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公开(公告)号：CN107430266B
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201580076570.1
申请日：2015-11-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 托马斯·卡尔克布莱纳 , 海尔穆特·里佩尔特 , 乔治·吉本摩尔根
Abstract: 本发明涉及一种用于对试样(1)进行光片显微检测的方法，其中，选择多个曝光波长，基于所述多个曝光波长将针对试样(1)的曝光光线集中起来。针对平均波长，将相位选择元件的调制深度确定为π。这里，对于相位选择元件表现出预设的相分布并且对于孔板平面的孔板(24)表现出预设的孔板结构，其实现了，基于多个曝光波长将曝光光线集中起来且利用从多色组成的光片对试样(1)曝光。为此，选出优先波长，且在曝光物镜(10)的焦平面中，针对预设形状的光片，利用优先波长的光确定出光片的电场。由此计算出要预设的相分布。相位选择元件被以曝光光线曝光，并且曝光光线借助于相位选择元件结构化。经结构化的曝光光线成像到孔板平面中，多色的经结构化的光线的零阶在孔板平面中被消隐，使得在布置于后面的曝光物镜(10)的焦平面中，成形有经结构化的光片，具有垂直于曝光物镜(10)的焦平面设置的光片平面。试样(1)被以结构化的光片在光片平面中曝光，从试样射出的光线沿检测方向得到检测，检测方向与光片平面围成不为零的角度。
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公开(公告)号：CN107430266A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201580076570.1
申请日：2015-11-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 托马斯·卡尔克布莱纳 , 海尔穆特·里佩尔特 , 乔治·吉本摩尔根
Abstract: 本发明涉及一种用于对试样(1)进行光片显微检测的方法，其中，选择多个曝光波长，基于所述多个曝光波长将针对试样(1)的曝光光线集中起来。针对平均波长，将相位选择元件的调制深度确定为π。这里，对于相位选择元件表现出预设的相分布并且对于孔板平面的孔板(24)表现出预设的孔板结构，其实现了，基于多个曝光波长将曝光光线集中起来且利用从多色组成的光片对试样(1)曝光。为此，选出优先波长，且在曝光物镜(10)的焦平面中，针对预设形状的光片，利用优先波长的光确定出光片的电场。由此计算出要预设的相分布。相位选择元件被以曝光光线曝光，并且曝光光线借助于相位选择元件结构化。经结构化的曝光光线成像到孔板平面中，多色的经结构化的光线的零阶在孔板平面中被消隐，使得在布置于后面的曝光物镜(10)的焦平面中，成形有经结构化的光片，具有垂直于曝光物镜(10)的焦平面设置的光片平面。试样(1)被以结构化的光片在光片平面中曝光，从试样射出的光线沿检测方向得到检测，检测方向与光片平面围成不为零的角度。
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公开(公告)号：CN107430264A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680017044.2
申请日：2016-03-11
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 海尔穆特·里佩尔特 , 托拜厄斯·考夫霍德 , 托马斯·卡尔克布莱纳 , 乔治·吉本摩尔根
Abstract: 本发明涉及一种光片显微镜，包括：照明装置，其产生用于多个照明波长的相干照明光线；光束成形模块(8)，其用于利用所述照明光线产生光片；照明物镜(10)，其利用所述光片对试样(1)进行照明；以及检测物镜(12)，其用于将由试样发射的光成像到扇形检测器上，其中所述检测物镜(12)的光轴与所述照明物镜(10)的光轴形成不同于0°和180°的角度。在该光片显微镜中，光束成形模块(8)包括相位选择元件(19)，在该相位选择元件(19)上设置有空间上彼此分离的多个选择区域(20)，其中每个选择区域(20)分别被分配给一个特定的照明波长，并且其中在每个选择区域(20)上施加预设为用于相应照明波长的相位分布。另外，所述光束成形模块(8)包括用于根据所述相应照明波长对所述选择区域(20)进行依序选择或同时选择的装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106716217A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580051470.3
申请日：2015-08-31
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 海尔穆特·里佩尔特 , 托马斯·卡尔克布莱纳 , 因格·克莱珀 , 拉尔夫·沃勒辛斯基 , 乔治·吉本摩尔根
Abstract: 本发明涉及一种用于对布置在物体平面(1)中的试样(2)进行成像的装置。这种装置包括：光学传输系统(3)，其将试样(2)的区域从物体平面(1)成像到中间像平面(4)中。物体平面(1)和中间像平面(4)与传输系统(3)的光轴(5)夹成不等于90°的角度。光学传输系统(3)由多个透镜构成。所述装置还包括带有物镜的光学成像系统(6)，物镜的光轴(7)垂直于中间像平面(4)且物镜聚焦到中间像平面(4)上，使得物体平面(1)能够不失真地成像到检测器(8)上。最后，所述装置还包括用于以光片(11)对试样(2)照明的照明装置(10)，光片(11)基本上处在物体平面(1)中并且确定出照明方向，物体平面(1)的法线确定出检测方向。在这种装置中，物体平面(1)与传输系统(3)的光轴(5)夹成如下的角度，其量值小于传输系统(3)的物体侧的检测孔径锥(12)的打开角度，物体平面(1)至少部分处在物体侧的检测孔径锥(12)内部。中间像平面(4)与传输系统(3)的光轴(5)夹成如下的角度，其量值小于中间像侧的检测孔径锥(13)的打开角度，中间像平面(4)至少部分处在中间像侧的检测孔径锥(13)中。
