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公开(公告)号：CN118159835A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202280071663.5
申请日：2022-10-07
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 卡尔蔡司X光显微镜股份有限公司
Inventor： R·皮克玛尼 , C·H·格拉夫沃姆哈根 , J·T·诺伊曼 , J·劳夫 , T·M·格雷戈里奇
IPC: G01N23/046 , G06T11/00
Abstract: 在获取样品结构的3D图像的方法中，最初在有限数量的原始样品平面处获取样品结构的2D图像的第一原始2D集合。根据该第一原始2D集合，计算由3D体积图像数据集表示的样品结构的3D图像，并且从3D体积图像数据集提取测量参数。这样的测量参数被分配给在获取步骤期间记录的2D图像采集的数量。然后，通过在与先前采集样品平面不一致的另一数量的交错样品平面处记录另一数量的交错2D图像采集，需要样品结构的另一交错2D图像集合。对另一交错2D集合重复步骤“计算”、“提取”和“分配”。比较实际和最后提取的测量参数以检查是否满足收敛标准。如果不是，则针对另一交错2D集合重复步骤“获取”、“计算”、“提取”、“分配”和“比较”，该另一交错2D集合包括在与先前采集样品平面不重合的另一数量的交错样品平面处的另一数量的交错2D图像采集。这样做直到满足收敛标准或者直到记录了给定最大数量的2D图像采集。输出测量参数和记录的2D图像采集的总数。用于这种方法的投射系统包括投射光源、可旋转的样品结构保持器和空间分辨检测器。可替代地或另外地，数据处理系统可以使用这种方法来获取样品的虚拟断层摄影图像。利用这种方法，提高了样品吞吐量。
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公开(公告)号：CN107301940A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201611028040.2
申请日：2016-11-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司X光显微镜股份有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/24578 , H01J2237/24585 , H01J2237/2803 , H01J2237/2813
Abstract: 本发明涉及一种用于使用生成带电粒子束的带电粒子束装置来分析物体的方法。此外，本发明涉及一种用于执行这种方法的带电粒子束装置。所述方法包括将所述物体的图像的对应于体积单元的体积单元表面的一部分分割为具有第一颜色级和第二颜色级的区域以及确定相应区域分数。所述方法包括通过对所述颜色级与存储在数据库中的信息进行比较而识别具有各颜色级的多个粒子的步骤。通过比较所述颜色级，可以识别可包括在所述体积单元中的可能粒子，例如，矿物。
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公开(公告)号：CN117795624A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202280055227.9
申请日：2022-07-22
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 卡尔蔡司X光显微镜股份有限公司
IPC: G21K7/00 , H01J37/244
Abstract: 一种将X射线照射的对象成像的成像光学配置。成像光学设备用于将场平面中的传输场成像到检测平面内的检测场。闪烁体材料层配置于该传输场处。光阑配置于该成像光学设备的光瞳平面内。该成像光学设备具有光学轴。该光阑的光阑开口的中心配置在相对于该光学轴的偏心距离处。此成像光学配置确保该对象的高质量成像，而不管进入该传输场的X射线如何倾斜。该成像光学配置为更含有检测阵列及载物台的检测组合件的一部分。此检测组合件为更含有X射线源的检测系统的一部分。
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公开(公告)号：CN107301940B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201611028040.2
申请日：2016-11-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司X光显微镜股份有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 本发明涉及一种用于使用生成带电粒子束的带电粒子束装置来分析物体的方法。此外，本发明涉及一种用于执行这种方法的带电粒子束装置。所述方法包括将所述物体的图像的对应于体积单元的体积单元表面的一部分分割为具有第一颜色级和第二颜色级的区域以及确定相应区域分数。所述方法包括通过对所述颜色级与存储在数据库中的信息进行比较而识别具有各颜色级的多个粒子的步骤。通过比较所述颜色级，可以识别可包括在所述体积单元中的可能粒子，例如，矿物。
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