公开(公告)号：CN107064082A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201710073108.7

申请日：2017-02-10

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 蒂莫·安胡特 ,  丹尼尔·施韦特 ,  托比亚斯·考夫霍尔德 ,  布克哈德·罗舍尔 ,  斯特凡·威廉

IPC: G01N21/64 ,  G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0064 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/008 ,  G02F1/113 ,  G02F1/116 ,  G01N21/6458

Abstract: 本发明涉及一种用于多点扫描显微的设备和方法。该设备具有：多色光源；分束设备；第一光学装置，用于提供照射光路，照射光路用于将单独的照射子光束分别引导并且聚焦到待检验的样本上或样本中的光斑中；扫描单元；检测单元，用于检测在用单独的照射子光束辐照之后，检测子光束中的被样本辐射的检测光；第二光学装置，用于提供将检测子光束引导到检测单元的检测光路；控制和评价单元，用于控制扫描单元并且用于评价检测单元检测的检测光。所述设备的特征在于，在照射子光束中的至少两个照射子光束的照射光路中，存在用于独立地设定相应照射子光束的光谱组成的可控光束操纵装置，并且控制和评价单元被设计成控制光束操纵装置。

公开(公告)号：CN107064082B

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN201710073108.7

申请日：2017-02-10

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 蒂莫·安胡特 ,  丹尼尔·施韦特 ,  托比亚斯·考夫霍尔德 ,  布克哈德·罗舍尔 ,  斯特凡·威廉

IPC: G01N21/64 ,  G02B21/00

Abstract: 本发明涉及一种用于多点扫描显微的设备和方法。该设备具有：多色光源；分束设备；第一光学装置，用于提供照射光路，照射光路用于将单独的照射子光束分别引导并且聚焦到待检验的样本上或样本中的光斑中；扫描单元；检测单元，用于检测在用单独的照射子光束辐照之后，检测子光束中的被样本辐射的检测光；第二光学装置，用于提供将检测子光束引导到检测单元的检测光路；控制和评价单元，用于控制扫描单元并且用于评价检测单元检测的检测光。所述设备的特征在于，在照射子光束中的至少两个照射子光束的照射光路中，存在用于独立地设定相应照射子光束的光谱组成的可控光束操纵装置，并且控制和评价单元被设计成控制光束操纵装置。