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公开(公告)号：CN108012554A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201680034370.4
申请日：2016-06-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及用于确定和补偿几何成像偏差的方法，所述成像偏差在通过用显微成像系统的顺次单光斑或多光斑扫描进行的物体成像过程中产生，所述方法包括如下方法步骤：-确定参照物，该参照物具有限定的平面结构，-产生该结构的没有几何成像偏差的电子图像数据记录，-用成像系统产生至少一个电子实际图像数据记录，-将实际图像数据记录与参考图像数据记录就各自源于相同物体点的图像点的位置进行比较，-确定实际图像数据记录中相对于参考图像数据记录的位置偏离，-将确定的位置偏离作为校正数据存储，-通过根据校正数据校正实际图像数据记录中的位置偏离补偿几何成像偏差。
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公开(公告)号：CN107430264B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201680017044.2
申请日：2016-03-11
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 海尔穆特·里佩尔特 , 托拜厄斯·考夫霍德 , 托马斯·卡尔克布莱纳 , 乔治·吉本摩尔根
Abstract: 本发明涉及一种光片显微镜，包括：照明装置，其产生用于多个照明波长的相干照明光线；光束成形模块(8)，其用于利用所述照明光线产生光片；照明物镜(10)，其利用所述光片对试样(1)进行照明；以及检测物镜(12)，其用于将由试样发射的光成像到扇形检测器上，其中所述检测物镜(12)的光轴与所述照明物镜(10)的光轴形成不同于0°和180°的角度。在该光片显微镜中，光束成形模块(8)包括相位选择元件(19)，在该相位选择元件(19)上设置有空间上彼此分离的多个选择区域(20)，其中每个选择区域(20)分别被分配给一个特定的照明波长，并且其中在每个选择区域(20)上施加预设为用于相应照明波长的相位分布。另外，所述光束成形模块(8)包括用于根据所述相应照明波长对所述选择区域(20)进行依序选择或同时选择的装置。
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公开(公告)号：CN108012554B
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201680034370.4
申请日：2016-06-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及用于确定和补偿几何成像偏差的方法，所述成像偏差在通过用显微成像系统的顺次单光斑或多光斑扫描进行的物体成像过程中产生，所述方法包括如下方法步骤：‑确定参照物，该参照物具有限定的平面结构，‑产生该结构的没有几何成像偏差的电子图像数据记录，‑用成像系统产生至少一个电子实际图像数据记录，‑将实际图像数据记录与参考图像数据记录就各自源于相同物体点的图像点的位置进行比较，‑确定实际图像数据记录中相对于参考图像数据记录的位置偏离，‑将确定的位置偏离作为校正数据存储，‑通过根据校正数据校正实际图像数据记录中的位置偏离补偿几何成像偏差。
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公开(公告)号：CN107430264A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680017044.2
申请日：2016-03-11
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 海尔穆特·里佩尔特 , 托拜厄斯·考夫霍德 , 托马斯·卡尔克布莱纳 , 乔治·吉本摩尔根
Abstract: 本发明涉及一种光片显微镜，包括：照明装置，其产生用于多个照明波长的相干照明光线；光束成形模块(8)，其用于利用所述照明光线产生光片；照明物镜(10)，其利用所述光片对试样(1)进行照明；以及检测物镜(12)，其用于将由试样发射的光成像到扇形检测器上，其中所述检测物镜(12)的光轴与所述照明物镜(10)的光轴形成不同于0°和180°的角度。在该光片显微镜中，光束成形模块(8)包括相位选择元件(19)，在该相位选择元件(19)上设置有空间上彼此分离的多个选择区域(20)，其中每个选择区域(20)分别被分配给一个特定的照明波长，并且其中在每个选择区域(20)上施加预设为用于相应照明波长的相位分布。另外，所述光束成形模块(8)包括用于根据所述相应照明波长对所述选择区域(20)进行依序选择或同时选择的装置。
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