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公开(公告)号：CN110023812B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN201780066447.0
申请日：2017-10-20
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 托马斯·卡尔克布莱纳 , 海尔穆特·里佩尔特 , 乔治·吉本摩尔根 , 拉尔夫·耐茨
Abstract: 本发明涉及一种单平面照明显微镜，该单平面照明显微镜包括用于照射位于介质中的样品载体(2)上的样品(1)的照明光学系统，样品载体(2)平行于平坦参考表面(3)延伸。经由照明光路由光片照射样品。单平面照明显微镜还包括具有检测光路的检测光学系统。照明光学系统和检测光学系统的光轴每一个都与参考表面(3)的法线一起限定不等于零度的角度。单平面照明显微镜还包括阻挡层系统，该阻挡层系统包括由具有给定厚度的给定材料形成的至少一层并且将介质与照明和检测光学系统分离，且阻挡层系统的基部区域与可以用于照明和检测活动的区域接触，所述基部区域平行于参考表面(3)延伸。在照明光路和/或检测光路中的至少一个校正元件允许减少当待检测的光或用于照射样品(1)的光以一定角度穿过阻挡层系统的界面时产生的像差。这种类型的单平面照明显微镜包括一装置，所述装置与光片的产生无关，并用于在光片平面的大致点状区域中或在至少暂时包括所述光片平面的给定空间中通过至少一个操纵光路将光强度施加到样品(1)。
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公开(公告)号：CN107430264B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201680017044.2
申请日：2016-03-11
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 海尔穆特·里佩尔特 , 托拜厄斯·考夫霍德 , 托马斯·卡尔克布莱纳 , 乔治·吉本摩尔根
Abstract: 本发明涉及一种光片显微镜，包括：照明装置，其产生用于多个照明波长的相干照明光线；光束成形模块(8)，其用于利用所述照明光线产生光片；照明物镜(10)，其利用所述光片对试样(1)进行照明；以及检测物镜(12)，其用于将由试样发射的光成像到扇形检测器上，其中所述检测物镜(12)的光轴与所述照明物镜(10)的光轴形成不同于0°和180°的角度。在该光片显微镜中，光束成形模块(8)包括相位选择元件(19)，在该相位选择元件(19)上设置有空间上彼此分离的多个选择区域(20)，其中每个选择区域(20)分别被分配给一个特定的照明波长，并且其中在每个选择区域(20)上施加预设为用于相应照明波长的相位分布。另外，所述光束成形模块(8)包括用于根据所述相应照明波长对所述选择区域(20)进行依序选择或同时选择的装置。
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公开(公告)号：CN106716217B
公开(公告)日：2020-03-03
申请号：CN201580051470.3
申请日：2015-08-31
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 海尔穆特·里佩尔特 , 托马斯·卡尔克布莱纳 , 因格·克莱珀 , 拉尔夫·沃勒辛斯基 , 乔治·吉本摩尔根
Abstract: 本发明涉及一种用于对布置在物体平面(1)中的试样(2)进行成像的装置。这种装置包括：光学传输系统(3)，其将试样(2)的区域从物体平面(1)成像到中间像平面(4)中。物体平面(1)和中间像平面(4)与传输系统(3)的光轴(5)夹成不等于90°的角度。光学传输系统(3)由多个透镜构成。所述装置还包括带有物镜的光学成像系统(6)，物镜的光轴(7)垂直于中间像平面(4)且物镜聚焦到中间像平面(4)上，使得物体平面(1)能够不失真地成像到检测器(8)上。最后，所述装置还包括用于以光片(11)对试样(2)照明的照明装置(10)，光片(11)基本上处在物体平面(1)中并且确定出照明方向，物体平面(1)的法线确定出检测方向。在这种装置中，物体平面(1)与传输系统(3)的光轴(5)夹成如下的角度，其量值小于传输系统(3)的物体侧的检测孔径锥(12)的打开角度，物体平面(1)至少部分处在物体侧的检测孔径锥(12)内部。中间像平面(4)与传输系统(3)的光轴(5)夹成如下的角度，其量值小于中间像侧的检测孔径锥(13)的打开角度，中间像平面(4)至少部分处在中间像侧的检测孔径锥(13)中。
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公开(公告)号：CN110023812A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201780066447.0
申请日：2017-10-20
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 托马斯·卡尔克布莱纳 , 海尔穆特·里佩尔特 , 乔治·吉本摩尔根 , 拉尔夫·耐茨
Abstract: 本发明涉及一种单平面照明显微镜，该单平面照明显微镜包括用于照射位于介质中的样品载体(2)上的样品(1)的照明光学系统，样品载体(2)平行于平坦参考表面(3)延伸。经由照明光路由光片照射样品。单平面照明显微镜还包括具有检测光路的检测光学系统。照明光学系统和检测光学系统的光轴每一个都与参考表面(3)的法线一起限定不等于零度的角度。单平面照明显微镜还包括阻挡层系统，该阻挡层系统包括由具有给定厚度的给定材料形成的至少一层并且将介质与照明和检测光学系统分离，且阻挡层系统的基部区域与可以用于照明和检测活动的区域接触，所述基部区域平行于参考表面(3)延伸。在照明光路和/或检测光路中的至少一个校正元件允许减少当待检测的光或用于照射样品(1)的光以一定角度穿过阻挡层系统的界面时产生的像差。这种类型的单平面照明显微镜包括一装置，所述装置与光片的产生无关，并用于在光片平面的大致点状区域中或在至少暂时包括所述光片平面的给定空间中通过至少一个操纵光路将光强度施加到样品(1)。
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