
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