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公开(公告)号：CN117795624A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202280055227.9
申请日：2022-07-22
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 卡尔蔡司X光显微镜股份有限公司
IPC: G21K7/00 , H01J37/244
Abstract: 一种将X射线照射的对象成像的成像光学配置。成像光学设备用于将场平面中的传输场成像到检测平面内的检测场。闪烁体材料层配置于该传输场处。光阑配置于该成像光学设备的光瞳平面内。该成像光学设备具有光学轴。该光阑的光阑开口的中心配置在相对于该光学轴的偏心距离处。此成像光学配置确保该对象的高质量成像，而不管进入该传输场的X射线如何倾斜。该成像光学配置为更含有检测阵列及载物台的检测组合件的一部分。此检测组合件为更含有X射线源的检测系统的一部分。
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